硅片镀膜用石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端。本实用新型专利技术硅片镀膜用石墨舟，其卡点与石墨舟片卡接，且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置，既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。

Ink boat for silicon coating

The utility model discloses a graphite boat for coating silicon wafer, which comprises a row of vertical graphite boat pieces connected by ceramic rods in series; the graphite boat piece is provided with a set of clamping points which can carry a single vertical silicon wafer; the graphite boat piece is also provided with three holes for installing the clamping points; the three holes are respectively through the surfaces on both sides of the graphite boat piece, and the three holes are also along the transverse direction of the graphite boat piece And the three holes are extended from the transverse end of the graphite boat piece to the transverse other end. The utility model uses a graphite boat for coating a silicon wafer, the clamping point is clamped with the graphite boat piece, and the mounting position of the clamping point in the corresponding strip hole can be freely set, which can not only bear the whole silicon wafer, but also the partition separated by the whole silicon wafer.

【技术实现步骤摘要】
硅片镀膜用石墨舟
本技术涉及硅片镀膜用石墨舟。
技术介绍
太阳能电池所用的硅片需要进行镀膜，且镀膜时硅片需要由石墨舟承载，石墨舟包括由陶瓷棒串接在一起的一排石墨舟片，且石墨舟片上设置用于承载硅片的卡点。随着太阳能电池技术的发展，将硅片整片等分分割为至少两个分片，可提高太阳组件的效率。但现有石墨舟卡点的位置是根据硅片整片的形状来设计的，故分片需要另外独立设计石墨舟，增加了企业的生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片镀膜用石墨舟，其卡点与石墨舟片卡接，且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置，既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。为实现上述目的，本技术提供一种硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；所述石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔：位于石墨舟片底部的底部条孔，位于石墨舟片竖向中部的中部条孔，以及位于石墨舟片上部的上部条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端；同一卡点组中的卡点包括：一卡接于底部条孔中的底部卡点，一卡接于中部条孔中的中部卡点，以及一卡接于上部条孔中的上部卡点；同一卡点组中的底部卡点、中部卡点和上部卡点，其中的中部卡点、上部卡点分设于底部卡点的两侧。优选的，所述底部卡点、中部卡点和上部卡点，它们分别包括：贯穿对应条孔并与该条孔卡接的支承柱；支承柱与石墨舟片垂直，支承柱上设有一对可供硅片边线插入的环形槽，该对环形槽与支承柱共轴心，且该对环形槽分设于石墨舟片的两侧。优选的，所述卡点组为多个，且该多个卡点组沿石墨舟片的横向等间隔依次排列。优选的，所述陶瓷棒为两对，且各陶瓷棒相互平行；各石墨舟片相互平行，且各石墨舟片沿陶瓷棒的延伸方向等间隔依次排列；单个石墨舟片被上述两对陶瓷棒贯穿，其中一对陶瓷棒分设于该石墨舟片的顶端横向两侧，另一对陶瓷棒分设于该石墨舟片的底端横向两侧。本技术的优点和有益效果在于：提供一种硅片镀膜用石墨舟，其卡点与石墨舟片卡接，且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置，既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。卡点与对应的条孔卡接，需要调整卡点的位置时，可将卡点从条孔中拔出，再将卡点插入条孔中的合适位置，故卡点在对应条孔中的安装位置可自由设置。由于底部卡点、中部卡点、上部卡点在对应条孔中的安装位置都可自由设置，所以本技术的石墨舟既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片；整片为正方形，且整片的宽度大于底部条孔和中部条孔的垂直间距；分片为：沿整片宽度方向将整片N等分切割而成的分片，N为整数，N≥2；分片为长方形，分片的长度即为整片的宽度。用石墨舟承载竖置硅片整片时，先根据整片的尺寸确定底部卡点、中部卡点、上部卡点的安装位置，使中部卡点、上部卡点分设于底部卡点的两侧，且中部卡点、上部卡点的水平间距与整片的宽度相适应，且使底部卡点与中部卡点的水平间距等于底部卡点与上部卡点的水平间距；底部卡点、中部卡点、上部卡点都安装好后，硅片整片即可竖置插放，使整片的一对竖边分别与中部卡点、上部卡点装配，且硅片整片的底边由底部卡点支承。用石墨舟承载竖置分片时，先根据分片的尺寸确定底部卡点、中部卡点、上部卡点的安装位置，使中部卡点、上部卡点分设于底部卡点的两侧，且中部卡点、上部卡点的水平间距与分片的宽度相适应，且使底部卡点与中部卡点的水平间距等于底部卡点与上部卡点的水平间距；底部卡点、中部卡点、上部卡点都安装好后，分片即可竖置插放，使分片的一对竖边（即分片的一对长边）分别与中部卡点、上部卡点装配，且分片的底边（即分片的一个宽边）由底部卡点支承。附图说明图1是本技术的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1所示，本技术提供一种硅片镀膜用石墨舟，包括：通过两对平置陶瓷棒11、12串接在一起的一排竖置石墨舟片2；各陶瓷棒相互平行；各石墨舟片2相互平行，且各石墨舟片2沿陶瓷棒的延伸方向等间隔依次排列；单个石墨舟片2被上述两对陶瓷棒11、12贯穿，其中一对陶瓷棒11分设于该石墨舟片2的顶端横向两侧，另一对陶瓷棒12分设于该石墨舟片2的底端横向两侧；石墨舟片2上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；所述石墨舟片2还设有三个用于安装卡点的条孔：位于石墨舟片2底部的底部条孔31，位于石墨舟片2竖向中部的中部条孔32，以及位于石墨舟片2上部的上部条孔33；该三个条孔分别贯通石墨舟片2的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片2的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片2的横向一端延伸至横向另一端；同一卡点组中的卡点包括：一卡接于底部条孔31中的底部卡点41，一卡接于中部条孔32中的中部卡点42，以及一卡接于上部条孔33中的上部卡点43；同一卡点组中的底部卡点41、中部卡点42和上部卡点43，其中的中部卡点42、上部卡点43分设于底部卡点41的两侧；所述底部卡点41、中部卡点42和上部卡点43，它们分别包括：贯穿对应条孔并与该条孔卡接的支承柱；支承柱与石墨舟片2垂直，支承柱上设有一对可供硅片边线插入的环形槽，该对环形槽与支承柱共轴心，且该对环形槽分设于石墨舟片2的两侧；所述卡点组为多个，且该多个卡点组沿石墨舟片2的横向等间隔依次排列。卡点与对应的条孔卡接，需要调整卡点的位置时，可将卡点从条孔中拔出，再将卡点插入条孔中的合适位置，故卡点在对应条孔中的安装位置可自由设置。由于底部卡点41、中部卡点42、上部卡点43在对应条孔中的安装位置都可自由设置，所以本技术的石墨舟既能承载硅片整片5，又能承载该硅片整片5所分割出的分片；整片5为正方形，且整片5的宽度大于底部条孔31和中部条孔32的垂直间距；分片为：沿整片5宽度方向将整片5N等分切割而成的分片，N为整数，N≥2；分片为长方形，分片的长度即为整片5的宽度。用石墨舟承载竖置硅片整片5时，先根据整片5的尺寸确定底部卡点41、中部卡点42、上部卡点43的安装位置，使中部卡点42、上部卡点43分设于底部卡点41的两侧，且中部卡点42、上部卡点43的水平间距与整片5的宽度相适应，且使底部卡点41与中部卡点42的水平间距等于底部卡点41与上部卡点43的水平间距；底部卡点41、中部卡点42、上部卡点43都安装好后，硅片整片5即可竖置插放，硅片整片5的一对竖边分别插入中部卡点42、上部卡点43的环形槽，硅片整片5的底边插入底部卡点41的环形槽，且硅片整片5的底边由底卡点31支承。用石墨舟承载竖置分片时，先根据分片的尺寸确定底部卡点41、中部卡点42、上部卡点43的安装位置，使中部卡点42、上部卡点43分设于底部卡点41的两侧，且中部卡点42、上部卡点43的水平间距与分片的宽度相适应，且使底部卡点41与中部卡点42的水平间距等于底部卡点41与上部卡点43的水平间距；底部卡点41、中部卡点42、上部卡点43都安装好后，分片即可竖置插放，分片的一对竖边（即分片的一对长边）分别插入中部卡点42、上部卡点43的环形槽，分片的底边（即分片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；其特征在于：所述石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔：位于石墨舟片底部的底部条孔，位于石墨舟片竖向中部的中部条孔，以及位于石墨舟片上部的上部条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端；同一卡点组中的卡点包括：一卡接于底部条孔中的底部卡点，一卡接于中部条孔中的中部卡点，以及一卡接于上部条孔中的上部卡点；同一卡点组中的底部卡点、中部卡点和上部卡点，其中的中部卡点、上部卡点分设于底部卡点的两侧。

【技术特征摘要】
1.硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；其特征在于：所述石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔：位于石墨舟片底部的底部条孔，位于石墨舟片竖向中部的中部条孔，以及位于石墨舟片上部的上部条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端；同一卡点组中的卡点包括：一卡接于底部条孔中的底部卡点，一卡接于中部条孔中的中部卡点，以及一卡接于上部条孔中的上部卡点；同一卡点组中的底部卡点、中部卡点和上部卡点，其中的中部卡点、上部卡点分设于底部卡点的两侧。2.根据权利要求1所述的硅片镀膜用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王博文，孟祥熙，
申请(专利权)人：常州时创能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32