激光SE电池的生产线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机，链式氧化炉，以及链式刻蚀机；这三个设备的输送机构依次对接。硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。链式氧化炉中的硅片可在第二输送机构的输送过程中被氧化，故链式氧化炉可连续生产，可大大提高产能；且本实用新型专利技术不需要采用石英舟装载硅片，可省去石英舟的插片和取片动作，可大大减少硅片的碎片发生率。

Production line of laser se battery

【技术实现步骤摘要】
激光SE电池的生产线
本技术涉及光伏领域，具体涉及一种激光SE电池的生产线。
技术介绍
SE（SelectiveEmitter选择性发射极）太阳能电池制造过程中，需要采用激光掺杂机对金属栅线（电极）与硅片接触部位进行激光开槽重掺，但激光扫描过程中，激光开槽区域的PSG会被破坏，在后续的刻蚀步骤中（刻蚀步骤在刻蚀设备中实施），被破坏的PSG不足以保护激光开槽区域，激光开槽区域会被刻蚀液（如碱刻蚀液）腐蚀，以致短路电流、开路电压和填充因子均低。为了解决上述问题，需要在激光掺杂步骤和刻蚀步骤中间增加氧化步骤，通过氧化处理使激光开槽区域覆盖氧化层，该氧化层可在硅片刻蚀（如碱刻蚀）过程中保护激光开槽区域，避免激光开槽区域被刻蚀液（如碱刻蚀液）腐蚀。目前一般在管式氧化设备中实施上述氧化步骤，管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，先将硅片插入石英舟，再将装满硅片的石英舟放入管式氧化设备的石英管中，石英管中通入氧气，且在石英管外壁使用电阻丝加热的方式给硅片加热，从而在硅片表面形成氧化层（氧化层覆盖激光开槽区域），氧化完成后，将石英舟从石英管中取出，再将硅片从石英舟汇中取出。虽然管式氧化设备能够实施上述氧化步骤，但使用管式氧化设备实施上述氧化步骤会存在较多缺陷：1、产能低：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而石英舟进出石英管需要时间，且石英舟从石英管中取出后需要经历降温过程，导致产能低，会成为光伏制造厂商的生产瓶颈。2、硅片碎片率高：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而将硅片插入石英舟是个复杂的动作，插片过程中可能会损伤硅片，且硅片氧化完成后，还需要将硅片从石英舟中取出，取片过程中也可能会损伤硅片，造成硅片碎片率高。3、设备对接不方便：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而石英舟需要配套插片设备和取片设备，不方便管式氧化设备与前道设备（激光掺杂机）、后道设备（刻蚀设备）对接。
技术实现思路
为了解决现有技术中的缺陷，本技术提供一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；链式氧化炉，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；以及链式刻蚀机，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；所述激光掺杂机设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构；第一输送机构为传送带或辊道；所述链式氧化炉设有：用于输送硅片的第二输送机构；第二输送机构为传送带或辊道；所述链式刻蚀机设有：用于输送硅片的第三输送机构；第三输送机构为辊道；所述第一输送机构的输出端与第二输送机构的输入端对接，第二输送机构的输出端与第三输送机构的输入端对接。本技术激光SE电池生产线的激光掺杂机、链式氧化炉和链式刻蚀机都设有输送机构，这三个设备的输送机构可依次对接，当这三个设备的输送机构依次对接后，硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。链式氧化炉中的硅片可在第二输送机构的输送过程中被氧化（硅片表面形成氧化层，且氧化层覆盖激光开槽区域），故链式氧化炉可连续生产，可大大提高产能；且本技术不需要采用石英舟装载硅片，可省去石英舟的插片和取片动作，可大大减少硅片的碎片发生率。优选的，所述链式氧化炉包括主壳体，主壳体内部设有氧化腔；氧化腔外接有：可向氧化腔输送氧化气体的供气装置；氧化腔内部设有：用于加热硅片的加热装置。优选的，所述主壳体由上壳体和下壳体组成，且上壳体与下壳体可拆卸连接。优选的，所述上壳体配有驱动其升降的升降驱动机构。优选的，所述加热装置包括：用于加热硅片的红外灯管，以及用于控制红外灯管发光强度的功率调节器。优选的，所述红外灯管位于第二输送机构的上方、侧方和下方。优选的，所述供气装置与上壳体或下壳体连接。优选的，所述红外灯管设于上壳体或下壳体中。优选的，所述红外灯管可发出波长为100～1100nm的光。优选的，所述氧化气体为氧气、臭氧或氮氧混合气体。优选的，所述链式刻蚀机采用酸刻蚀工艺或碱刻蚀工艺。优选的，所述链式刻蚀机用于去正面PSG和/或背抛。本技术中链式氧化炉的主壳体由上壳体和下壳体组成，且上壳体与下壳体可拆卸连接，可将上壳体抬起，以便于链式氧化炉的检修和保养。供气装置和加热装置可配合工作，可根据工艺需求，在硅片表面长出不同厚度氧化层。红外灯管可发出波长为100～1100nm的光，该特定波长的光可让硅片升温速度更快。附图说明图1是本技术的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机10，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；链式氧化炉20，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；以及链式刻蚀机30，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；所述激光掺杂机10设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构11；第一输送机构11为辊道（需要声明的是，第一输送机构11也可以是传送带）；所述链式氧化炉20设有：用于输送硅片的第二输送机构26；第二输送机构26为辊道（需要声明的是，第二输送机构26也可以是传送带）；所述链式刻蚀机30设有：用于输送硅片的第三输送机构31；第三输送机构31为辊道；所述第一输送机构11的输出端与第二输送机构26的输入端对接，第二输送机构26的输出端与第三输送机构31的输入端对接。所述链式氧化炉20包括主壳体，主壳体由上壳体21和下壳体22组成，且上壳体21与下壳体22可拆卸连接，上壳体21配有驱动其升降的升降驱动机构（图中未示出升降驱动机构）；所述主壳体内部设有氧化腔23；所述氧化腔23外接有：可向氧化腔23输送氧化气体的供气装置（图中未示出供气装置）；所述供气装置设有与下壳体22连接的供气管24（需要声明的是，供气装置/供气管24也可以与上壳体21连接）；所述氧化气体为氧气、臭氧或氮氧混合气体；所述氧化腔23内部设有：用于加热硅片的加热装置；所述加热装置包括：用于加热硅片的红外灯管25，以及用于控制红外灯管25发光强度的功率调节器；所述红外灯管25设于下壳体22中（需要声明的是，红外灯管25也可以设于上壳体21中）；所述红外灯管25位于第二输送机构26的上方（需要声明的是，红外灯管25也可以位于第二输送机构26的侧方和下方）；所述红外灯管25可发出波长为100～1100nm的光。所述链式刻蚀机用于去硅片正面PSG和/或硅片背面抛光；链式刻蚀机所采用的刻蚀工艺可根据实际情况确定，如采用酸刻蚀工艺或碱刻蚀工艺。本技术激光SE电池生产线的激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光SE电池的生产线，其特征在于，包括依次设置的：/n激光掺杂机，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；/n链式氧化炉，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；/n以及链式刻蚀机，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；/n所述激光掺杂机设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构；第一输送机构为传送带或辊道；/n所述链式氧化炉设有：用于输送硅片的第二输送机构；第二输送机构为传送带或辊道；/n所述链式刻蚀机设有：用于输送硅片的第三输送机构；第三输送机构为辊道；/n所述第一输送机构的输出端与第二输送机构的输入端对接，第二输送机构的输出端与第三输送机构的输入端对接。/n

【技术特征摘要】
1.激光SE电池的生产线，其特征在于，包括依次设置的：
激光掺杂机，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；
链式氧化炉，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；
以及链式刻蚀机，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；
所述激光掺杂机设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构；第一输送机构为传送带或辊道；
所述链式氧化炉设有：用于输送硅片的第二输送机构；第二输送机构为传送带或辊道；
所述链式刻蚀机设有：用于输送硅片的第三输送机构；第三输送机构为辊道；
所述第一输送机构的输出端与第二输送机构的输入端对接，第二输送机构的输出端与第三输送机构的输入端对接。


2.根据权利要求1所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述链式氧化炉包括主壳体，主壳体内部设有氧化腔；氧化腔外接有：可向氧化腔输送氧化气体的供气装置；氧化腔内部设有：用于加热硅片的加热装置。


3.根据权利要求2所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述主壳体由上壳体和下壳体组成，且上壳体与下壳体可拆卸连接。


4.根据权利要求3所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述上壳体配有驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：符黎明，任常瑞，王敏，陈颖，
申请(专利权)人：常州时创能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32