【技术实现步骤摘要】
一种集成式超高精度光学组件
本技术涉及显微物镜高精度装调领域,尤其涉及一种集成式超高精度光学组件。
技术介绍
超高精度光学组件在高精度光学元件加工检测、先进光学系统集成等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索领域不断地向更加微观的领域前进,对先进光学系统提出了越来越高的需求。一方面,对光学元件精度要求高,如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统,均对光学元件单面面形提出了1/100~1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5~1/20波长),精度相对常规系统提升至少20倍,由于光学元件是无法单独存在于系统之中,必须与镜框等构成组件,再去与其他结构进行连接,由于常规系统精度要求不是很高,元件集成环节所造成精度损失在常规系统中可以不予考虑,但是对于上述高精度显微先进光学系统,这种缺失是毁灭性的。另一方面,在保证高精度的同时,还要兼备高性价比适合批量化生产,因此超高精度光学组件的研制愈发重要。传统的光学组件,通常采用压圈等方式将光学元件与镜框相连接,压圈的预紧力会造成光学元件镜面面形的变化,通常应用在系统精度要求不高的情况下,而高精度光学组件中光学元 ...
【技术保护点】
1.一种集成式超高精度光学组件,包括超高精度光学元件、镜框基座、胶合层柔性部分,其特征在于,所述镜框基座包括镜框、台阶面、内圈面;所述超高精度光学元件与所述镜框同轴置于所述台阶面上,同轴度优于0.005mm;所述超高精度光学元件与所述内圈面之间填满连接胶,所述连接胶固化后形成所述胶合层柔性部分,所述胶合层柔性部分均匀等厚,用于实现所述超高精度光学元件与所述镜框间的无应力连接。
【技术特征摘要】
1.一种集成式超高精度光学组件,包括超高精度光学元件、镜框基座、胶合层柔性部分,其特征在于,所述镜框基座包括镜框、台阶面、内圈面;所述超高精度光学元件与所述镜框同轴置于所述台阶面上,同轴度优于0.005mm;所述超高精度光学元件与所述内圈面之间填满连接胶,所述连接胶固化后形成所述胶合层柔性部分,所述胶合层柔性部分均匀等厚,用于实现所述超高精度光学元件与所述镜框间的无应力连接。2.根据权利要求1所述的集成式超高精度光学组件,其特征在于,在所述镜框的圆周方向均布若干微调螺杆,用于驱动调节实现填连接胶前后所述超高精度光学元件与所述镜框同轴。3.根据权利要求2所述的集成式超高精度光学组件,其特征在于,所述微调螺杆的数量为3个,沿圆周方向120°均布在所述镜框上。4.根据权利要求1所述的集成式...
【专利技术属性】
技术研发人员:张继真,管海军,谢晓麟,曲贺盟,张新,徐放,王哈,王超,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春长光智欧科技有限公司,
类型:新型
国别省市:吉林,22
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