【技术实现步骤摘要】
一种晶棒加工中心设备
本技术涉及一种加工装置，特别涉及一种晶棒加工中心设备。
技术介绍
晶棒是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶棒。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。晶棒切片是晶棒加工的重要步骤，现有的晶棒切片时都是用水直接喷洒在刀片表面，不能对水进行回收利用，造成了水资源的浪费。为此，我们提出一种晶棒加工中心设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶棒加工中心设备，通过在刀片下方开设有集水槽，集水槽贯穿工作台且集水槽与水箱导通相连，对刀片冷却的水通过集水槽流进水箱内，并通过过滤器过滤掉杂质，使水可以循环利用，减小了水资源的浪费，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种晶棒加工中心设备，包括工作台和支腿，所述工作台底部表面焊接有支腿，所述工作台上表面通过螺钉连接有滑轨，所述滑轨表面滑动连接有一号卡块，所述一号卡块上方可拆卸连接有二号卡块，所述一号卡块一端通过卡扣...
【技术保护点】
1.一种晶棒加工中心设备，包括工作台（1）和支腿（2），所述工作台（1）底部表面焊接有支腿（2），其特征在于：所述工作台（1）上表面通过螺钉连接有滑轨（3），所述滑轨（3）表面滑动连接有一号卡块（4），所述一号卡块（4）上方可拆卸连接有二号卡块（5），所述一号卡块（4）一端通过卡扣连接有电动伸缩杆（8），所述滑轨（3）一侧焊接有L型支架（9），所述L型支架（9）一端可拆卸连接有液压油缸（10），所述液压油缸（10）一端通过螺钉连接有切割刀具（11），所述切割刀具（11）一端转动连接有刀片（14），所述刀片（14）两侧均旋转连接有水嘴（15），所述支腿（2）一侧焊接有水箱（17）。
【技术特征摘要】
1.一种晶棒加工中心设备，包括工作台（1）和支腿（2），所述工作台（1）底部表面焊接有支腿（2），其特征在于：所述工作台（1）上表面通过螺钉连接有滑轨（3），所述滑轨（3）表面滑动连接有一号卡块（4），所述一号卡块（4）上方可拆卸连接有二号卡块（5），所述一号卡块（4）一端通过卡扣连接有电动伸缩杆（8），所述滑轨（3）一侧焊接有L型支架（9），所述L型支架（9）一端可拆卸连接有液压油缸（10），所述液压油缸（10）一端通过螺钉连接有切割刀具（11），所述切割刀具（11）一端转动连接有刀片（14），所述刀片（14）两侧均旋转连接有水嘴（15），所述支腿（2）一侧焊接有水箱（17）。2.根据权利要求1所述的一种晶棒加工中心设备，其特征在于：所述一号卡块（4）和二号卡块（5）两侧均固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏静洪，裴忠，朱勤超，梁文，陆吴强，
申请(专利权)人：天通日进精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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