【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于诸如用于半导体制造装置等的金属隔膜阀的改良。
技术介绍
以前，所谓这种金属隔膜阀，正如在特开平8-105554号等记载的那样的阀。该金属隔膜阀20由图4及图5所示的那样，由以下部件构成在流入路21与流出路22连通的阀室23底面上设置有阀座24的阀体25，为保持阀室23的气密性、在阀体25上设置中央部向上膨出的金属隔膜26，使金属隔膜26覆盖压在阀座24上、并使其从阀座24上离开时、金属隔膜恢复自己原来的形状的驱动装置27，在阀室23的下方形成的、与流出路22连通的环状沟28。那么，图4及图5所示的金属隔膜阀20，由于形成环状沟28，阀座24的口径变大，即使金属隔膜的行程不大，能实现大流量流动。也就是说，与没有形成环状沟28的情况相比、使表示流体易流动性的数值Cv值变大。专利技术要解决的课题以前的金属隔膜阀20，由于形成环状沟28，将其与流出路22相通，相对于环状沟28的沟宽，流出路22的直径D1，特别是环状沟28的底面邻近的(垂直部分)直径小。其间流体被节流，通路阻力变大，从阀室23至流出路22的整体流路实现不了大流量流动，其结果，不能实现更大的...
【技术保护点】
金属隔膜阀，包括在连通流入路和流出路的阀室底面设置阀座的阀体、为保持阀室的气密性而在阀体设置中央部向上膨出的金属隔膜、使金属隔膜覆盖压在阀座上并从阀座上离开时恢复自己原来的形状的驱动装置、在阀室的下方形成并与流出路连通的环状沟构成，其特征在于，与前述环状沟的沟宽相比圆形流出路的直径要大，并且环状沟和流出路之间的交叉部分的有效横截面积比流出路的横截面积大。
【技术特征摘要】
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