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提供用于半导体制造装置等的金属隔膜阀是使通过阀本体的流入路、从阀室流至流出路，通路阻力小，虽然小型，但通过的流量大；本发明的金属隔膜阀由备有流入路（６）阀室（８）流出路（７）的阀体（２）、金属隔膜（３）、驱动装置（４）、环状沟（５）构成，并...
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