带加热器的提升阀制造技术

一种带加热器的提升阀，其特征是：具有：　　　　备有第１主孔和第２主孔、连接这两主孔的流道以及设置在该流道中的阀座的阀室；　　　　与上述阀室连接的气缸；　　　　设置在上述阀室内、用于开、关上述阀座的提升式的阀部件；　　　　将前端部连接在上述阀部件上、相反一侧的基端部延伸到上述气缸的内部的杆；　　　　能自如滑动地配设在上述气缸的内部，同时与上述杆的基端部连接的活塞；　　　　配设在上述阀室内的规定位置上，前端部具备在开阀位置上上述阀部件与其接触的传热面的发热部件；　　　　介于上述发热部件和阀部件之间、能随着该阀部件的动作自如伸缩的、能将来自上述发热部件的热始终传递到阀部件的传热部件；　　　　安装在上述发热部件上的第１加热器。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在理化机械等上直接用于供给反应气体等工作流体、或用于使用这样的反应气体的真空腔的减压等的提升阀，更详细地说是用加热器防止在阀部件等上附着来自上述工作流体的生成物的带加热器的提升阀。
技术介绍
例如，在半导体制造装置中，在真空腔内进行的浸蚀等化学处理，使用高温的反应气体，反应气体的供给或真空腔的减压等要使用提升阀。那么，若上述反应气体温度低，则容易析出生成物，该生成物附着在开、关流道的阀部件上，使开、关精度降低，因此，这样的提升阀能防止从工作流体中析出生成物或附着在阀部件上等结构是很重要的。因此，以往有人提出了用加热器加热外壳的内部或阀部件等，防止生成物附着的带加热器的提升阀。在日本专利公报第3005449号所公开的提升阀是将带式加热器缠绕在外壳的外面，同时使棒状的加热器穿过从该阀部件延伸过来的空心杆的内部，安装在开、关流道的阀部件上。另外，日本专利公报第3012831号所公开的提升阀是将橡胶加热器安装在外壳的外面，同时，将另一加热器安装在与阀部件一体的制成筒状的保持体的外周。但是，若象上述现有的提升阀那样，在活动部件-阀部件上安装能单独充分加热该阀部件程度的、热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：神坂育男，福田守，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：