一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，旨在提供一种用于电容器薄膜加工且在抽真空时能起到过滤冷却效果的真空镀膜机，其技术方案要点是包括镀膜腔室和抽真空装置，还包括过滤装置，过滤装置包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件和置于外壳体内的冷却组件，外壳体的两端分别与镀膜腔室和抽真空装置连通，过滤组件包括若干平行设置的网板，网板两侧均设有无纺布，相邻网板之间形成第一导流通道，冷却组件包括若干冷却管和置于冷却管上的导热板，相邻冷却管之间依次连通，相邻第二导热板之间形成第二导流通道，第一导流通道和第二导流通道之间形成V型流道，本实用新型专利技术适用于镀膜机技术领域。

A vacuum coating machine for capacitor film processing

【技术实现步骤摘要】
一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机
本技术属于镀膜机
，特指一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机。
技术介绍
电容器在生产的过程中需要对薄膜外侧镀上一层金属化膜，现有电容器真空镀膜机具有自动化程度高，效率高，真空度高，能耗低等优点，在进行真空镀膜前需要对设备内部进行抽真空处理，但是实际操作中一般为了加快生产，一般内部融化装置的加热装置会同时开启，所以会出现内部温度升高而同时进行抽真空的过程，抽真空时加热的空气被真空泵抽出去的时候，热量必然会被带到真空泵上去，从而导致真空泵温升过高，有可能使真空泵效率下降，影响机器的性能，另外镀膜时可能会产生较多的粉尘杂质，也容易被真空泵抽走从而影响到其性能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于电容器薄膜加工且在抽真空时能起到过滤冷却效果的真空镀膜机。本技术的目的是这样实现的：一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，包括镀膜腔室和抽真空装置，其特征在于：还包括过滤装置，过滤装置包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件和置于外壳体内的冷却组件，外壳体的两端分别与镀膜腔室和抽真空装置连通，过滤组件包括若干平行设置的网板，网板两侧均设有无纺布，相邻网板之间形成第一导流通道，冷却组件包括若干冷却管和置于冷却管上的导热板，相邻冷却管之间依次连通，相邻第二导热板之间形成第二导流通道，第一导流通道和第二导流通道之间形成V型流道。通过采用上述技术方案，过滤组件主要用于对真空腔室内的粉尘进行吸附过滤，冷却组件对镀膜腔室内被加热的气体进行冷却；外壳体底部内壁上可设置卡槽，使得网板和导热板卡合于外壳体内，网板和导热板均为斜向设置，使得第一导流通道和第二导流通道也为斜向结构，即第一导流通道和第二导流通道之间可以形成V型流道，镀膜腔室内的空气会依次沿着第一导流通道和第二导流通道流动，从而被吸附和冷却，吸附效果高且冷却效果也好；无纺布表面可植入绒毛，增加能力，网板上具有网孔，部分空气也能依次透过无纺布和网孔进行流动，增加吸附能力与空气流动性；导热板和冷却管均可为铝制或铜制，增加导热性，冷却管连接冷却水。本技术进一步设置为：所述外壳体的一端上设有连接外沿和卡槽，卡槽内嵌有第一密封条，连接外沿上设有连接孔，外壳体的另一端上设有抽真空连接管。通过采用上述技术方案，连接孔可通过螺钉等方式与镀膜腔室固定连接，第一密封条用于提高外壳体与镀膜腔室之间的连接密封性，抽真空连接管安装于外壳体上且用于与抽真空装置连通。本技术进一步设置为：所述外壳体的顶部设有盖板，盖板与外壳体之间通过设有螺栓固定，盖板与外壳体之间设有第二密封条。通过采用上述技术方案，盖板的开设便于取出过滤组件和冷却组件，便于对过滤组件和冷却组件进行清洗或更换，第二密封条用于提高盖板与外壳体之间的密封性。本技术进一步设置为：所述外壳体与镀膜腔室相连接的一端上设有第一金属滤网，外壳体与抽真空装置相连接的一端上设有第二金属滤网。通过采用上述技术方案，第一金属滤网可以避免其他大尺寸物体进入过滤装置内，第二金属滤网避免其他物体进入抽真空装置内，起到保护作用。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中过滤装置的剖视结构示意图；图3是本技术中图2的A-A向结构示意图；图中附图标记为：1、镀膜腔室；2、抽真空装置；3、过滤装置；4、过滤组件；5、冷却组件；6、网板；7、无纺布；8、第一导流通道；9、冷却管；10、导热板；11、第二导流通道；12、连接外沿；13、第一密封条；14、抽真空连接管；15、盖板；16、第一金属滤网；17、第二金属滤网。具体实施方式下面结合附图以具体实施例对本技术作进一步描述，参见图1-3：一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，包括镀膜腔室1和抽真空装置2，其特征在于：还包括过滤装置3，过滤装置3包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件4和置于外壳体内的冷却组件5，外壳体的两端分别与镀膜腔室1和抽真空装置2连通，过滤组件4包括若干平行设置的网板6，网板6两侧均设有无纺布7，相邻网板6之间形成第一导流通道8，冷却组件5包括若干冷却管9和置于冷却管9上的导热板10，相邻冷却管9之间依次连通，相邻第二导热板10之间形成第二导流通道11，第一导流通道8和第二导流通道11之间形成V型流道。通过采用上述技术方案，过滤组件4主要用于对真空腔室内的粉尘进行吸附过滤，冷却组件5对镀膜腔室1内被加热的气体进行冷却；外壳体底部内壁上可设置卡槽，使得网板6和导热板10卡合于外壳体内，网板6和导热板10均为斜向设置，使得第一导流通道8和第二导流通道11也为斜向结构，即第一导流通道8和第二导流通道11之间可以形成V型流道，镀膜腔室1内的空气会依次沿着第一导流通道8和第二导流通道11流动，从而被吸附和冷却，吸附效果高且冷却效果也好；无纺布7表面可植入绒毛，增加能力，网板6上具有网孔，部分空气也能依次透过无纺布7和网孔进行流动，增加吸附能力与空气流动性；导热板10和冷却管9均可为铝制或铜制，增加导热性，冷却管9连接冷却水。本技术进一步设置为：所述外壳体的一端上设有连接外沿12和卡槽，卡槽内嵌有第一密封条13，连接外沿12上设有连接孔，外壳体的另一端上设有抽真空连接管14。通过采用上述技术方案，连接孔可通过螺钉等方式与镀膜腔室1固定连接，第一密封条13用于提高外壳体与镀膜腔室1之间的连接密封性，抽真空连接管14安装于外壳体上且用于与抽真空装置2连通。本技术进一步设置为：所述外壳体的顶部设有盖板15，盖板15与外壳体之间通过设有螺栓固定，盖板15与外壳体之间设有第二密封条。通过采用上述技术方案，盖板15的开设便于取出过滤组件4和冷却组件5，便于对过滤组件4和冷却组件5进行清洗或更换，第二密封条用于提高盖板15与外壳体之间的密封性。本技术进一步设置为：所述外壳体与镀膜腔室1相连接的一端上设有第一金属滤网16，外壳体与抽真空装置2相连接的一端上设有第二金属滤网17。通过采用上述技术方案，第一金属滤网16可以避免其他大尺寸物体进入过滤装置3内，第二金属滤网17避免其他物体进入抽真空装置2内，起到保护作用。上述实施例仅为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，包括镀膜腔室(1)和抽真空装置(2)，其特征在于：还包括过滤装置(3)，过滤装置(3)包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件(4)和置于外壳体内的冷却组件(5)，外壳体的两端分别与镀膜腔室(1)和抽真空装置(2)连通，过滤组件(4)包括若干平行设置的网板(6)，网板(6)两侧均设有无纺布(7)，相邻网板(6)之间形成第一导流通道(8)，冷却组件(5)包括若干冷却管(9)和置于冷却管(9)上的导热板(10)，相邻冷却管(9)之间依次连通，相邻第二导热板(10)之间形成第二导流通道(11)，第一导流通道(8)和第二导流通道(11)之间形成V型流道。

【技术特征摘要】
1.一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，包括镀膜腔室(1)和抽真空装置(2)，其特征在于：还包括过滤装置(3)，过滤装置(3)包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件(4)和置于外壳体内的冷却组件(5)，外壳体的两端分别与镀膜腔室(1)和抽真空装置(2)连通，过滤组件(4)包括若干平行设置的网板(6)，网板(6)两侧均设有无纺布(7)，相邻网板(6)之间形成第一导流通道(8)，冷却组件(5)包括若干冷却管(9)和置于冷却管(9)上的导热板(10)，相邻冷却管(9)之间依次连通，相邻第二导热板(10)之间形成第二导流通道(11)，第一导流通道(8)和第二导流通道(11)之间形成V型流道。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：周斌迁，
申请(专利权)人：台州豪达机电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33