一种具有双重浮动的框架对位机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架和机架上的CCD固定板，所述的CCD固定板上设置有CCD检测装置、下方设置有对位装置，所述的对位装置包括CCD固定板下方的对位板，所述的对位板下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构，所述的浮动承载机构包括与框架配合的导轨座，且导轨座与缓冲升降组件连接，所述的导轨座上设置有气囊固定座，所述的气囊固定座上设置与框架配合的气囊，本实用新型专利技术的目的是提供一种具有双重浮动的框架对位机构，以双重浮动方式对上框实施缓冲升降，适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况发生。

A kind of frame alignment mechanism with double floating

【技术实现步骤摘要】
一种具有双重浮动的框架对位机构
本技术涉及曝光设备领域，尤其涉及一种具有双重浮动的框架对位机构。
技术介绍
传统的曝光机框架升降缓冲都只有一级，当曝光平台上升检查对位时会触碰到上框架，此时顶力会扩散到两侧的浮动机构上得已缓冲，但因升降平台速度较快瞬间与上框接触，无法使得上玻璃与升降平台之间的贴合力更加紧密，从而偶尔会出现曝光不良品质问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种具有双重浮动的框架对位机构，以双重浮动方式对上框实施缓冲升降，适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况发生。为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架和机架上的CCD固定底板，所述的CCD固定底板上设置有CCD检测装置、下方设置有对位装置，所述的对位装置包括CCD固定底板下方的对位板，所述的对位板下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构，所述的浮动承载机构包括与框架配合的导轨座，且导轨座与缓冲升降组件连接，所述的导轨座上设置有气囊固定座，所述的气囊固定座上设置与框架配合的气囊。优选的，所述的缓冲升降组件包括固定在对位板上的直线轴承，所述的直线轴承内穿插有导柱，所述的导轨座上开设有与导柱配合的导柱配合孔，且直线轴承位于对位板和导轨座之间的部位套接有缓冲垫。优选的，所述的框架包括框架主体，所述的框架主体的中心设置有上玻璃、与导轨座配合的侧面设置有不锈钢导轨片、外侧设置有用于推送和抽出的框架把手，所述的导轨座上设置有水平放置的用于支持不锈钢导轨片的凸轮轴承和竖直放置的用于对不锈钢导轨片限位的凸轮轴承。优选的，所述的CCD固定底板下方设置有四个微调装置，所述的微调装置包括通过锁紧杆安装在CCD固定底板上的微调安装座，所述的微调安装座上设置有电动拉杆，所述的电动拉杆连接有微调活动块，所述的微调活动块连接有连接组件，所述的连接组件固定在对位板的角落处，所述的连接组件与微调活动块之间能够在垂直与对应电动拉杆的方向滑动，且四个电动拉杆相互垂直设置。附图说明图1为一种具有双重浮动的框架对位机构的立体示意图。图2为去掉机架和CCD检测装置后的爆炸图。图3为浮动承载机构的立体示意图。图4为缓冲升降组件的立体示意图。图5为微调装置的立体示意图。图中所示文字标注表示为：1、框架；2、浮动承载机构；3、对位装置；4、微调装置；5、CCD固定底板；6、机架；7、CCD检测装置；10、框架把手；11、不锈钢导轨片；12、上玻璃；13、框架主体；20、导轨座；21、凸轮轴承；22、气囊固定座；23、气囊；24、导柱配合孔；31、对位板；32、导柱；33、直线轴承；34、缓冲垫；41、微调安装座；42、锁紧杆；43、电动拉杆；44、微调活动块；45、连接组件。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。如图1-3所示，本技术的具体结构为：一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架6和机架6上的CCD固定底板5，所述的CCD固定底板5上设置有CCD检测装置7、下方设置有对位装置3，所述的对位装置3包括CCD固定底板5下方的对位板31，所述的对位板31下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构2，所述的浮动承载机构2包括与框架1配合的导轨座20，且导轨座20与缓冲升降组件连接，所述的导轨座20上设置有气囊固定座22，所述的气囊固定座22上设置与框架1配合的气囊23。先将框架1放入到导轨座20上，然后通过升降平台的升降带动框架1上升，在上升的过程中，先是使框架1随升降平台上升，并接触到导轨座上的气囊实施一级缓冲，继而通过CCD检测装置检测对位情况，如无对位误差，升降平台继续上升到曝光位置，此时气囊会到达所承受的临界力并将转移到升降缓冲组件进行二级缓冲，进而可以适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况。如图2-4所示，所述的缓冲升降组件包括固定在对位板31上的直线轴承33，所述的直线轴承33内穿插有导柱32，所述的导轨座20上开设有与导柱32配合的导柱配合孔24，且直线轴承33位于对位板31和导轨座20之间的部位套接有缓冲垫34。缓冲升降组件的结构简单，安装方便，同时通过导柱32能够起到精准的导向上升效果。如图2所示，所述的框架1包括框架主体13，所述的框架主体13的中心设置有上玻璃12、与导轨座20配合的侧面设置有不锈钢导轨片11、外侧设置有用于推送和抽出的框架把手10，所述的导轨座20上设置有水平放置的用于支持不锈钢导轨片11的凸轮轴承21和竖直放置的用于对不锈钢导轨片11限位的凸轮轴承21。在将框架放入和抽出时，不锈钢导轨片11底面会与水平放置的凸轮轴承21相切，不锈钢导轨片11的外侧会与竖直放置的凸轮轴承21相切配合，进而能够实现精准的进料效果。如图5所示，所述的CCD固定底板5下方设置有四个微调装置4，所述的微调装置4包括通过锁紧杆42安装在CCD固定底板5上的微调安装座41，所述的微调安装座41上设置有电动拉杆43，所述的电动拉杆43连接有微调活动块44，所述的微调活动块44连接有连接组件45，所述的连接组件45固定在对位板31的角落处，所述的连接组件45与微调活动块44之间能够在垂直与对应电动拉杆43的方向滑动，且四个电动拉杆43相互垂直设置。现有的对于框架对位结构上的微调模组是逐个装设在分开的安装底板上，且位于CCD固定底板偏中间部位，距中心行程偏近且不等，从力学原理上分析也不便力流引导均分及大面积覆盖，致使对位精度略差，无法进一步提升产品对位精度，本申请同时将微调模组装设于一体式CCD固定底板的四角便于力流引导均分及大面积覆盖，大大提升了微调对位精度。微调是两个微调装置控制一个方向的调整，进而能够实现XY两个方向的调整，连接组件一般是采用两个垂直走向的滑轨配合两个垂直走向的滑块实现的，其中一个滑块与微调活动块连接，另一个滑块与对位板连接。需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将技术的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架（6）和机架（6）上的CCD固定底板（5），所述的CCD固定底板（5）上设置有CCD检测装置（7）、下方设置有对位装置（3），其特征在于，所述的对位装置（3）包括CCD固定底板（5）下方的对位板（31），所述的对位板（31）下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构（2），所述的浮动承载机构（2）包括与框架（1）配合的导轨座（20），且导轨座（20）与缓冲升降组件连接，所述的导轨座（20）上设置有气囊固定座（22），所述的气囊固定座（22）上设置与框架（1）配合的气囊（23）。

【技术特征摘要】
1.一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架（6）和机架（6）上的CCD固定底板（5），所述的CCD固定底板（5）上设置有CCD检测装置（7）、下方设置有对位装置（3），其特征在于，所述的对位装置（3）包括CCD固定底板（5）下方的对位板（31），所述的对位板（31）下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构（2），所述的浮动承载机构（2）包括与框架（1）配合的导轨座（20），且导轨座（20）与缓冲升降组件连接，所述的导轨座（20）上设置有气囊固定座（22），所述的气囊固定座（22）上设置与框架（1）配合的气囊（23）。2.根据权利要求1所述的一种具有双重浮动的框架对位机构，其特征在于，所述的缓冲升降组件包括固定在对位板（31）上的直线轴承（33），所述的直线轴承（33）内穿插有导柱（32），所述的导轨座（20）上开设有与导柱（32）配合的导柱配合孔（24），且直线轴承（33）位于对位板（31）和导轨座（20）之间的部位套接有缓冲垫（34）。3.根据权利要求1所述的一种具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭家宝，邱田生，
申请(专利权)人：东莞市多普光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44