一种靶材焊接用套筒制造技术

本实用新型专利技术公开一种靶材焊接用套筒，涉及靶材钎焊技术领域，其包括配合套设于靶材上的第一套管，第一套管的一端可拆卸连接有第二套管，第二套管的外径大于第一套管的内径，第二套管配合套设于背管上，第一套管内壁设置有同轴的密封圈，密封圈的第二套管的端部抵接，密封圈的内径小于背管的外径，且密封圈的外径大于靶材的内径。本实用新型专利技术具有固定背管和靶材，准确定位靶材和背管的相对位置，并且在底部形成密封，从而可以进行钎焊操作，提高钎焊的可操作性。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材焊接用套筒
本技术涉及靶材钎焊
，尤其是涉及一种靶材焊接用套筒。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在背管上形成各种功能薄膜的溅射源。参照图1，示出了靶材5和背管6的安装关系，其中靶材5和背管6分别呈管状设置，且背管6套设于靶材5内，且背管6的外侧壁与靶材5的内壁间隙设置，从而形成一容纳腔，然后在背管6上套设一密封套，以封闭容纳腔的一开口，继而向容纳腔的另一开口灌入融化的铟，待铟凝固后形成一连接背管6和靶材5的焊接层4。但是，利用密封套使背管6与靶材5相对固定时，由于密封套的易形变性，容易导致靶材5和背管6的相对位置发生变化，使得靶材和背管的位置不易固定，并且焊接层4的同心度不符合要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种靶材焊接用套筒，固定背管和靶材，准确定位靶材和背管的相对位置，并且在底部形成密封，从而可以进行钎焊操作，提高钎焊的可操作性。本技术的目的是通过以下技术方案得以实现的：一种靶材焊接用套筒，包括配合套设于靶材上的第一套管，第一套管的一端可拆卸连接有第二套管，第二套管的外径大于第一套管的内径，第二套管配合套设于背管上，第一套管内壁设置有同轴的密封圈，密封圈的第二套管的端部抵接，密封圈的内径小于背管的外径，且密封圈的外径大于靶材的内径。采用上述技术方案，在安装靶材和背管时，先将第二套管相对固定于第一套管的一端，然后可以将密封圈套设于背管的一端上，且由于密封圈的内径小于背管的外径，从而给密封圈的内壁能与背管外侧壁抵紧，然后将背管的靠近密封圈的一端依次穿过第一套管以及第二套管，从而使密封圈限位于第二套管与第一套环的连接端部处，然后将靶材套在背管上并卡入第一套管内至靶材与密封圈抵紧，并在靶材自重下压紧密封圈，从而给对背管和靶材之间的容纳腔起到了封闭作用，然后在容纳腔远离密封圈的一端灌入融化的铟，以焊接背管和靶材。通过设置第一套管和第二套管，从而对套管和靶材的相对位置起到了限制的效果，以避免靶材相对于背管晃动，提高了其定位准确性。本技术进一步设置为：第一套管内壁开设有隔离腔，隔离腔沿第一套管周向设置。采用上述技术方案，由于在安装背管和靶材之前，需要将靶材和背管加热至预设温度，通过设置隔离腔，起到保温的效果；在铟的凝固过程中，可以打开隔离腔，以加快焊接层的形成速度，从而提高整体的工作效率。本技术进一步设置为：隔离腔的宽度为1.8mm~2.2mm。采用上述技术方案，将隔离腔的宽度设置为1.8mm~2mm之间，不仅保证了隔离腔的保温效果，还限制了第一套管的体积。本技术进一步设置为：第二套管的外壁固定有环形块，环形块上设置有若干螺钉，螺钉穿过环形块并与第一套管螺纹连接。采用上述技术方案，将第一套环正对第二套管，且二者的轴线重合，使螺栓先穿过环形块然后与第一套管螺纹连接，从而实现了第一套管和第二套管的可拆卸安装，具有结构简单、操作方便的优点。本技术进一步设置为：第二套管远离第一套管的一端设置有横板，横板远离第二套管的面与第二套管的轴线垂直。采用上述技术方案，通过设置横板，当背管竖向放置时，背管在卡入第二套管内的同时还与横板抵接，且靶材与密封圈抵接，从而对靶材和背管之间的位置进一步限制，提高了焊接的精度。本技术进一步设置为：横板呈圆柱形设置，且横板的轴线与第二套管的轴线重合设置，横板的外径大于第二套管的外径。采用上述技术方案，横板呈圆柱形设置，从而在灌注融化的铟时，提高横板放置的稳定性，且横板的外径大于套管的外径，从而能够在横板上放置铁块，从而提高该套筒工作时的稳定性。本技术进一步设置为：横板上开设有若干贯穿孔，贯穿孔与第二套管的内部相通。采用上述技术方案，通过设置贯穿孔，灌注融化的铟时，提高外界空气与背管内部之间的空气交换。本技术进一步设置为：第一套管的长度等于密封圈与靶材的长度之和。采用上述技术方案，在靶材卡入第一套管内并与密封圈抵接，从而使第一套管远离第二套管的一端面与靶材的对应端面平齐，在铟溢出容纳腔时能沿着第一套管的外壁流走，从而减少对靶材外侧壁的影响。本技术进一步设置为：第一套管远离第二套管的一端固定有同轴的限位圈，限位圈的内径大于套管的外径。采用上述技术方案，通过设置限位圈，在铟溢出容纳腔时被限位于限位圈内，从而及时停止灌注铟，以避免污染靶材以及第一套管的外壁。综上所述，本技术的有益技术效果为：（1）通过设置第一套管和第二套管，从而对套管和靶材的相对位置起到了限制的效果，以避免靶材相对于背管晃动，提高了其定位精确性；（2）通过设置隔离腔，起到保温的效果；在铟的凝固过程中，可以打开隔离腔，以加快焊接层的形成效率，从而提高整体的工作效率；（3）通过设置在横板，当背管竖向放置时，背管在卡入第二套管内的同时还与横板抵接，对靶材和背管之间的位置进一步限制，提高焊接的精度。附图说明图1是
技术介绍
中靶材与背管的连接结构示意图；图2是本技术的整体结构示意图；图3是图2的剖视图；图4是图3中A部分的局部放大示意图；图5是图3中B部分的局部放大示意图。附图标记：1、第一套管；2、第二套管；3、横板；4、焊接层；5、靶材；6、背管；7、限位圈；8、环形块；9、螺钉；10、密封圈；11、贯穿孔；12、隔离腔。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。参照图2和图3，一种靶材焊接用套筒，包括第一套管1、第二套管2以及横板3。第一套管1、第二套管2以及横板3的轴线重合且依次可拆卸连接。参照图2和图3，第一套管1的横截面呈环形设置，第一套管1的长度可以为920mm~950mm，靶材5的长度为900mm，其中第一套管1的内径与靶材5的外径相同，从而靶材5能够卡入第一套管1内。参照图2和图3，第二套管2的横截面呈环形设置，第二套管2的长度可以为200mm，且背管6长度为1300mm，其中第二套管2的内径与背管6的内径相同，从而背管6能够卡入第二套管2内，第二套管2的外径大于第一套管1的内径，从而第二套管2能够与第一套管1抵接。参照图3和图4，第二套管2朝向第一套管1的一端固定有环形块8，环形块8与第二套管2同轴设置，环形块8与第二套管2朝向第一套管1的面平齐，环形块8与第二套管2一体设置，环形块8的外径大于第一套管1的外径；环形块8上设置有螺钉9，螺钉9设置有六个且轴线与环形块8的轴线平行，螺钉9均匀分布于环形块8上，螺钉9远离螺帽的一端穿过环形块8并与第一套管1螺纹连接，实现第一套管1和第二套管2的可拆卸连接。参照图3和图4，第一套管1内设置有密封圈10，密封圈10的内径小于背管6的外径，且密封圈10的外径大于靶材5的内径。将密封圈10圈套设于背管6的一端并卡入第二套管2内，从而使密封圈10被限位与于第二套管2的端部，然后卡入靶材5，从而使密封圈10圈抵紧于第二套管2和靶材5之间。其中密封圈10的厚度为20mm~50mm，第一套管1的长度等于密封圈10与靶材5的长度之和。参照图2和图3，横板3呈圆柱形设置，横板3的外径大于第二套管2的外径，横板3的一端面开设有螺纹槽，第二套管2远离第一套管1的一端与螺纹槽配合螺纹连接，且在横板3安装于第二套管2上时，横板3的轴线与第二套管2的轴线重合，以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材焊接用套筒，其特征在于，包括配合套设于靶材(5)上的第一套管(1)，第一套管(1)的一端可拆卸连接有第二套管(2)，第二套管(2)的外径大于第一套管(1)的内径，第二套管(2)配合套设于背管(6)上，第一套管(1)内壁设置有同轴的密封圈(10)，密封圈(10)的第二套管(2)的端部抵接，密封圈(10)的内径小于背管(6)的外径，且密封圈(10)的外径大于靶材(5)的内径。

【技术特征摘要】
1.一种靶材焊接用套筒，其特征在于，包括配合套设于靶材(5)上的第一套管(1)，第一套管(1)的一端可拆卸连接有第二套管(2)，第二套管(2)的外径大于第一套管(1)的内径，第二套管(2)配合套设于背管(6)上，第一套管(1)内壁设置有同轴的密封圈(10)，密封圈(10)的第二套管(2)的端部抵接，密封圈(10)的内径小于背管(6)的外径，且密封圈(10)的外径大于靶材(5)的内径。2.根据权利要求1所述的一种靶材焊接用套筒，其特征在于，第一套管(1)内壁开设有隔离腔(12)，隔离腔(12)沿第一套管(1)周向设置。3.根据权利要求2所述的一种靶材焊接用套筒，其特征在于，隔离腔(12)的宽度为1.8mm~2.2mm。4.根据权利要求2所述的一种靶材焊接用套筒，其特征在于，第二套管(2)的外壁固定有环形块(8)，环形块(8)上设置有若干螺钉(9)，螺钉(9)穿过环形块(8)并与...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建栋，张小伟，张扬，
申请(专利权)人：东曹上海电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31