【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材加热平台
本技术涉及加热平台，更具体地说，它涉及一种溅射靶材加热平台。
技术介绍
靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。对于现有的靶材涂铟加热平台，如专利公开号为CN205385619U的中国专利，其公开了一种靶材涂铟加热平台，包括不锈钢框架、柜体部分和安装在不锈钢框架上部的加热平台；加热平台上设有孔，孔内装有发热管。上述专利钎焊溅射靶材时，需要投入较多的钎料，以确保焊接的牢固性，而过多的焊料融化后，液态焊料易向加热平台周侧流动，继而滴落在地面，影响车间内部卫生和清洁。
技术实现思路
针对现有技术存在过多焊料融化后易滴落至车间内的问题，本技术的目的是提供一种溅射靶材加热平台，其具有方便收集过多焊料的优点。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种溅射靶材加热平台，包括机架，所述机架上固定有多个加热块，所述加热块内插接连接有多个电热棒，多个所述加热块一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板，多个所述加热块沿所述垫板的长度方向设置，所述机架周侧固定有...
【技术保护点】
1.一种溅射靶材加热平台，包括机架（1），其特征在于，所述机架（1）上固定有多个加热块（2），所述加热块（2）内插接连接有多个电热棒（3），多个所述加热块（2）一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板（4），多个所述加热块（2）沿所述垫板（4）的长度方向设置，所述机架（1）周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽（5），所述机架（1）于所述垫板（4）的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。
【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材加热平台，包括机架（1），其特征在于，所述机架（1）上固定有多个加热块（2），所述加热块（2）内插接连接有多个电热棒（3），多个所述加热块（2）一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板（4），多个所述加热块（2）沿所述垫板（4）的长度方向设置，所述机架（1）周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽（5），所述机架（1）于所述垫板（4）的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加热平台，其特征在于，所述加热块（2）远离所述机架（1）的侧面沿其边缘开设有用于收集多余焊料的凹槽（6）。3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材加热平台，其特征在于，位于所述垫板（4）中部的所述加热块（2）为中段块（7），所述中段块（7）远离所述机架（1）的侧面两端均开设有装载槽（8）。4.根据权利要求3所述的一种溅...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢建栋，张小伟，张扬，
申请(专利权)人：东曹上海电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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