晶片除尘装置制造方法及图纸

技术编号:22397673 阅读:30 留言:0更新日期:2019-10-29 09:15
本实用新型专利技术公开了晶片除尘装置,包括本体,所述本体内设置有工作台,所述工作台上设置有工装,所述工装内设置有晶片除尘夹具,所述晶片除尘夹具包括底座和盖板,所述底座和所述盖板上设置有通孔,且所述通孔的大小要满足被除尘的晶片无法穿过所述通孔,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述盖板罩在所述底座上,所述工作台上位于所述工装的底部设置有吸尘管,所述吸尘管与吸尘器的进气口相连。使用时,晶片被限定在凹槽和盖板组成的空间内,然后晶片振动抖落的灰尘从凹槽内的通孔掉落。然后吸尘装置通过管道将抖落的灰尘抽走,避免抖落的灰尘再次落到晶片上。

Wafer dedusting device

【技术实现步骤摘要】
晶片除尘装置
本技术涉及一种用于晶振的晶片,更具体的涉及一种晶片除尘装置。
技术介绍
晶片在被银之后,还要进行一次除尘,原来除尘都是通过原来的被银夹具上进行。除尘过程是,利用设备发出超声波,与晶片产生共振,从而将晶片表面的灰尘振落。为了使晶片能够充分的振动,被银夹具的盖板都要撤掉。但是这种方式,振落的灰尘飘散有部分飘散在空气中,还是会粘附在晶片上,影响晶片的效能。很容易想到的一个方案是,在除尘设备上安装吸尘器,然后利用吸尘器吸走,但是由于没有盖板,在气流的作用下,晶片在被银夹具的凹槽内容易跑出,然后被吸走。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供一种晶片除尘装置,能够有效除掉晶片上的灰尘且在气流作用下不会被吸走。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:晶片除尘装置,包括本体,所述本体内设置有工作台,所述工作台上设置有工装,所述工装内设置有晶片除尘夹具,所述晶片除尘夹具包括底座和盖板,所述底座和所述盖板上设置有通孔,且所述通孔的大小要满足被除尘的晶片无法穿过所述通孔,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述盖板罩在所述底座上,所述工作台上位于所述工装的底部设置有吸尘管,所述吸尘管与吸尘器的进气口相连。使用时,晶片被限定在凹槽和盖板组成的空间内,然后晶片振动抖落的灰尘从凹槽内的通孔掉落。然后吸尘装置通过管道将抖落的灰尘抽走,避免抖落的灰尘再次落到晶片上。上述技术方案中,优选的,所述工装包括上压块和下压块,所述晶片除尘夹具被夹紧固定在所述上压块和所述下压块之间。上述技术方案中,优选的,所述盖板和所述底座都由横向钢丝和纵向钢丝交织而成。上述技术方案中,优选的,所述横向钢丝和所述纵向钢丝交织而成的网格是正方形。上述技术方案中,优选的,所述底座和所述盖板的孔隙率为70%以上。本技术的有益效果是:使用时,晶片被限定在凹槽和盖板组成的空间内,然后晶片振动抖落的灰尘从凹槽内的通孔掉落。然后吸尘装置通过管道将抖落的灰尘抽走,避免抖落的灰尘再次落到晶片上。附图说明图1是本技术的示意图。图2是晶片除尘夹具的示意图。图3是基座的示意图。图4是盖板的示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述:图1-2中为了防止过密的线条导致图片杂乱,我们对图片上的线条做了简化,底座和盖板实际为网格状,但在途中我们都用板状表示.参见图1-4,晶片除尘装置,包括本体4,所述本体4内设置有工作台41,所述工作台41上设置有工装5,所述工装5内设置有晶片除尘夹具,晶片除尘夹具包括底座1和盖板2,所述底座1和所述盖板2上设置有通孔1a,2a,且所述通孔1a,2a的大小要满足被除尘的晶片3无法穿过所述通孔1a,2a,所述底座1上设置有若干凹槽11,所述凹槽11内设置有所述晶片2a,所述盖板2罩在所述底座1上。所述工作台41上位于所述工装5的底部设置有吸尘管61,所述吸尘管61与吸尘器6的进气口相连。所述工装5包括上压块51和下压块52,所述晶片除尘夹具被夹紧固定在所述上压块和所述下压块之间。参见图3-4,所述盖板和所述底座都由横向钢丝和纵向钢丝交织而成。所述横向钢丝和所述纵向钢丝交织而成的网格是正方形。所述底座和所述盖板的孔隙率为70%以上。使用时,晶片被限定在凹槽和盖板组成的空间内,然后晶片振动抖落的灰尘从凹槽内的通孔掉落。采用这种结构的夹具,我们可以在除尘装置上安装吸尘装置,避免抖落的灰尘再次落到晶片上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶片除尘装置,包括本体,所述本体内设置有工作台,所述工作台上设置有工装,所述工装内设置有晶片除尘夹具,其特征在于:所述晶片除尘夹具包括底座和盖板,所述底座和所述盖板上设置有通孔,且所述通孔的大小要满足被除尘的晶片无法穿过所述通孔,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述盖板罩在所述底座上,所述工作台上位于所述工装的底部设置有吸尘管,所述吸尘管与吸尘器的进气口相连。

【技术特征摘要】
2018.11.23 CN 201821943629X1.晶片除尘装置,包括本体,所述本体内设置有工作台,所述工作台上设置有工装,所述工装内设置有晶片除尘夹具,其特征在于:所述晶片除尘夹具包括底座和盖板,所述底座和所述盖板上设置有通孔,且所述通孔的大小要满足被除尘的晶片无法穿过所述通孔,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述盖板罩在所述底座上,所述工作台上位于所述工装的底部设置有吸尘...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊利平陈康徐兴华鲍旭伟
申请(专利权)人:金华市创捷电子有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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