【技术实现步骤摘要】
一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置
本技术属于电阻测量
，尤其涉及一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置。
技术介绍
导电薄膜的方块电阻又称膜电阻、面电阻，简称方阻，是指薄膜状导体任意正方形状对边之间的电阻，在该薄膜厚度不变的情况下它为一定值，不随正方形的面积大小而变化。方电阻的值可以用于表征半导体导电薄膜的导电性能，是研究半导体物理器件不可缺少的量。目前常见的测试方法有霍尔效应法、四探针法及人工铟丝直接测量法。霍尔效应法所用的设备价格昂贵、要求较高、测试成本较大，制作测试电极损坏样品，是一种有损测量方法；四探针法的测量设备虽然普遍，购买成本也较高；虽然人工铟线直接测法比较直观，但在制备测试电极时，需要稀有金属铟，成本较高，并且损坏导电薄膜。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，包括探头，探头包括探头内轴、探头外壳、圆环状工件和弹性导电橡胶，圆环状工件固定在探头内轴的外部，在圆环状工件和探头内轴的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。按上述技术方案，探头内轴为同轴电缆接头。按上述技术方案，通过在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定在探头外壳的内部，圆环状工件与探头具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头内轴的底面在同一平面内。按上述技术方案，圆环状工件材质为铝合金或黄铜或不锈钢。按上述技术方案，弹性导电橡胶的体积电阻小于6Ω/cm3。按上述技术方案，还包括绝缘套筒，绝缘套筒设置在圆环状工件...
【技术保护点】
1.一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，其特征在于，包括探头，探头包括探头内轴、探头外壳、圆环状工件和弹性导电橡胶，圆环状工件固定在探头内轴的外部，在圆环状工件和探头内轴的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。
【技术特征摘要】
1.一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，其特征在于，包括探头，探头包括探头内轴、探头外壳、圆环状工件和弹性导电橡胶，圆环状工件固定在探头内轴的外部，在圆环状工件和探头内轴的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。2.根据权利要求1所述的无损测量导电薄膜方块电阻的装置，其特征在于，探头内轴为同轴电缆接头。3.根据权利要求1或2所述的无损测量导电薄膜方块电阻的装置，其特征在于，通过在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定在探头外壳的内部，圆环状工件与探头具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头内轴的底面...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦平力，刘子初，陈刘钰，贺文静，余雪里，
申请(专利权)人：武汉工程大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。