一种滤波器型声表面波双轴陀螺制造技术

本发明专利技术涉及一种滤波器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定在基板顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板顶面的1个输入导引电极、4个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作在基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线。通过本发明专利技术，扩展波束与主波束一样均属于沿压电基片纯模方向传播的声表面波行波，所感测到的声表面波波束的幅度相对较大，相应的输出高频信号的幅度也较大，因而相应的旋转角运动角速度的感测灵敏度和精度也较高，同时免去了为提高感测灵敏度而在第一声表面波驻波区设置的金属点阵，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。

A filter type saw biaxial gyroscope

【技术实现步骤摘要】
一种滤波器型声表面波双轴陀螺
本专利技术涉及一种滤波器型声表面波双轴陀螺，具体涉及一种基于复合声表面波滤波器结构的双轴陀螺，属于声表面波传感器

技术介绍
传统的陀螺大多基于振动传感原理，硅微机械振动陀螺具有尺寸小、功耗低等优点，在民用消费电子产品以及军用装备系统中得到了广泛应用，但其所包含的可动质量块及其悬挂支撑结构的制备需要采用较为复杂的三维微结构加工设备及工艺，同时需要复杂的控制与测试电子电路，并且为防止外界环境和振动冲击影响而须具备的专门封装方法也增加了设计与工艺的难度。MEMS-IDT声表面波陀螺结构包括由制作在压电基片上的一对叉指换能器和一对反射器组成的声表面波谐振器，由叉指换能器激发的第一声表面波在由两个反射器构成的谐振腔中形成驻波。当存在旋转角速度时，驻波上除波节位置以外的质点均承受一个不同大小的科里奥力的作用，这一科里奥力在与驻波垂直的方向激发同频的第二声表面波，其幅度正比于旋转角速度的大小，利用另一对与声表面波谐振器相垂直的叉指换能器，检测第二声表面波输出信号，即可测量与之相应的旋转角速度的大小。且典型的MEMS-IDT声表面波陀螺为平面结构，仅需利用常规本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤波器型声表面波双轴陀螺，其特征是：包括基板(1)，固定在基板(1)顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板(1)顶面的1个输入导引电极(11)、4个输出导引电极(12)和若干个接地导引电极(13)，制作在基板(1)底面的1个输入电极(14)、4个输出电极(15)和接地面(16)，贯穿基板(1)的若干个金属过孔(17)以及键合引线(3)；所述4个U形声表面波滤波器芯片相对于基板中心旋转对称分布，4个U形声表面波滤波器芯片分别为第一U形声表面波滤波器芯片(2‑1)、第二U形声表面波滤波器芯片(2‑2)、第三U形声表面波滤波器芯片(2‑3)、第四U形声表面波滤波器芯片(2‑4)，其中，...

【技术特征摘要】
1.一种滤波器型声表面波双轴陀螺，其特征是：包括基板(1)，固定在基板(1)顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板(1)顶面的1个输入导引电极(11)、4个输出导引电极(12)和若干个接地导引电极(13)，制作在基板(1)底面的1个输入电极(14)、4个输出电极(15)和接地面(16)，贯穿基板(1)的若干个金属过孔(17)以及键合引线(3)；所述4个U形声表面波滤波器芯片相对于基板中心旋转对称分布，4个U形声表面波滤波器芯片分别为第一U形声表面波滤波器芯片(2-1)、第二U形声表面波滤波器芯片(2-2)、第三U形声表面波滤波器芯片(2-3)、第四U形声表面波滤波器芯片(2-4)，其中，第一U形声表面波滤波器芯片(2-1)和第二U形声表面波滤波器芯片(2-2)横向左右设置，第三U形声表面波滤波器芯片(2-3)和第四U形声表面波滤波器芯片(2-4)纵向上下设置；所述第一U形声表面波滤波器芯片(2-1)、第二U形声表面波滤波器芯片(2-2)、第三U形声表面波滤波器芯片(2-3)、第四U形声表面波滤波器芯片(2-4)均包括压电基片(21)、制作在压电基片(21)顶面的发射叉指换能器(22)、第一接收叉指换能器(23)、第二接收叉指换能器(24)和内吸声区(25)、第一外吸声区(26)、第二外吸声区(27)；所述发射叉指换能器(22)包括1组第一发射叉指指条(221)、1组第二发射叉指指条(222)、输入信号汇流电极(223)和输入接地汇流电极(224)，所述各个第一发射叉指指条(221)、第二发射叉指指条(222)呈周期排列且第一发射叉指指条(221)与第二发射叉指指条(222)相间交错排列，各个第一发射叉指指条(221)与相邻的各个第二发射叉指指条(222)相互重叠的区域为发射叉指换能器有效指区域(225)，所述各个第一发射叉指指条(221)的一端汇接至输入信号汇流电极(223)，另一端向输入接地汇流电极(224)延伸并与输入接地汇流电极(224)保持适当宽度的间隙，所述各个第二发射叉指指条(222)的一端汇接至输入接地汇流电极(224)，另一端向输入信号汇流电极(223)延伸并与输入信号汇流电极(223)保持适当宽度的间隙，所述输入信号汇流电极(223)与输入接地汇流电极(224)相对平行设置；所述第一接收叉指换能器(23)、第二接收叉指换能器(24)均包括1组第一接收叉指指条(231)、1组第二接收叉指指条(232)、输出信号汇流电极(233)和输出接地汇流电极(234)，所述各个第一接收叉指指条(231)、第二接收叉指指条(232)呈周期排列且第一接收叉指指条(231)与第二接收叉指指条(232)相间交错排列，各个第一接收叉指指条(231)与相邻的各个第二接收叉指指条(232)相互重叠的区域为接收叉指换能器有效指区域(235)，所述各个第一接收叉指指条(231)的一端汇接至输出信号汇流电极(233)，另一端向输出接地汇流电极(234)延伸并与输入接地汇流电极保持适当宽度的间隙，所述各个第二接收叉指指条(232)的一端汇接至输出接地汇流电极（234），另一端向输出信号汇流电极（233）延伸并与输出信号汇流电极（233）保持适当宽度的间隙，所述输出信号汇流电极(233)与输出接地汇流电极(234)相对平行设置；所述U形声表面波滤波器芯片上，发射叉指换能器（22）位于左侧，第一接收叉指换能器（23）位于右上侧，第二接收叉指换能器（24）位于右下侧，所述第一接收叉指换能器（23）和第二接收叉指换能器（24）相对于发射叉指换能器（22）上下对称设置，所述第一接收叉指换能器（23）的接收叉指换能器有效指区域（235）的下边沿与发射叉指换能器（22）的发射叉指换能器有效指区域（225）的上边沿平齐，所述第二接收叉指换能器（24）的接收叉指换能器有效指区域（235）的上边沿与发射叉指换能器（22）的发射叉指换能器有效指区域（225）的下边沿平齐；所述U形声表面波滤波器芯片上，第一接收叉指换能器（23）与第二接收叉指换能器（24）相向设置，第一接收叉指换能器（23）的输出信号汇流电极（233）与第二接收叉指换能器（24）的输出信号汇流电极（233）相连合一用作U形声表面波滤波器的信号输出电极，发射叉指换能器（22）的输入信号汇流电极（223）用作U形声表面波滤波器芯片的信号输入电极；所述各个U形声表面波滤波器芯片上，内吸声区（25）、第一外吸声区（26）、第二外吸声区（27）均为矩形吸声胶胶膜；所述内吸声区（25）位于发射叉指换能器（22）与第一接收叉指换能器（23）和第二接收叉指换能器（24）之间，所述内吸声区（25）的上边沿与发射叉指换能器有效指区域（225）的上边沿以及第一接收叉指换能器（23）的接收叉指换能器有效指区域（235）的下边沿平齐，所述内吸声区（25）的下边沿与发射...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成，朱骏，杨义军，郭鹏飞，王健，
申请(专利权)人：扬州大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32