升华炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种升华炉，该升华炉包括：多个真空腔体，用于放置多个物料；等待区，设置于升华炉的一侧，等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与等待区衔接，加热区内设有加热模组，加热模组用于加热多个物料；冷却区，与加热区衔接，冷却区用于多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与多个真空腔体对应连接，多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降；以及移动装置，与多个第一升降支撑架的另一端连接，移动装置通过多个第一升降支撑架与多个真空腔体连接。本实用新型专利技术实现一台升华炉同时进行进料、升温、升华及冷却动作，减少操作者实际生产时的等待时间，增加生产效率。

Sublimation furnace

【技术实现步骤摘要】
升华炉
本技术涉及一种升华炉，特别是涉及一种用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却的升华炉。
技术介绍
现有技术的升华炉通常只能对单一炉管依次进行进料、抽真空、升温、升华、冷却、收料、清洁的动作，且操作人员只能等待前一动作完成后才能进行下一动作，由于炉管在抽真空、升温及冷却时用时较多，占整个升华物料时间的10～30％。因此导致操作者大部分的时间都是在等待炉管的抽真空、升温及冷却，浪费了较多的生产时间，进而导致生产效率低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种升华炉，以解决上述技术问题，具体的技术方案如下：一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其中升华炉包括：多个真空腔体，用于放置多个物料；等待区，设置于升华炉的一侧，等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内，以真空状态存放多个物料；加热区，与等待区衔接，加热区内设有加热模组，加热模组用于加热多个物料；冷却区，与加热区衔接，冷却区用于多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与多个真空腔体对应连接，多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降；以及移动装置，与多个第一升降支撑架的另一端连接，移动装置通过多个第一升降支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其特征在于，所述升华炉包括：多个真空腔体，用于放置所述多个物料；等待区，设置于所述升华炉的一侧，所述等待区用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与所述等待区衔接，所述加热区内设有加热模组，所述加热模组用于加热所述多个物料；冷却区，与所述加热区衔接，所述冷却区用于所述多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与所述多个真空腔体对应连接，所述多个第一升降支撑架用于带动所述多个真空腔体升降；以及移动装置，与所述多个第一升降支撑架的另一端连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架与所述多个真空腔体连接，...

【技术特征摘要】
1.一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其特征在于，所述升华炉包括：多个真空腔体，用于放置所述多个物料；等待区，设置于所述升华炉的一侧，所述等待区用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与所述等待区衔接，所述加热区内设有加热模组，所述加热模组用于加热所述多个物料；冷却区，与所述加热区衔接，所述冷却区用于所述多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与所述多个真空腔体对应连接，所述多个第一升降支撑架用于带动所述多个真空腔体升降；以及移动装置，与所述多个第一升降支撑架的另一端连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架与所述多个真空腔体连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架带动所述多个真空腔体由所述等待区移动至所述加热区及由所述加热区移动至所述冷却区；其中，当将所述多个物料中的其中一个物料放置在所述其中一个真空腔体内后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述一个物料，并且在所述等待区内将所述多个物料中的另一个物料放置在所述其中另一个真空腔体内；当所述一个物料升温、升华后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架带动移动到所述冷却区，所述另一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架由所述等待区移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述另一个物料。2.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，所述升华炉还包括：抽真空装置，与所述多个真空腔体连接，所述抽真空装置用于将所述多个真空腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：林家禾，施秉彝，
申请(专利权)人：陕西坤同半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61