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本实用新型涉及一种升华炉，该升华炉包括：多个真空腔体，用于放置多个物料；等待区，设置于升华炉的一侧，等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与等待区衔接，加热区内设有加热模组，加热模组用于加热多个物料；...
该专利属于陕西坤同半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西坤同半导体科技有限公司授权不得商用。

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