一种化学气相沉积工艺排气烟囱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积工艺排气烟囱，包括烟囱本体和用以向所述烟囱本体通入高温气体的热风输入装置，所述烟囱本体通过热风输入管与所述热风输入装置相连。热风输入装置能够产生高温气体，并通过热风输入管将高温气体通入烟囱本体中，进而使化学气相沉积工艺排气烟囱的排气温度升高。烟囱本体的排气口附近气体温度较高，使水蒸气无法凝结，从而减少了烟气中白烟的含量。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积工艺排气烟囱
本技术涉及光电产品制造
，特别涉及一种化学气相沉积工艺排气烟囱。
技术介绍
目前光电行业所采用的化学气相沉积工艺设备中包括洗涤塔，洗涤塔所排放的气体湿度较高，这一部分气体经化学气相沉积工艺排气烟囱排放后，水蒸气会在低温条件下凝结成“白烟”。随着生产环保标准的提高，对烟囱排放的白烟含量要求也越来越严格。因此，如何降低化学气相沉积工艺排气烟囱所排放的气体中白烟的含量是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种化学气相沉积工艺排气烟囱，其通过提高排气温度，减少水蒸气凝结，进而降低烟气中的白烟含量。为实现上述目的，本技术提供一种化学气相沉积工艺排气烟囱，包括烟囱本体和用以向所述烟囱本体通入高温气体的热风输入装置，所述烟囱本体通过热风输入管与所述热风输入装置相连。优选地，所述热风输入管设有用以控制高温气体流量的风阀。优选地，所述热风输入装置为有机废气处理设备，所述热风输入管与所述有机废气处理设备的高温排气口相连。优选地，所述热风输入管外周设有隔热层。优选地，所述隔热层为保温岩棉隔热层。优选地，所述风阀为电动风阀，所述烟囱本体设有用以检测烟气的当前温度的第一温度传感器，还包括用以根据所述当前温度控制所述电动风阀开度的控制装置。优选地，所述热风输入管设有用以检测热风温度的第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述控制装置相连。优选地，所述热风输入管中设有用以提高高温气体流速的压缩机，所述压缩机与所述控制装置相连。本技术所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱包括烟囱本体和热风输入装置，烟囱本体与热风输入装置通过热风输入管相连，热风输入装置能够产生高温气体，并通过热风输入管将高温气体通入烟囱本体中，进而使化学气相沉积工艺排气烟囱的排气温度升高。烟囱本体的排气口附近气体温度较高，使水蒸气无法凝结，从而减少了烟气中白烟的含量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱的结构示意图。其中，图1中的附图标记为：烟囱本体1、热风输入装置2、热风输入管3、电动风阀4、第一温度传感器5、第二温度传感器6。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。为了使本
的技术人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。请参考图1，图1为本技术所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱的结构示意图。本技术所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱，结构如图1所示，包括烟囱本体1和热风输入装置2，二者通过热风输入管3相连，热风输入装置2能够产生高温气体，烟囱本体1中具有一定负压，高温气体能够沿热风输入管3通入烟囱本体1中，进而对烟囱本体1中的烟气进行加热。烟囱本体1的结构可参考现有技术，为保证高温气体对烟气的加热效果，热风输入管3的出口可与烟囱本体1的中部相连，一方面能够保证烟气被充分加热，另一方面也能够避免高温气体的热量散失过多，影响加热效果。具体的，热气输入装置可具体为气体加热器或气体换热器等。在本技术的一种具体实施方式中，热风输入装置2为有机废气处理设备，有机废气处理设备的燃烧炉和换热器均会产生大量高温气体，热风输入管3与其燃烧炉或换热器的高温排气口相连，可将高温气体通入烟囱本体1中。本实施例中，化学气相沉积工艺排气烟囱中设有热风输入装置2，热风输入装置2通过热风输入管3向烟囱本体1中通入高温气体，对烟囱本体1中的烟气进行加热，提高烟囱本体1出口的排气温度，进而减少烟气中的水蒸气在烟囱本体1的出口附近凝结，达到减少白烟的目的。可选的，热风输入管3可设置风阀，通过风阀的开度控制高温气体流量，避免高温气体的排气量过大，造成热量的浪费。风阀可具体为蝶阀、闸阀或球阀等。另外，热风输入管3所输送的高温气体温度较高，为避免高温气体的热量散失，热风输入管3外周设有隔热层，隔热层可具体为保温岩棉隔热层。当然，用户也可根据需要选用酚醛泡沫隔热层等，在此不做限定。此外，为保证高温气体能够在烟囱本体1中均匀分配，与烟气进行充分换热，热风输入管3的出口可设置孔板，孔板能够使高温气体的速度分布更加均匀。当然，为避免孔板限制高温气体的流量，孔板的开孔率通常大于或等于60％。本实施例中，热风输入管3的外周设有隔热层，隔热层一方面能够减少热量的散失，另一方面能够避免工作人员因与热风输入管3的侧壁直接接触而发生烫伤事故。热风输入管3中设有风阀，通过风阀调节高温气体的流量，避免热量的浪费。热风输入管3出口设有孔板，孔板能够使高温气体的速度均匀分布，提高换热效果。可选的，化学气相沉积工艺排气烟囱中还设有控制装置，风阀为电动风阀4，烟囱本体1设有第一温度传感器5，电动风阀4和第一温度传感器5均与控制装置相连。第一温度传感器5能够测量烟囱本体1中烟气的当前温度，并将当前温度传输给控制装置，控制装置根据烟气当前温度调节电动风阀4开度。其中，控制装置可具体为单片机或PLC控制器。可选的，热风输入管3设有第二温度传感器6，第二温度传感器6用于检测高温气体的热风温度，其与控制装置相连，并将热风温度传送给控制装置。控制装置中设有烟气的预设温度，并根据烟气的预设温度和当前温度计算第一温差，再根据烟气的当前温度和热风温度计算第二温差。计算完后控制装置可根据第一温差增加或减小电动风阀4的开度，根据第二温差控制电动风阀4的调节速度。热气输入管的入口设有压力传感器，压力传感器与控制装置相连，控制装置中预设有压力波动范围，当热气输入管的入口压力在压力波动范围内时，控制装置可根据热风温度和烟气当前温度控制电动风阀4的开度；当热气输入管的入口压力超过压力波动范围时，控制装置优先调节入口压力，使其恢复至压力波动范围内。另外，为提高高温气体的流量，热风输入管3中可设置压缩机，当烟气的当前温度较低时通过压缩机增加高温空气的流量，从而使烟气温度快速升高。当然，压缩机可与控制装置相连，通过控制装置控制压缩机的启停。本实施例中，化学气相沉积工艺排气烟囱中设置了控制装置，烟囱本体1设有第一温度传感器5，热风输入管3设有第二温度传感器6，二者均与控制装置相连，控制装置能够温度传感器的反馈信息调节电动风阀4的开度，实现智能化管理，在确保高性能的同时，使能源消耗降至最低，同时满足环保需求以及节能理念。需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。以上对本技术所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，包括烟囱本体(1)和用以向所述烟囱本体(1)通入高温气体的热风输入装置(2)，所述烟囱本体(1)通过热风输入管(3)与所述热风输入装置(2)相连。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，包括烟囱本体(1)和用以向所述烟囱本体(1)通入高温气体的热风输入装置(2)，所述烟囱本体(1)通过热风输入管(3)与所述热风输入装置(2)相连。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)设有用以控制高温气体流量的风阀。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入装置(2)为有机废气处理设备，所述热风输入管(3)与所述有机废气处理设备的高温排气口相连。4.根据权利要求3所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)外周设有隔热层。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，李晋涛，刘庆磊，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31