一种双筒真空镀膜机制造技术

技术编号:22279985 阅读:46 留言:0更新日期:2019-10-14 02:26
本实用新型专利技术公开了一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。实用新型专利技术的双筒真空镀膜机能够对镀件外侧面及内侧面同时均匀镀膜,使得镀件内外侧的各个表面都能得到较均匀的镀膜颜色,基本上没有色差。

A Double-barrel Vacuum Coating Machine

【技术实现步骤摘要】
一种双筒真空镀膜机
本技术涉及一种双筒真空镀膜机。
技术介绍
当真空镀膜机需要内径尺寸较大,在满足镀膜工艺要求及真空机组正常工作的前提下,要求内空体积尽量小,这样附加一个内筒以减少镀膜室内体积。目前双筒真空镀膜机的蒸发源安装形式,普遍在外筒安装有蒸发源而内筒没有。这种安装形式对于较大型异形件的镀膜将产生以下问题:1、有的镀件放入镀膜室内,水平方向比较宽大,镀完后,镀件内侧方向的面与外侧方向的面将产生比较大的颜色差异。2、有的镀件内外侧的受镀面较大,而用于离子透过的空间相对较小,这样镀件内侧方向的面与外侧方向的面颜色差异会更大。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术的目的是提供一种双筒真空镀膜机。为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。进一步的,所述蒸发源可拆卸固定于所述外筒或内筒上。进一步的,所述蒸发源通过螺栓组件可拆卸固定于所述外筒或内筒上。进一步的,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有3个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,其特征在于:所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。

【技术特征摘要】
1.一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,其特征在于:所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。2.根据权利要求1所述的双筒真空镀膜机,其特征在于:所述蒸发源可拆卸固定于所述外筒或内筒上。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:王百江王伟
申请(专利权)人:遵化市宝瑞钛金设备有限公司
类型:新型
国别省市:河北,13

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