【技术实现步骤摘要】
一种双筒真空镀膜机
本技术涉及一种双筒真空镀膜机。
技术介绍
当真空镀膜机需要内径尺寸较大,在满足镀膜工艺要求及真空机组正常工作的前提下,要求内空体积尽量小,这样附加一个内筒以减少镀膜室内体积。目前双筒真空镀膜机的蒸发源安装形式,普遍在外筒安装有蒸发源而内筒没有。这种安装形式对于较大型异形件的镀膜将产生以下问题:1、有的镀件放入镀膜室内,水平方向比较宽大,镀完后,镀件内侧方向的面与外侧方向的面将产生比较大的颜色差异。2、有的镀件内外侧的受镀面较大,而用于离子透过的空间相对较小,这样镀件内侧方向的面与外侧方向的面颜色差异会更大。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术的目的是提供一种双筒真空镀膜机。为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。进一步的,所述蒸发源可拆卸固定于所述外筒或内筒上。进一步的,所述蒸发源通过螺栓组件可拆卸固定于所述外筒或内筒上。进一步的,所述镀膜机的外筒 ...
【技术保护点】
1.一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,其特征在于:所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。
【技术特征摘要】
1.一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,其特征在于:所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。2.根据权利要求1所述的双筒真空镀膜机,其特征在于:所述蒸发源可拆卸固定于所述外筒或内筒上。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:王百江,王伟,
申请(专利权)人:遵化市宝瑞钛金设备有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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