图形显影装置及显影方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种图形显影装置及显影方法，装置包括冲洗喷头，冲洗喷头与固定安装部及管路连接，冲洗喷头具有喷嘴；振动装置具有变幅杆，变幅杆设置在固定安装部上且延伸至与喷嘴的中心轴线相交位置；载台位于冲洗喷头和振动装置下方，具有固定部和转动装置；控制系统与管路、振动装置以及转动装置电连接。方法包括将晶圆配置于固定部上，向晶圆喷涂显影液；控制系统控制转动装置带动固定部转动；控制系统控制管路输送清洗液经由喷嘴喷出，清洗液经过变幅杆获得声波能量后对晶圆表面进行冲洗。本发明专利技术的喷头喷出的清洗液经由变幅杆振动后，清洗液获得声波能量，因此能够更有效的清洁晶圆表面杂质，同时缩短了晶圆在清洗液中的浸蚀时间。

Graphic Developing Device and Method

【技术实现步骤摘要】
图形显影装置及显影方法
本专利技术涉及半导体的集成电路制作
，特别涉及一种图形显影装置及显影方法。
技术介绍
在晶圆上制作集成电路的过程中，显影是光刻工艺中将曝光后的光刻胶图案化去除的步骤，其动作顺序为喷淋显影液、去离子水冲洗以及甩干三个过程。由于显影液的反应过程是酸碱中和反应，因此当在晶圆上用去离子水清洗时，晶圆中心点的强碱性骤降，酸碱中和反应发生逆反应，从而导致不容物质析出回粘到晶圆上的问题产生。特别是在晶圆上连接孔的制程工艺中，当不溶物质析出后使连接孔被残留物遮挡住，会导致晶圆后续蚀刻制程失效，蚀刻后的连接孔图形丢失或不完整，使得晶圆产品的良率降低。在
技术介绍
中公开的上述信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种图形显影装置及显影方法，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，至少提供一种有益的选择。本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：根据本专利技术的一个实施例，提供一种图形显影装置，包括：第一固定安装部；冲洗喷头，所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接，所述冲洗喷头具有第一喷嘴，所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中；振动装置，具有用于产生第一振幅的变幅杆，其中，所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上，另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置，所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围；载台，位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方，所述载台具有用于放置晶圆的固定部，所述固定部底部设置有转动装置；以及控制系统，与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接；所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液，以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。在一些实施例中，所述变幅杆相对所述第一固定安装部竖直设置，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述冲洗喷头的所述第一喷嘴朝向所述变幅杆倾斜向下延伸。在一些实施例中，所述变幅杆的长度小于所述第一固定安装部与所述晶圆端面之间的间距。在一些实施例中，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°～70°。在一些实施例中，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部竖直设置，所述变幅杆相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述变幅杆的所述另一端朝向所述冲洗喷头的所述第一喷嘴倾斜向下延伸。在一些实施例中，所述变幅杆的所述另一端与所述晶圆端面之间的间距大于所述变幅杆的振幅范围。在一些实施例中，所述变幅杆相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°～70°。在一些实施例中，所述振动装置还包括：超音波发生器，设置在所述第一固定安装部中，用于生成高频交流电；以及换能器，设置在所述第一固定安装部中并与所述超音波发生器的输出端连接，用于将所述超音波发生器提供的所述高频交流电转变为具有第二振幅的机械振动；其中，所述变幅杆的一端与所述换能器连接，用于将所述换能器提供的机械振动的第二振幅转变为所述第一振幅，其中，所述第一振幅大于所述第二振幅。在一些实施例中，所述超音波发生器发出的信号至少包括超声波信号和兆声波信号的其中之一。在一些实施例中，还包括传感器，设置在所述第一固定安装部上，用于检测所述冲洗喷头和所述振动装置位置。在一些实施例中，所述图形显影装置还具有涂覆喷头和第二固定安装部，所述涂覆喷头与所述第二固定安装部及第二管路连接，所述涂覆喷头具有第二喷嘴，所述第二管路与所述控制系统电连接，所述控制系统控制所述第二管路输送显影液至所述涂覆喷头。在一些实施例中，所述控制系统还与所述第一固定安装部电连接，以控制所述第一固定安装部带动所述冲洗喷头和所述振动装置移动到所述载台上方的预定位置。本专利技术实施例还提供了一种显影方法，包括：提供如上述所述的图形显影装置；将经过图形曝光的晶圆配置于所述图像显影装置中的所述载台的所述固定部上，向所述晶圆表面喷涂显影液；当所述晶圆的光刻胶层与所述显影液充分反应后，所述控制系统控制所述转动装置带动所述固定部转动；所述控制系统控制所述第一管路输送所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出，并且控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗；以及冲洗结束后，所述控制系统控制所述转动装置变速转动，对所述晶圆进行甩干处理。本专利技术实施例由于采用以上技术方案，其具有以下优点：本专利技术实施例的冲洗喷头喷出的清洗液经由变幅杆振动后，清洗液获得声波能量，因此能够更有效的清洁晶圆表面杂质，同时清洗液不会在晶圆中心出现酸碱中逆反应现象，缩短了晶圆在清洗液中的浸蚀时间，防止不容物质的生成，从而保证显影图案的质量，此外还能减轻清洗的各向同性对晶圆积体电路特征的影响，提高产品良率，增加清洗液使用寿命。上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本专利技术进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。附图说明在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本专利技术公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本专利技术范围的限制。图1为本专利技术实施例的图形显影装置的结构示意图。图2为本专利技术实施例的冲洗喷头与振动装置的设置方式的结构示意图。图3为本专利技术另一实施例的冲洗喷头与振动装置的设置方式的结构示意图。图4为本专利技术实施例的图形显影装置的工作过程图。图5为本专利技术实施例的图形显影方法的流程图。附图标号说明：100-图形显影装置；10-第一固定安装部；20-冲洗喷头；21-第一喷嘴；30-振动装置；31-超音波发生器；32-换能器；33-变幅杆；40-传感器；50-载台；51-固定部；52-转动装置；200-晶圆；60-涂覆喷头；61-第二喷嘴；201-光刻胶层；300-清洗液；70-第二固定安装部。具体实施方式在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本专利技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图形显影装置，其特征在于，包括：第一固定安装部；冲洗喷头，所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接，所述冲洗喷头具有第一喷嘴，所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中；振动装置，具有用于产生第一振幅的变幅杆，其中，所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上，另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置，所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围；载台，位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方，所述载台具有用于放置晶圆的固定部，所述固定部底部设置有转动装置；以及控制系统，与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接；所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液，以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。

【技术特征摘要】
1.一种图形显影装置，其特征在于，包括：第一固定安装部；冲洗喷头，所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接，所述冲洗喷头具有第一喷嘴，所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中；振动装置，具有用于产生第一振幅的变幅杆，其中，所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上，另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置，所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围；载台，位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方，所述载台具有用于放置晶圆的固定部，所述固定部底部设置有转动装置；以及控制系统，与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接；所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液，以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。2.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆相对所述第一固定安装部竖直设置，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述冲洗喷头的所述第一喷嘴朝向所述变幅杆倾斜向下延伸。3.如权利要求2所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆的长度小于所述第一固定安装部与所述晶圆端面之间的间距。4.如权利要求2所述的图形显影装置，其特征在于，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°～70°。5.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部竖直设置，所述变幅杆相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述变幅杆的所述另一端朝向所述冲洗喷头的所述第一喷嘴倾斜向下延伸。6.如权利要求5所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆的所述另一端与所述晶圆端面之间的间距大于所述变幅杆的振幅范围。7.如权利要求5所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄帅，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34