光源装置和投影仪制造方法及图纸

光源装置和投影仪。提供光源装置，能够抑制扩散元件的可靠性下降并扩散元件的反射率下降。本发明专利技术的光源装置具有：光源，其射出波段为37nm以下的蓝色光；以及扩散元件，其使从光源射出的光扩散。扩散元件具有：由金属构成的基材，其具有凹凸构造；由铝构成的反射膜，其沿着凹凸构造设置；以及电介质多层膜，其设置于反射膜。

Light Source Device and Projector

【技术实现步骤摘要】
光源装置和投影仪
本专利技术涉及光源装置和投影仪。
技术介绍
作为投影仪的光源装置，已知有具有半导体激光器等固体光源的光源装置。具有激光光源的光源装置具有如下优点：可实现装置的小型化、颜色再现性优异、能够进行瞬间点亮、光源的寿命长。另一方面，从激光光源发出的光是相干光，存在容易产生斑点噪声等的缺点，为了抑制斑点噪声，需要使用扩散板等光学元件使光扩散。在下述的专利文献1中，公开了如下照明装置，该照明装置具有：光源装置；偏振分离元件，其入射来自光源装置的光；荧光体层，其入射由偏振分离元件分离后的一个光；以及扩散反射元件，其入射另一个光，具有凹凸构造。在专利文献1中公开了在具有凹凸构造的玻璃制基材上设置有由银、铝等构成的反射膜的扩散反射元件和由具有凹凸构造的银、铝制基材构成的扩散反射元件等的例子，记载了入射到扩散反射元件的蓝色光的峰值波长为460nm。在下述专利文献2中公开了如下光源，该光源具有：半导体激光器，其射出中心波长为430nm～500nm的蓝色光；以及波长转换部，其包含荧光发光部、光透过区域和偏振转换反射区域。在专利文献2中记载了：偏振转换反射区域具有在由铝合金构成的基板的表面上形成有凹凸并在凹凸上依次形成有银膜、硅氧化膜的结构。专利文献1：日本特开2015-203857号公报专利文献2：国际公开第2014/073136号在专利文献1和2中记载了使用银、铝作为使蓝色光扩散和反射的元件的反射膜。蓝色光在可见光的波段中是短波长侧的光，使金属的聚合现象等加速的作用比较大。一般而言，当对银与铝的各种物理参数进行比较时，铝的聚合能量比银大，另一方面，铝的反射率比银低。因此，为了抑制可能在反射膜的温度由于光的照射等而上升时产生的反射膜的聚合、使用铝作为反射膜的材料时，存在反射率下降的问题。
技术实现思路
本专利技术的一个方式正是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制扩散元件的可靠性下降并抑制扩散元件的反射率下降的光源装置。此外，本专利技术的一个方式的目的之一在于提供一种具有上述光源装置的投影仪。为了达成上述的目的，本专利技术的一个方式的光源装置的特征在于，具有：光源，其射出波段为37nm以下的蓝色光；以及扩散元件，其使从所述光源射出的光扩散，所述扩散元件具有：由金属构成的基材，其具有凹凸构造；由铝构成的反射膜，其沿着所述凹凸构造设置；以及电介质多层膜，其设置于所述反射膜。在本专利技术的一个方式的光源装置中，也可以是，所述基材由铝合金构成，所述反射膜的铝含有率高于所述基材的铝含有率。在本专利技术的一个方式的光源装置中，也可以是，所述电介质多层膜由折射率彼此不同的2种以上的材质形成，并且由7层以上的电介质膜构成。在本专利技术的一个方式的光源装置中，也可以是，所述反射膜在反射角为0°～70°的范围内反射所述光，该反射角以与所述光的入射位置处的相对于所述反射膜的表面的切线垂直的方向为基准。在本专利技术的一个方式的光源装置中，也可以是，所述光源的波长为447nm以上且484nm以下。本专利技术的一个方式的光源装置还具有旋转装置，该旋转装置使所述扩散元件旋转。本专利技术的一个方式的投影仪的特征在于，具有：本专利技术的一个方式的光源装置；光调制装置，其根据图像信息对从所述光源装置射出的光进行调制；以及投射光学装置，其投射由所述光调制装置调制后的光。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的投影仪的概略结构图。图2是光源装置的概略结构图。图3是扩散板的主视图。图4是沿着图3的IV-IV线的扩散板的剖视图。图5是电介质多层膜的放大剖视图。图6是用于说明作为评价项目的光的反射角的图。图7是示出实施例的扩散板与比较例的扩散板的反射率之差的图。标号说明1：投影仪；2：光源装置；4R、4G、4B：光调制装置；6：投射光学装置；211：第1半导体激光器(光源)；301：基材；303：电动机(旋转装置)；304：凹凸构造；305：扩散板(扩散元件)；307：反射膜；308：电介质多层膜；308A：第1层；308B：第2层；308C：第3层；308D：第4层；308E：第5层；308F：第6层；308G：第7层。具体实施方式以下，利用附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。本实施方式的投影仪是具有使用半导体激光器的光源装置的液晶投影仪的一例。另外，在以下的各附图中，为了容易观察各结构要素，有时根据结构要素而示出不同的尺寸比例。本实施方式的投影仪1是在屏幕(被投射面)SCR上显示彩色影像(图像)的投射型图像显示装置。投影仪1使用与红色光LR、绿色光LG、蓝色光LB的各色光对应的3个光调制装置。投影仪1使用能够获得高亮度/高输出的光的半导体激光器(激光二极管)作为光源。如图1所示，投影仪1具有光源装置2、均匀照明光学系统40、颜色分离光学系统3、光调制装置4R、光调制装置4G、光调制装置4B、合成光学系统5和投射光学装置6。光源装置2朝向均匀照明光学系统40射出照明光WL。之后详细说明光源装置2的详细结构。均匀照明光学系统40具有积分器光学系统31、偏振转换元件32和重叠光学系统33。均匀照明光学系统40使从光源装置2射出的照明光WL的强度分布分别在作为被照明区域的光调制装置4R、光调制装置4G和光调制装置4B中均匀。从均匀照明光学系统40射出的照明光WL入射到颜色分离光学系统3。颜色分离光学系统3将白色的照明光WL分离为红色光LR、绿色光LG和蓝色光LB。颜色分离光学系统3具有第1分色镜7a、第2分色镜7b、第1反射镜8a、第2反射镜8b、第3反射镜8c、第1中继透镜9a和第2中继透镜9b。第1分色镜7a具有将来自光源装置2的照明光WL分离为红色光LR和其它光(绿色光LG和蓝色光LB)的功能。第1分色镜7a使分离后的红色光LR透过，使其它光(绿色光LG和蓝色光LB)反射。另一方面，第2分色镜7b具有将其它光分离为绿色光LG和蓝色光LB的功能。第2分色镜7b使分离后的绿色光LG反射，使蓝色光LB透过。第1全反射镜8a配置在红色光LR的光路中，将透过第1分色镜7a的红色光LR朝向光调制装置4R反射。另一方面，第2反射镜8b和第3反射镜8c配置在蓝色光LB的光路中，将透过第2分色镜7b的蓝色光LB朝向光调制装置4B反射。此外，绿色光LG被第2分色镜7b朝向光调制装置4G反射。第1中继透镜9a和第2中继透镜9b配置于蓝色光LB的光路中的第2分色镜7b的光射出侧。第1中继透镜9a和第2中继透镜9b补偿由于蓝色光LB的光路长度比红色光LR或绿色光LG的光路长度长而引起的蓝色光LB的损耗。光调制装置4R根据图像信息对红色光LR进行调制，从而形成与红色光LR对应的图像光。光调制装置4G根据图像信息对绿色光LG进行调制，从而形成与绿色光LG对应的图像光。光调制装置4B根据图像信息对蓝色光LB进行调制，从而形成与蓝色光LB对应的图像光。光调制装置4R、光调制装置4G和光调制装置4B例如使用透射型液晶面板。此外，在液晶面板的入射侧和射出侧配置有一对偏振片(未图示)，成为仅使特定方向的直线偏振光通过的结构。在光调制装置4R、光调制装置4G、和光调制装置4B的入射侧分别配置有场透镜10R、场透镜10G、场透镜10B。场透镜10R、场透镜10G和场透镜10B使入射到各个光调制装置4R、光调制装置4G本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源装置，其特征在于，其具有：光源，其射出波段为37nm以下的蓝色光；以及扩散元件，其使从所述光源射出的光扩散，所述扩散元件具有：由金属构成的基材，其具有凹凸构造；由铝构成的反射膜，其沿着所述凹凸构造设置；以及电介质多层膜，其设置于所述反射膜。

【技术特征摘要】
2018.03.27 JP 2018-0591351.一种光源装置，其特征在于，其具有：光源，其射出波段为37nm以下的蓝色光；以及扩散元件，其使从所述光源射出的光扩散，所述扩散元件具有：由金属构成的基材，其具有凹凸构造；由铝构成的反射膜，其沿着所述凹凸构造设置；以及电介质多层膜，其设置于所述反射膜。2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述基材由铝合金构成，所述反射膜的铝含有率高于所述基材的铝含有率。3.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述电介质多层膜由折射率彼此不同的2种以上的材质形成，并且由7层以...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢内宏明，小林步，布施诚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP