一种带补偿电极的面内平动式加速度计制造技术

本发明专利技术提供了一种电容式加速度计，其包括基底、质量块和固定锚点，所述固定锚点固定在所述基底和所述质量块之间，使两者间形成间隔；所述质量块包括第一质量块、第二质量块和第三质量块；所述第三质量块与所述固定锚点连接；所述第二质量块与所述第三质量块通过第一弹性件连接，从而使所述第二质量块能够面内转动；所述第一质量块与所述第二质量块通过第二弹性件连接，所述第二弹性件适于当所述第二质量块发生所述面内转动时，带动所述第一质量块做相对于所述基底的平动。

An in-plane translational accelerometer with compensating electrodes

【技术实现步骤摘要】
一种带补偿电极的面内平动式加速度计
本专利技术涉及MEMS领域，尤其涉及一种带补偿电极的面内平动式加速度计。
技术介绍
基于微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical-System)加工制作的微型加速计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业、医疗、民用、军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前，在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中，在一定程度上，已经成为标准配置。在研制过程中，电容式、电阻式、压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理，其中，电容式加速度计因其结构简单，成本低廉，并可在低频范围内拥有较高的灵敏度和线性度等优势，成为最为流行的一类加速度计。但正因为电容式加速度计容易设计，进入市场的技术门槛较低，从而导致价格战。为了能在这种激烈的竞争当中脱颖而出，必须在不影响或提高性能的同时，降低产品成本成为必须要考虑的问题，而减小加速计芯片的面积是最为有效的方法。而对于三轴加速度计来说，目前，常用的简化设计方案是共享三个轴的质量块。但是通常质量块在面外运动的方向上是扭转的，由此带来的是，离转轴中心越近的位置，其敏感度越本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式加速度计，其特征在于，包括基底、质量块和固定锚点，所述固定锚点固定在所述基底和所述质量块之间，使两者间形成间隔；所述质量块包括第一质量块、第二质量块和第三质量块；所述第三质量块与所述固定锚点连接；所述第二质量块与所述第三质量块通过第一弹性件连接，从而使所述第二质量块能够面内转动；所述第一质量块与所述第二质量块通过第二弹性件连接，所述第二弹性件适于当所述第二质量块发生所述面内转动时，带动所述第一质量块做相对于所述基底的平动。

【技术特征摘要】
1.一种电容式加速度计，其特征在于，包括基底、质量块和固定锚点，所述固定锚点固定在所述基底和所述质量块之间，使两者间形成间隔；所述质量块包括第一质量块、第二质量块和第三质量块；所述第三质量块与所述固定锚点连接；所述第二质量块与所述第三质量块通过第一弹性件连接，从而使所述第二质量块能够面内转动；所述第一质量块与所述第二质量块通过第二弹性件连接，所述第二弹性件适于当所述第二质量块发生所述面内转动时，带动所述第一质量块做相对于所述基底的平动。2.如权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，当有第一方向驱动项输入时，所述第一质量块在所述第二弹性件的配合下，向第一方向做相对于所述基底的平动。3.如权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，所述面内转动是以所述第二质量块和所述第一弹性件的连接处为中心。4.如权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，当有第二方向驱动项输入时，所述第二质量块发生所述面内转动，并带动所述第一质量块向第二方向做相对于所述基底的平动。5.如权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，还包括第一固定梳齿，所述第一质量块包括第一可动梳齿，所述第一可动梳齿与所述第一固定梳齿相配合限定了第一参考电容值。6.如权利要求5所述的电容式加速度计，其特征在于，所述第三质量块包括第一补偿梳齿，所述第一补偿梳齿与所述第一固定梳齿相配合限定了第一补偿电容值，当所述第一固定梳齿因外界因素而发生变化时，所述第一参考电容值与所述第一补偿电容值的变化趋势相反。7.如权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，还包括第二固定梳齿，所述第一质量块包括第二可动梳齿，所述第二可动梳齿与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，刘爽，郑青龙，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31