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本发明提供了一种电容式加速度计，其包括基底、质量块和固定锚点，所述固定锚点固定在所述基底和所述质量块之间，使两者间形成间隔；所述质量块包括第一质量块、第二质量块和第三质量块；所述第三质量块与所述固定锚点连接；所述第二质量块与所述第三质量块通...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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