促动器以及光扫描装置制造方法及图纸

技术编号:22237121 阅读:62 留言:0更新日期:2019-10-09 17:09
本发明专利技术的目的在于抑制锯齿波的主扫描区间单独产生的振铃,从而能与主扫描区间部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。本发明专利技术的促动器具有支撑驱动对象物的梁和被输入有驱动信号的驱动源,上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形,上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形,上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴旋转的方向上摆动。

Actuator and Optical Scanning Device

【技术实现步骤摘要】
促动器以及光扫描装置
本专利技术涉及促动器以及光扫描装置。
技术介绍
一直以来,公知一种光扫描装置,其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器,使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转,从而扫描反射光。在该促动器中,为了对压电薄膜施加电压,形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1、专利文献2)。在上述的光扫描装置中,驱动源使用锯齿状波形的电压,但有时在驱动时产生由反射镜部的共振振动引起的振铃。振铃的产生导致由光扫描装置的扫描形成的图像的画质劣化。专利文献3中,对输入锯齿波后的振动角进行传感检测,并进行在驱动波形中应用频率滤波器的反馈控制,以便除去振铃成分。专利文献4中,相对于已知的频率成分输入应用除去共振频率成分的滤波器后的驱动波形。现有技术文献专利文献1:日本特开2016-1325号公报专利文献2:日本专利5876329号专利文献3:日本特开2012-55852号公报专利文献4:日本特开2004-361920号公报然而,若如上所述地使用在驱动波形整体中应用频率滤波器的方法,则在例如主扫描区间使用呈台阶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种促动器,其特征在于,具有:梁,其支撑驱动对象物;以及驱动源,其被输入有驱动信号,上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形,上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形,上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴旋转的方向上摆动。

【技术特征摘要】
2018.03.22 JP 2018-0545721.一种促动器,其特征在于,具有:梁,其支撑驱动对象物;以及驱动源,其被输入有驱动信号,上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形,上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形,上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴旋转的方向上摆动。2.根据权利要求1所述的促动器,其特征在于,多个上述梁沿与上述预定轴垂直的方向延伸,相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结,从而整体具有之字形状的折皱构造。3.根据权利要求1或2所述的促动器,其特征在于,上述梁是在表面形成有上述驱动源且使上述驱动对象物摆动的驱动梁。4.根据权利要求1或2所述的促动器,其特征在于,由上述第一台阶状波形产生的振铃与由上述第二台阶状波形产生的振铃相互抵消。5.根据权利要求1或2所述的促动器,其特征在于,上述第一台阶状波形的高度与上述第二台阶状波...

【专利技术属性】
技术研发人员:山田健介
申请(专利权)人:三美电机株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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