对基板作业装置及图像处理方法制造方法及图纸

对基板作业装置具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，在对多个基板进行预定作业的情况下，对于最前基板执行最前基板用处理，对于除了最前基板以外的后续基板执行后续基板用处理，其中，上述最前基板用处理是对于由拍摄装置拍摄最前基板而得到的拍摄图像进行用于检测预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测对象的检测所需要的拍摄图像内的区域相关的区域信息并存储于存储装置的处理，上述后续基板用处理是在由拍摄装置拍摄后续基板而得到的拍摄图像中基于区域信息设定局部的处理区域并对设定的处理区域进行图像处理的处理。

Substrate Operating Device and Image Processing Method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对基板作业装置及图像处理方法
本说明书公开了对基板作业装置及图像处理方法。
技术介绍
以往，在向基板安装元件等的进行对于基板的作业的对基板作业装置中，为了高精度地取得保持的元件的位置和角度等，提出了进行生成分辨率比拍摄元件而得到的图像高的高分辨率图像的超分辨率处理的方案(参照例如专利文献1)。在该对基板作业装置中，仅对包含元件的特征部分的处理区域进行超分辨率处理而生成高分辨率图像。现有技术文献专利文献1：WO2015/049723号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，近年来，伴随着基板和元件的小型化，超分辨率处理的对象也具有微小化的趋势，其中有时若不是通过超分辨率处理生成的高分辨率图像则无法识别出对象。在该情况下，在超分辨率处理之前难以确定包含元件等对象的特征部分的处理区域，而将图像的全部区域作为处理区域进行超分辨率处理等图像处理。这样，图像处理的处理时间不必要地延长，图像处理的效率下降。本公开的主要目的在于高效地进行对于基板的作业所需要的图像处理。用于解决课题的手段本公开为了达成上述主要目的而采用了以下的手段。本公开的对基板作业装置的主旨在于，具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个上述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为上述预定作业的对象的多个上述基板中的除了上述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，上述最前基板用处理是对通过上述拍摄装置拍摄上述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测上述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了上述检测对象的上述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于上述存储装置的处理；上述后续基板用处理是在通过上述拍摄装置拍摄上述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于上述存储装置的上述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的上述处理区域进行上述图像处理的处理。本公开的对基板作业装置对于多个基板中的最前基板执行如下的最前基板用处理，上述最前基板用处理是对拍摄最前基板而得到的最前图像进行用于检测预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得并存储与检测出了检测对象的最前图像内的区域相关的区域信息的处理。另外，对于多个基板中的除了最前基板以外的后续基板执行如下的后续基板用处理，上述后续基板用处理上在拍摄后续基板而得到的后续图像中基于在最前基板用处理中存储的区域信息来设定局部的处理区域，并对该处理区域进行图像处理的处理。由此，能够基于在最前基板用处理中存储的区域信息而适当地设定后续图像中的局部的处理区域。并且，在后续基板用处理中，不将后续图像整个作为处理区域，而对于局部的处理区域进行图像处理即可，因此能够高效地进行对于多个基板的作业所需要的图像处理。本公开的图像处理方法是对于拍摄被进行预定作业的基板而得到的图像的图像处理方法，其主旨在于，包括如下的步骤：步骤(a)，对拍摄作为上述预定作业的对象的多个上述基板中的最前的基板而得到的最前图像，进行用于检测上述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理；步骤(b)，取得与在上述步骤(a)中检测出了上述检测对象的上述最前图像内的区域相关的区域信息；步骤(c)，在拍摄作为上述预定作业的对象的多个上述基板中的除了上述最前的基板以外的后续基板而得到的后续图像中，基于在上述步骤(b)中取得的上述区域信息来设定局部的处理区域；步骤(d)，对上述后续图像中的在上述步骤(c)设定的处理区域，进行用于检测上述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理。本公开的图像处理方法与上述对基板作业装置相同地，能够基于在最前基板用处理中存储的区域信息而适当地设定后续图像中的局部的处理区域。领来，在后续基板用处理中，不将后续图像整体作为处理区域，而对局部的处理区域进行图像处理即可，因此能够高效地进行对于多个基板的作业所需要的图像处理。另外，在该图像处理方法中，可以采用上述对基板作业装置的各种方式，或者也可以追加实现上述对基板作业装置的各功能的结构。附图说明图1是表示安装系统10的结构的结构图。图2是表示安装装置11的结构的框图。图3是表示安装处理程序的一例的流程图。图4是表示标记检测处理的一例的流程图。图5是表示对于第一块基板S的图像处理的状况的说明图。图6是表示对于第二块及之后的基板S的图像处理的状况的说明图。图7是表示对处理区域SR进行调整的状况的说明图。具体实施方式接着，使用附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示安装系统10的结构的结构图。图2是表示安装装置11的构成的框图。安装系统10例如是执行向基板S安装元件的处理的系统。该安装系统10具备：实施向基板S安装元件的安装处理的安装装置11及对安装系统10的各装置进行管理的管理计算机(PC)50。安装系统10从上游到下游配置有多个安装装置11。在图1中，为了便于说明，仅示出一台安装装置11。另外，安装处理包含将元件配置、安装、插入、接合、粘接到基板上的处理等。另外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)及上下方向(Z轴)如图1所示。如图1、图2所示，安装装置11具备：基板输送单元12、安装单元13、元件供给单元14、零件相机30及控制装置40。基板输送单元12是进行基板S的搬入、输送、安装位置处的固定、搬出的单元。基板输送单元12具有在图1中的前后隔开间隔地设置并沿着左右方向架设的一对输送带。通过该输送带来输送基板S。安装单元13从元件供给单元14拾取元件，并向固定于基板输送单元12的基板S上配置。安装单元13具备头移动部20及安装头22。头移动部20具备由导轨引导而在XY方向上进行移动的滑动件及对滑动件进行驱动的电动机。安装头22以可拆下的方式安装于滑动件，通过头移动部20而在XY方向上进行移动。在安装头22的下表面，以可拆下的方式安装有一个以上的吸嘴24。吸嘴24是利用负压拾取元件的拾取部件。安装头22内置有Z轴电动机23，通过该Z轴电动机23而沿着Z轴调整吸嘴24的高度。另外，安装头22具备通过未图示的驱动电动机使吸嘴24旋转(自转)的旋转装置，能够调整保持(吸附)于吸嘴24的元件的角度。在该安装头22(或滑动件)的下表面侧配置有标记相机25。标记相机25伴随着安装头22的移动而在XY方向上进行移动。该标记相机25拍摄附设于基板S的基准标记M，或从上方拍摄由元件供给单元14供给的元件，并将该图像向控制装置40输出。元件供给单元14从安装装置11的近前侧供给元件，具备以沿着左右方向(X方向)排列的方式整齐地排列配置并能够通过料带来供给元件的带式供料器15及能够通过托盘来供给元件的托盘供料器16。带式供料器15具备卷绕有以预定间隔收纳有元件的料带的带盘，通过从带盘拉出料带来供给元件。托盘供料器16使用元件整齐地排列的托盘来供给元件。零件相机30从下方拍摄吸附于安装头22的吸嘴24的元件，并将该图像向控制装置40输出。如图2所示，控制装置40构成为以CPU41为中心的微处理器，具备存储处理程序的ROM42、存储各种数据的HDD43、作为作业区域使用的RAM44、用于与外部装置之间进行电气信号的收发的输入输出接口45等。这些部件经由总线46而连接。该控制装置40向基板输送单元12、安装单元13、元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对基板作业装置，其特征在于，具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个所述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的除了所述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，所述最前基板用处理是对通过所述拍摄装置拍摄所述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了所述检测对象的所述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于所述存储装置的处理；所述后续基板用处理是在通过所述拍摄装置拍摄所述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于所述存储装置的所述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的所述处理区域进行所述图像处理的处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对基板作业装置，其特征在于，具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个所述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的除了所述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，所述最前基板用处理是对通过所述拍摄装置拍摄所述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了所述检测对象的所述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于所述存储装置的处理；所述后续基板用处理是在通过所述拍摄装置拍摄所述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于所述存储装置的所述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的所述处理区域进行所述图像处理的处理。2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其中，所述图像处理是使用使所述基板及所述拍摄装置的位置相对地偏移而拍摄到的多个图像来生成分辨率比所述多个图像的分辨率高的高分辨率图像的超分辨率处理。3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其中，所述图像处理装置在所述最前基板用处理中，使用包含第一图像及第二图像在内的所述多个图像作为所述最前图像，基于通过取得所述多个图像的相关关系而得到的图像间的位置偏差量来生成所述高分辨率图像，从所述高分辨率图像中检测出所述预定的检测对象，并且取得所述第一图像中的所述区域信息并存储于所述存储装置，所述图像处理装置在所述后续基板用处理中，取得包含第三图像及第四图像在内的所述多个图像作为所述后续图像，基于通过取得所述第一图像与所述第三图像的相关关系而得到的两图像间的位置偏差量及存储于所述存储装置的所述第一图像中的所述区域信...

【专利技术属性】
技术研发人员：天野雅史，稻浦雄哉，铃木干也，鬼头秀一郎，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本,JP