硅片多线切割机的自动循环喷淋装置制造方法及图纸

技术编号:22207246 阅读:43 留言:0更新日期:2019-09-29 20:50
本实用新型专利技术公开了一种能够使得冷却液均匀洒在切割线上,并且能够减少冷却液用量的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置。该硅片多线切割机的自动循环喷淋装置,包括循环系统、设置在导线辊上方的喷淋装置以及设置在导线辊下方的料盒;所述料盒内设置有过滤网;所述循环系统包括水泵、导管、冷却液存储箱、供液泵;所述料盒内腔的底部通过导管与水泵连通,所述水泵与冷却液存储箱连通;所述供液泵与冷却液存储箱连通,所述供液泵与喷淋装置连通。采用该硅片多线切割机的自动循环喷淋装置,能够延长切割线的使用寿命,能够减少冷却液的使用量,能够降低成本。

Automatic Circulating Spraying Device of Multi-wire Cutting Machine for Silicon Wafer

【技术实现步骤摘要】
硅片多线切割机的自动循环喷淋装置
本技术涉及硅片切割,尤其是一种硅片多线切割机的自动循环喷淋装置。
技术介绍
众所周知的:硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进的激光切割和内圆切割,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有:效率高,产能高,精度高等优点。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片切割技术。其中钢线在对硅片进行切割时,由于摩擦会使得钢线的温度升高,因此为了降低钢线的温度一般均设置有钢线冷却液喷淋装置,现有的冷却液喷淋装置大多都采用喷头;由于喷头的位置固定,因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的冷却液不均匀因此会造成钢线各个部位的温度不均,从而降低钢线的使用寿命。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够使得冷却液均匀洒在切割线上,并且能够减少冷却液用量的硅片多线切割机的自动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片多线切割机的自动循环喷淋装置,其特征在于:包括循环系统、设置在导线辊(3)上方的喷淋装置(1)以及设置在导线辊(3)下方的料盒(2);所述料盒(2)内设置有过滤网(4);所述循环系统包括水泵(9)、导管(6)、冷却液存储箱(8)、供液泵(7);所述料盒(2)内腔的底部通过导管(6)与水泵(9)连通,所述水泵(9)与冷却液存储箱(8)连通;所述供液泵(7)与冷却液存储箱(8)连通,所述供液泵(7)与喷淋装置(1)连通;所述喷淋装置(1)包括安装板(11);所述安装板(11)的一端的下表面设置有补液箱(12),另一端的下表面设置有布液板(13);所述补液箱(12)上设置有补液管(114);...

【技术特征摘要】
1.硅片多线切割机的自动循环喷淋装置,其特征在于:包括循环系统、设置在导线辊(3)上方的喷淋装置(1)以及设置在导线辊(3)下方的料盒(2);所述料盒(2)内设置有过滤网(4);所述循环系统包括水泵(9)、导管(6)、冷却液存储箱(8)、供液泵(7);所述料盒(2)内腔的底部通过导管(6)与水泵(9)连通,所述水泵(9)与冷却液存储箱(8)连通;所述供液泵(7)与冷却液存储箱(8)连通,所述供液泵(7)与喷淋装置(1)连通;所述喷淋装置(1)包括安装板(11);所述安装板(11)的一端的下表面设置有补液箱(12),另一端的下表面设置有布液板(13);所述补液箱(12)上设置有补液管(114);所述布液板(13)与补液箱(12)之间设置有横向均匀分布的喷头安装座(18);所述喷头安装座(18)上设置有第一转轴(19);所述第一转轴(19)上固定安装有喷头旋转座(111);所述第一转轴(19)一端穿过喷头安装座(18),另一端设置有驱动电机(110);所述喷头旋转座(111)上设置有喷头(112);所述喷头(112)通过软管(113)与补液箱(12)连通;所述供液...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎陈嘉豪刘强耿荣军蒋科
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川,51

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