电容器制造技术

电容器(101)具备：下部电极(40)、第一上部电极(41)、第二上部电极(42)、第一连接电极(51)、第二连接电极(52)、内侧辅助电极部(5)和侧方辅助电极部(4A、4B)。在俯视时，侧方辅助电极部(4A、4B)位于第一连接电极(51)和第二连接电极(52)的排列中的第一连接电极(51)和第二连接电极(52)的侧方，在俯视时，内侧辅助电极部(5)位于第一连接电极(51)与第二连接电极(52)之间。下部电极用层间连接导体(71A、71B、71C、71D、72A、72B、72C、72D)在多个位置将侧方辅助电极部(4A、4B)与下部电极(40)连接。下部电极用层间连接导体(73A、73B)在多个位置将内侧辅助电极部(5)与下部电极(40)连接。

Capacitor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电容器
本技术涉及组装于电子设备的电容器，特别是涉及适合于低ESR的电容器。
技术介绍
以薄膜工艺形成了电介质层和夹着电介质层的电极的薄膜电容器，通常发挥小型且ESL(等效串联电感)低的特性，用于高频电路的滤波器、匹配电路。例如专利文献1所示那样，以往的薄膜电容器具备由上部电极与下部电极夹着高介电常数的(BaxSr1-x)TiO3膜(以下，称为“BST膜”)的构造。在氧化环境气中，BST膜例如在800℃以上且1000℃以下左右的高温下烧制。因此，下部电极使用耐氧化性优秀的Pt(铂)薄膜。W(钨)虽也适合于上述烧制条件，但由于导电率低，所以从低ESR性的观点考虑不合适。专利文献1:国际公开第2016/136564号薄膜电容器单位体积所得到的电容大，因此能够作为小型高电容的贴片电容器使用。但是，有时例如滤波电路的Q值、插入损失的特性成为上述薄膜电容器的ESR(等效串联电阻)较大的因素。如上述那样，薄膜电容器在上部电极和下部电极中使用Pt薄膜，因此由于这些电极的低导电率而得不到低ESR性。此处，图15示出在下部电极流动的电流取向的例子。图15中，在基板10形成有下部电极40。在该下部电极40的上部配置有第一上部电极和第二上部电极。第一区域Z1是第一上部电极所对置的区域，第二区域Z2是第二上部电极所对置的区域。图15中的箭头线表示从第一区域Z1向第二区域Z2流动的电流的路径的例子。电流在第一区域Z1和第二区域Z2在平面内对置的位置集中。另外，在第一区域和第二区域Z2的外侧也分布有电流路径，特别是在下部电极40的长边方向的两侧的缘端部也出现电流集中。妨碍薄膜电容器的低ESR化的一个重要因素是下部电极40的薄膜电阻。如上述那样，若在下部电极存在电流的集中位置，则下部因电极40的薄膜电阻高产生的影响显著显现，难以低ESR化。
技术实现思路
本技术的目的在于对导体部的形状和配置进行研究，而提供有效地减少ESR的电容器。(1)本技术的电容器的特征在于，具备：下部电极；第一上部电极，其与上述下部电极对置配置；第二上部电极，其与上述下部电极对置配置；电介质层，其配置于上述下部电极与上述第一上部电极之间；第一连接电极，其与外部的电路连接，并相对于上述第一上部电极而位于与上述下部电极相反一侧的位置；第二连接电极，其与外部的电路连接，并相对于上述第一上部电极而位于与上述下部电极相反一侧的位置；辅助电极，其相对于上述第一上部电极和上述第二上部电极而位于与上述下部电极相反一侧的位置；配置于上述第一上部电极与上述第一连接电极之间和上述第二上部电极与上述第二连接电极之间的绝缘体层；配置于上述第一上部电极与上述辅助电极之间和上述第二上部电极与上述辅助电极之间的绝缘体层；第一上部电极用层间连接导体，其将上述第一上部电极与上述第一连接电极连接；第二上部电极用层间连接导体，其将上述第二上部电极与上述第二连接电极连接；以及下部电极用层间连接导体，其将上述下部电极与上述辅助电极连接，上述辅助电极由侧方辅助电极部和内侧辅助电极部构成，在俯视时，在与上述第一连接电极和上述第二连接电极排列配置的方向正交的方向上，上述侧方辅助电极部配置为与从上述第一连接电极和上述第二连接电极分离，在俯视时，上述内侧辅助电极部位于上述第一连接电极与上述第二连接电极之间，上述下部电极用层间连接导体具有：在多个位置将上述侧方辅助电极部与上述下部电极连接的层间连接导体；和在多个位置将上述内侧辅助电极部与上述下部电极连接的层间连接导体部。根据上述结构，辅助电极相对于下部电极并列连接，因此由下部电极和辅助电极产生的有效的薄膜电阻降低。特别是，侧方辅助电极部使俯视时在第一连接电极和第二连接电极的排列中的于第一连接电极和第二连接电极的侧方集中的电流分散，内侧辅助电极部使俯视时在第一连接电极与第二连接电极之间集中的电流分散。由此有效地减少ESR。(2)在上述(1)中，优选为，上述侧方辅助电极部包括第一侧方辅助电极部和第二侧方辅助电极部，电容器还具备：将上述第一侧方辅助电极部、上述第二侧方辅助电极部和上述内侧辅助电极部连接的辅助电极部连接电极。由此，第一侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部和内侧辅助电极部的电位变稳定(缓和电位的不均)，由辅助电极形成的电流分散效果提高。(3)在上述(1)中，优选为，上述侧方辅助电极部由第一侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部、将上述第一侧方辅助电极部的一端与上述第二侧方辅助电极部的一端连接的第三侧方辅助电极部、以及将上述第一侧方辅助电极部的另一端与上述第二侧方辅助电极部的另一端连接的第四侧方辅助电极部构成。由此，第一侧方辅助电极部、第三侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部和第四侧方辅助电极部形成为环形(环状)，形成缩短了的多个电流路径。另外，辅助电极的总面积变大。根据上述内容，由辅助电极形成的电流旁通效果提高。(4)优选为，上述第一上部电极用层间连接导体和上述第二上部电极用层间连接导体中的至少一者的数量为多个。由此，在第一上部电极或者第二上部电极流动的电流有效地分散，因此减少由第一上部电极和第二上部电极引起的ESR。(5)优选上述下部电极用层间连接导体的数量为多个。由此，在下部电极流动的电流经由第一侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部和内侧辅助电极部，更有效地分散，因此可减少由下部电极引起的ESR。(6)优选为，上述下部电极用层间连接导体的数量为多个，上述第一上部电极用层间连接导体和上述第二上部电极用层间连接导体中的至少一者的数量为多个，对于上述下部电极用层间连接导体与上述第一上部电极用层间连接导体间的配置关系、或者上述下部电极用层间连接导体与上述第二上部电极用层间连接导体间的配置关系而言，成为在俯视时相互接近的部件彼此交替配置的关系。由此，分别沿面方向在第一上部电极和第二上部电极流动的电流的路径缩短。另外，在下部电极流动的电流更有效地分散流动。根据上述内容，可有效地减少由下部电极、第一上部电极和第二上部电极引起的ESR。(7)在上述(6)中，优选为，对于上述下部电极用层间连接导体与上述第一上部电极用层间连接导体间的配置关系、或者上述下部电极用层间连接导体与上述第二上部电极用层间连接导体间的配置关系而言，成为配置为在俯视时一者内插另一者间的关系。根据该构造，经由下部电极用层间连接导体和第一上部电极用层间连接导体出入在第一上部电极和下部电极的多个电流的路径分别缩短。另外，经由下部电极用层间连接导体和第二上部电极用层间连接导体而出入第二上部电极和下部电极的多个电流的路径分别缩短。根据上述内容，可有效地减少由下部电极、第一上部电极和第二上部电极引起的ESR。(8)优选为，在俯视时，上述第一连接电极和上述第二连接电极中的至少一者具有凹陷部(コ字形)，上述内侧辅助电极部的一端与上述凹陷部对置。由此，同经由电介质层而与第一上部电极对置的下部电极相邻的下部层间连接导体，容易成为在俯视时相互接近的部件彼此交替配置的关系。同样，同经由电介质层而与第二上部电极对置的下部电极相邻的下部层间连接导体，容易成为在俯视时相互接近的部件彼此交替配置的关系。(9)优选为，在成为四个以上的电容器部串联连接的结构的情况下，电介质层由多个电介质层构成，在上述多个电介质层之间配置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容器，其特征在于，具备：下部电极；第一上部电极，其与所述下部电极对置配置；第二上部电极，其与所述下部电极对置配置；电介质层，其配置于所述下部电极与所述第一上部电极之间；第一连接电极，其与外部的电路连接，并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；第二连接电极，其与外部的电路连接，并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；辅助电极，其相对于所述第一上部电极和所述第二上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；配置于所述第一上部电极与所述第一连接电极之间、和所述第二上部电极与所述第二连接电极之间的绝缘体层；配置于所述第一上部电极与所述辅助电极之间、和所述第二上部电极与所述辅助电极之间的绝缘体层；第一上部电极用层间连接导体，其将所述第一上部电极与所述第一连接电极连接；第二上部电极用层间连接导体，其将所述第二上部电极与所述第二连接电极连接；以及下部电极用层间连接导体，其将所述下部电极与所述辅助电极连接，所述辅助电极由侧方辅助电极部和内侧辅助电极部构成，在俯视时，在与所述第一连接电极和所述第二连接电极排列配置的方向正交的方向上，所述侧方辅助电极部配置为与所述第一连接电极和所述第二连接电极分离，在俯视时，所述内侧辅助电极部位于所述第一连接电极与所述第二连接电极之间，所述下部电极用层间连接导体具有：在多个位置将所述侧方辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体；和在多个位置将所述内侧辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体部。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.05.26 JP 2017-1051191.一种电容器，其特征在于，具备：下部电极；第一上部电极，其与所述下部电极对置配置；第二上部电极，其与所述下部电极对置配置；电介质层，其配置于所述下部电极与所述第一上部电极之间；第一连接电极，其与外部的电路连接，并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；第二连接电极，其与外部的电路连接，并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；辅助电极，其相对于所述第一上部电极和所述第二上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置；配置于所述第一上部电极与所述第一连接电极之间、和所述第二上部电极与所述第二连接电极之间的绝缘体层；配置于所述第一上部电极与所述辅助电极之间、和所述第二上部电极与所述辅助电极之间的绝缘体层；第一上部电极用层间连接导体，其将所述第一上部电极与所述第一连接电极连接；第二上部电极用层间连接导体，其将所述第二上部电极与所述第二连接电极连接；以及下部电极用层间连接导体，其将所述下部电极与所述辅助电极连接，所述辅助电极由侧方辅助电极部和内侧辅助电极部构成，在俯视时，在与所述第一连接电极和所述第二连接电极排列配置的方向正交的方向上，所述侧方辅助电极部配置为与所述第一连接电极和所述第二连接电极分离，在俯视时，所述内侧辅助电极部位于所述第一连接电极与所述第二连接电极之间，所述下部电极用层间连接导体具有：在多个位置将所述侧方辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体；和在多个位置将所述内侧辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体部。2.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述侧方辅助电极部包括第一侧方辅助电极部和第二侧方辅助电极部，所述电容器还具备：将所述第一侧方辅助电极部、所述第二侧方辅助电极部和所述内侧辅助电极部连接的辅助电极部连接电极。3.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述侧方辅助电极部由第一侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部、将所述第一侧方辅助电极部的一端与所述第二侧方辅助电极部的一端连接的第三侧方辅助电极部、以及将所述第一侧方辅助电极部的另一端与所述第二侧方辅助电极部的另一端连接的第四侧方辅助电极部构成。4.根据权利要求1～3中任一项所述的电容器，其特征在于，所述第一上部电极用层间连接导体和所述第二上部电极用层间连接导体中的至少一者的数量为多个。5.根据权利要求1～3中任一项所述的电容器，其特征在于，所述下部电极用层间连接导体的数量为多个。6.根据权利要求1～3中任一项所述的电容器，其特征在于，所述下部电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥岭人，中矶俊幸，小宫山卓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本,JP