【技术实现步骤摘要】
一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法
本专利技术属于半导体、金属、氧化物镀膜领域，具体涉及一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法。
技术介绍
超高真空镀膜技术指的是压强小于10-8Pa的真空镀膜技术，其中分子束外延镀膜技术是其主要组成之一。分子束外延技术(MolecularBeamEpitaxy,MBE)是一种利用分子束(或原子束)在单晶衬底表面生长单晶层的真空镀膜技术。它的技术特点是：1)以真空蒸发为气相沉积物质的来源；2)生长空间本底真空达到超高真空级别(压强小于10-8Pa量级)；3)对基片温度和沉积速率等主要工艺参数精确控制；4)对膜层的生长厚度调控达到亚单原子层的精度；5)膜层组分和掺杂浓度可由蒸发源精确调整；6)对薄膜生长情况具有实时原位的测试表征手段。自其专利技术以来，这种技术已被广泛应用于半导体领域，尤其在制备与光电子技术密切相关的Ⅲ-V族半导体及其超晶格方面取得巨大成功。分子束外延系统是为实现分子束外延技术的设备，它属于超高真空设备的一种，主要由包含获得和维持设备的真空腔室，以及真空腔体内的分子束蒸发源、基片支座及送片机构、原位生长...
【技术保护点】
1.一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，包括分子束外延主体(1)、不间断电源(2)、移动车架(3)和涡旋式干泵(4)，移动车架(3)上设涡旋式干泵(4)、控制器(42)和连接控制器(42)的不间断电源(2)，分子束外延主体(1)设在移动车架(3)顶部，并与涡旋式干泵(4)连通；所述分子束外延主体包括一个真空腔体(21)和连通在真空腔体(21)下方侧壁的分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)，依次连通在真空腔体(21)上方侧壁的反射式高能电子衍射仪的电子枪(29)、玻璃观察窗(31)、传样杆(26)、观察屏(28)和用于连接晶体振荡仪的接口(32)；在真空腔体(2...
【技术特征摘要】
1.一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，包括分子束外延主体(1)、不间断电源(2)、移动车架(3)和涡旋式干泵(4)，移动车架(3)上设涡旋式干泵(4)、控制器(42)和连接控制器(42)的不间断电源(2)，分子束外延主体(1)设在移动车架(3)顶部，并与涡旋式干泵(4)连通；所述分子束外延主体包括一个真空腔体(21)和连通在真空腔体(21)下方侧壁的分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)，依次连通在真空腔体(21)上方侧壁的反射式高能电子衍射仪的电子枪(29)、玻璃观察窗(31)、传样杆(26)、观察屏(28)和用于连接晶体振荡仪的接口(32)；在真空腔体(21)的底壁和小型溅射离子泵(23)上方两侧分别设有分子束蒸发源及接口(24)；在真空腔体(21)上下侧壁设有手阀(210)和支架(211)。2.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，所述分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)连通在真空腔体(21)下方侧壁上，由涡旋式干泵(4)连通真空腔体(21)的分子泵(22)，并和小型溅射离子泵(23)构成抽气系统。3.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，由分子束蒸发源及接口(24)、基片支座(25)、传样杆(26)、手阀(210)构成传输样...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘毅，吴迪，李恩，闵泰，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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