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本发明公开了一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法，包括分子束外延系统主体、不间断电源、移动车架和涡旋式干泵，移动车架上设涡旋式干泵、控制器和连接控制器的不间断电源，分子束外延系统主体设在移动车架顶部，并与涡旋式干泵连通；分子束外延系...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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