一种快速高效处置废刻蚀液的技术方法技术

本发明专利技术属于废水处理技术领域，具体涉及一种快速高效处置废刻蚀液的方法，废刻蚀液Ⅰ、废刻蚀液Ⅱ与含铬废物联合处理；所述废刻蚀液Ⅰ为浓硫酸和双氧水的混合废液；废刻蚀液Ⅱ为高浓度双氧水废液。采用上述方法，利用废刻蚀液Ⅰ的强酸性和废刻蚀液Ⅱ中的高浓度双氧水的弱还原性，将含铬废物中以六价铬形式存在的铬酸根(酸性条件下具强氧化性)还原成三价铬，实现高效反应，以废治废，且产物对环境无二次污染。

A Rapid and Efficient Technology for Disposal of Waste Etching Fluid

【技术实现步骤摘要】
一种快速高效处置废刻蚀液的技术方法
本专利技术属于危险废弃物处理
，具体涉及一种快速高效处置废刻蚀液的技术方法。
技术介绍
重工业是我国主要的危险废物产生源，其中废酸的产量又居于工业危险废物产生量的前三位，占比达到21％，并以盐酸、硫酸和硝酸等无机酸为主。以废硫酸为例，它主要来自有机物的硝化、磺化、烷基化及其他产品生产中，以及石油炼制、化纤行业、军工领域等。据中国化工信息中心调研，我国废酸中无机废硫酸约占35％，有机废硫酸约占65％，含量40％以上废硫酸占废硫酸总量的46％左右，每年废硫酸产生量超过1亿吨。随着信息化产业的迅速发展，集成电路制造过程中用不同刻蚀液刻蚀的电子产品数量极具增多，在生成过程中，用到铜刻蚀，硅刻蚀等多种类的刻蚀液。其中硅刻蚀液主是用98％硫酸和30％双氧水按照一定比例混合的混合液(其废液称废刻蚀液Ⅰ)，铜刻蚀液主要是30％双氧水(其废液称废刻蚀液Ⅱ)，这些刻蚀过程产生的废液属于危险废物，具强腐蚀性。在包装、暂存、收集、处置过程都具有较大的安全隐患，尤其是在中和处置中，反应剧烈，产生大量热量和气体，反应过程中若反应控制不当会造成漫液和喷射现象，安全处置风险本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：废刻蚀液Ⅰ、废刻蚀液Ⅱ与含铬废物联合处理；所述废刻蚀液Ⅰ为浓硫酸和双氧水的混合废液；废刻蚀液Ⅱ为高浓度双氧水废液。

【技术特征摘要】
1.一种快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：废刻蚀液Ⅰ、废刻蚀液Ⅱ与含铬废物联合处理；所述废刻蚀液Ⅰ为浓硫酸和双氧水的混合废液；废刻蚀液Ⅱ为高浓度双氧水废液。2.根据权利要求1所述快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：所述废刻蚀液Ⅰ的酸度为23～27mol/L，双氧水含量为1～5％。3.根据权利要求1所述快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：所述废刻蚀液Ⅱ中双氧水含量为7～9mol/L。4.根据权利要求1所述快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：所述含铬废物为六价铬含量为9～15g/kg的含铬废渣或六价铬含量为9～15g/L的含铬废液。5.根据权利要求2或3或4所述快速高效处置废刻蚀液的方法，其特征在于：所述废刻蚀液Ⅰ、废刻蚀液Ⅱ、含铬废渣的体积质量比为(10～20ml)：(5～15ml)：100g，或...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴东亮，吴卫林，胡长江，项艳，郭鹏飞，余端，王振宇，洪骏，
申请(专利权)人：安徽浩悦环境科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34