【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固体激光系统和波长转换系统
本公开涉及固体激光系统和波长转换系统。
技术介绍
近年来，在半导体曝光装置(以下称为“曝光装置”)中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化发展。一般而言，在曝光用光源中，代替现有的汞灯而使用气体激光装置。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的激光束的KrF准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外线的激光束的ArF准分子激光装置。作为下一代的曝光技术，曝光装置侧的曝光用透镜与晶片之间被液体填满的液浸曝光已经实用化。在该液浸曝光中，曝光用透镜与晶片之间的折射率变化，因此，曝光用光源的外观的波长变短。在将ArF准分子激光装置作为曝光用光源来进行液侵曝光的情况下，对晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称为ArF液浸曝光(或ArF液浸光刻)。KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡幅度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用透射KrF和ArF激光束这种紫外线的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要对从...
【技术保护点】
1.一种固体激光系统，其具有：第1固体激光装置，其输出第1波长的第1脉冲激光束；第2固体激光装置，其输出第2波长的第2脉冲激光束；第1非线性晶体，其配置在所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束行进的第1光路上，通过和频产生过程将所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束波长转换为第3波长的第3脉冲激光束而输出；以及第2非线性晶体，其配置在所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束行进的第2光路上，通过和频产生过程将所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束波长转换为第4波长的第4脉冲激光束而输出，使所述第2脉冲激光束在入射到所述第1非线性晶体之前的第1时机入射到所述第2非线性晶体，使所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固体激光系统，其具有：第1固体激光装置，其输出第1波长的第1脉冲激光束；第2固体激光装置，其输出第2波长的第2脉冲激光束；第1非线性晶体，其配置在所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束行进的第1光路上，通过和频产生过程将所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束波长转换为第3波长的第3脉冲激光束而输出；以及第2非线性晶体，其配置在所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束行进的第2光路上，通过和频产生过程将所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束波长转换为第4波长的第4脉冲激光束而输出，使所述第2脉冲激光束在入射到所述第1非线性晶体之前的第1时机入射到所述第2非线性晶体，使所述第2脉冲激光束中的在所述和频产生过程中未被使用而穿过所述第2非线性晶体的剩余光、在比所述第1时机晚的第2时机入射到所述第1非线性晶体。2.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机与所述第1时机大致相同。3.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机与所述第2时机大致相同。4.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机是所述第1时机与所述第2时机之间的时机。5.根据权利要求4所述的固体激光系统，其中，所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机是所述第1时机与所述第2时机之间的中间的时机。6.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述第2波长为1100nm以上且2000nm以下。7.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，所述第2固体激光装置包含Er光纤放大器。8.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，所述第1波长为220nm以上且400nm以下。9.根据权利要求8所述的固体激光系统，其中，第4波长为150nm以上且300nm以下。10.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述固体激光系统还具有第1分色镜，该第1分色镜配置在所述第2固体激光装置与所述第2非线性晶体之间的所述第2脉冲激光束的光路与所述第3脉冲激光束的光路...
【专利技术属性】
技术研发人员：小野濑贵士，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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