控制装置及激光加工装置制造方法及图纸

控制装置具有：储存部，其储存移动光学系统的初始位置和移动光学系统的移动容许范围，该移动光学系统调整从波长转换晶体输出的谐波激光的束径，该移动容许范围是利用相对于初始位置的距离而定义的；以及控制部，其以使得谐波激光的在被加工物之上的输出值即加工点输出值大于或等于第1设定值的方式使移动光学系统的位置移动，并且对移动后的移动光学系统的位置是否处于移动容许范围内进行判定，在处于移动容许范围外的情况下，将进行波长转换晶体的移动的指示输出至外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对激光的输出值进行控制的控制装置及激光加工装置。
技术介绍
当前，在谐波激光的输出降低时，进行波长转换晶体的温度调整，在即使进行了温度调整也不能得到大于或等于阈值的谐波激光输出的情况下，使波长转换晶体相对于光路而沿垂直方向移动。由此，更新谐波激光在波长转换晶体处的穿过点，因此能够实现谐波激光的输出值的恢复。如果通过实施波长转换晶体的温度调整，从而使波长转换晶体的温度下降，则波长转换晶体的侧面与激光穿过点之间的温度梯度变大，其结果，产生热透镜。因此，即使振荡器出口的谐波激光输出相同，谐波激光的传输状态也发生变化，加工点处的谐波激光输出发生变化。在专利文献1所记载的方法中，为了使加工点处的谐波激光输出恒定，进行对移动光学系统的位置实施调整而保持掩模位置处的束径恒定的处理。专利文献1：日本特开2000-176661号公报
技术实现思路
然而，在上述现有的技术中，即使在来自激光振荡器的谐波激光的输出值已恢复的情况下，在使用了谐波激光的激光加工时有时也会引起加工不良。本专利技术就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种防止在使用了谐波激光的激光加工时引起加工不良的控制装置及激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种控制装置，其特征在于，具有：储存部，其储存移动光学系统的初始位置和所述移动光学系统的移动容许范围，该移动光学系统调整从波长转换晶体输出的谐波激光的束径，该移动容许范围是利用相对于所述初始位置的距离而定义的；以及控制部，其以使得所述谐波激光的在被加工物之上的输出值即加工点输出值大于或等于第1设定值的方式使所述移动光学系统的位置移动，并且对移动后的所述移动光学系统的位置是否处于所述移动容许范围内进行判定，在处于所述移动容许范围外的情况下，将进行所述波长转换晶体的移动的指示输出至外部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.04.14 JP 2014-0826981.一种控制装置，其特征在于，具有：储存部，其储存移动光学系统的初始位置和所述移动光学系统的移动容许范围，该移动光学系统调整从波长转换晶体输出的谐波激光的束径，该移动容许范围是利用相对于所述初始位置的距离而定义的；以及控制部，其以使得所述谐波激光的在被加工物之上的输出值即加工点输出值大于或等于第1设定值的方式使所述移动光学系统的位置移动，并且对移动后的所述移动光学系统的位置是否处于所述移动容许范围内进行判定，在处于所述移动容许范围外的情况下，将进行所述波长转换晶体的移动的指示输出至外部。2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，在进行了所述波长转换晶体的移动之后，所述控制部以使得所述加工点输出值大于或等于所述第1设定值的方式再次使所述移动光学系统的位置移动，使所述储存部更新为移动后的所述移动光学系统的初始位置，所述控制部基于更新后的初始位置，对所述移动光学系统的位置是否处于所述移动容许范围内进行判定。3.根据权利要求1或2所述的控制装置，其特征在于，所述移动光学系统为准直透镜，所述移动容许范围为与所述准直透镜的在光路方向的位置相关的范围。4.根据权利要求1或2所述的控制装置，其特征在于，所述移动光学系统为λ/2板，所述移动容许范围为与所述λ/2板的旋转位置相关的范围。5.一种控制装置，其特征在于，具有：储存部，其储存进行波长转换晶体的温度调整之后从所述波长转换晶体输出的谐波激光的初始输出值、和利用相对于所述初始输出值的降低比率而定义的对比输出值；以及控制部，如果所述谐波激光的输出值变得小于或等于所述对比输出值，则所述控制部使所述波长转换晶体的温度调整得到执行，并且所述控制部对温度调整后的所述谐波激光的输出值是否大于或等于作为比所述对比输出值大的值的输出判定值进行判定，在小于所述输出判定值的情况下，将进行所述波长转换晶体的移动的指示输出至外部。...

【专利技术属性】
技术研发人员：森本猛，茂木治，竹内昌裕，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP