【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于非线性频率转换装置的波长分离元件
本专利技术涉及用于与倍频激光器一起使用的波长分离元件。
技术介绍
非线性频率转换(NLFC)是一种广泛使用的光学技术，用于使用激光装置产生特定的波长。在一种NLFC装置中，具有基础波长的光束进入将具有基础波长的一部分光转换为具有另一波长的光的NLFC组件。这种技术最常见的变化是使用具有基础波长的光束进行倍频，从而产生具有一半的基础波长的转换光束，这个过程被称为二次谐波产生(SHG)。然而，NLFC过程不会转变基础光束的所有光子，导致转换光束与离开所述NLFC组件的基础光束的空间上的重叠。许多应用只需要转换光束，因此离开元件的基础光束必须被去除。在200nm和270nm之间的紫外(UV)辐射的特定波长范围内，在现有技术中存在不同的方法通过放置一元件在该NLFC组件后的一个光束路径的某个点处來去除NLFC装置中的基础光束。美国第7,110,426号专利、Rudolph[2006年9月19日公告，美国陆军研究合同W911NF-09-1-0102)以及Nishimura等[日本应用物理杂志42，5079，(2003)]公开了具有多层涂...
【技术保护点】
1.一种波长分离元件，其用于在非线性频率转换(NLFC装置)中将第二光束与第一光束分离，其中所述第二光束具有波长不同于所述第一光束的波长，所述波长分离元件包括：第一镜面；以及与所述第一镜面相对的第二镜面；其中：相较于对所述第一光束的反射率，所述第一和第二镜面具有对所述第二光束高的反射率，且所述第一和第二镜面被配置为使得所述第一和第二光束在所述第一镜面和所述第二镜面之间经历多次反射以将第二光束与第一光束分开；其中所述第一和第二镜面被配置为使得所述第一和第二光束在所述第一和第二镜面经历至少三次反射。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.12.03 US 14/9580291.一种波长分离元件，其用于在非线性频率转换(NLFC装置)中将第二光束与第一光束分离，其中所述第二光束具有波长不同于所述第一光束的波长，所述波长分离元件包括：第一镜面；以及与所述第一镜面相对的第二镜面；其中：相较于对所述第一光束的反射率，所述第一和第二镜面具有对所述第二光束高的反射率，且所述第一和第二镜面被配置为使得所述第一和第二光束在所述第一镜面和所述第二镜面之间经历多次反射以将第二光束与第一光束分开；其中所述第一和第二镜面被配置为使得所述第一和第二光束在所述第一和第二镜面经历至少三次反射。2.如权利要求1所述的波长分离元件，其特征在于：所述第一和第二镜面具有对所述第二光束的反射率为至少50％,且对所述第一光束的反射率最大为10％。3.如权利要求1或2所述的波长分离元件，其特征在于：所述第一和第二镜面被配置为使得所述第一和第二光束在所述第一镜面或所述第二镜面中的一个上经历至少两次反射。4.如权利要求1-3中任意项所述的波长分离元件，其特征在于：所述第一和第二镜面设置在间隔开的独立元件上，使得所述第一和第二光束穿过所述镜面之间的空间间隙传播。5.如权利要求1-4中任意项所述的波长分离元件，其特征在于：所述第一镜面和第二镜面设置在单个元件上，使得所述第一和第二光束在所述镜面之间的所述单个元件的内部体积内传播。6.如权利要求1-5中任意项所述的波长分离元件，其特征在于：所述镜面之间的间隙“g”和所述波长分离元件的长度“L”基于包含所述第一和第二光束的混合光束的发散半角来确定。7.如权利要求1-6中任意项所述的波长分离元件，其进一步包括：所述波长分离元件还包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的至少一个板元件，其中所述第一表面是所述第一或第二镜面中的一个，且所述第二表面包括散射元件，所述散射元件散射穿过所述第一或第二镜面的所述第一光束的一部分。8.如权利要求7所述的波长分离元件，包括：两个薄板，每个薄板包括分别包括所述第一镜面和所述第二镜面的第一表面和包括所述散射元件的第二表面。9.如权利要求1-6中任意项所述的波长分离元件，其进一步包括：具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的至少一个板元件，其中所述第一表面是第一或第二镜面中的一个，并且所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔·彼得·威尔南，蒂姆·米迦勒·斯米顿，瓦莱丽·贝里曼布斯凯，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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