波长转换装置制造方法及图纸

一种波长转换装置，其具有至少1个移动装置，该移动装置包括：A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出该激光；以及B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使所述晶体保持架至少向与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向移动。另外，驱动部使晶体保持架旋转以变更激光向非线性晶体入射的入射角度。驱动部包括：二维驱动部，其被构成为包括平面型音圈马达，以及一维驱动部，其被构成为包括圆筒型音圈马达。二维驱动部进行如下驱动：与第1方向正交的第2方向上的直线驱动，以及以与第1方向和第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动。一维驱动部进行第3方向上的直线驱动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波长转换装置
本专利技术涉及在激光装置中所使用的波长转换装置。
技术介绍
随着半导体集成回路的精细化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨率。以下，将半导体曝光装置仅称作“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的短波长化处于进展之中。对于曝光用光源，使用气体激光装置代替以往的水银灯。目前，作为曝光用激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长为193.4nm的紫外线的ArF准分子激光装置。作为当前的曝光技术，实际使用的是液浸曝光，在该液浸曝光中，通过用液体填满曝光装置侧的投影透镜与晶片之间的间隙而改变该间隙的折射率、来使曝光用光源所表现出来的波长短波长化。在将ArF准分子激光装置用作曝光用光源来进行液浸曝光的情况下，向晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称作ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也称作ArF液浸光刻。KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm，因此，通过曝光装置侧的投影透镜而缩小投影在晶片上的激光(紫外线光)会产生色像差，从而分辨率下降。因此，需要使从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波长转换装置，其具有至少1个移动装置，该移动装置包括：A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出波长转换后的激光；以及B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使所述晶体保持架至少在与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向上移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种波长转换装置，其具有至少1个移动装置，该移动装置包括：A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出波长转换后的激光；以及B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使所述晶体保持架至少在与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向上移动。2.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，所述驱动部使所述晶体保持架旋转，以变更所述激光向所述非线性晶体入射的入射角度。3.根据权利要求2所述的波长转换装置，其中，所述驱动部包括：二维驱动部，其被构成为包括平面型音圈马达；以及一维驱动部，其被构成为包括圆筒型音圈马达，这里，所述二维驱动部进行如下驱动：与所述第1方向正交的第2方向上的直线驱动、和以与所述第1方向和所述第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动，所述一维驱动部进行所述第3方向上的直线驱动。4.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，所述一维驱动部被所述二维驱动部保持，所述晶体保持架被所述一维驱动部保持。5.根据权利要求4所述的波长转换装置，其中，所述二维驱动部包括：第1音圈马达和第2音圈马达，它们在所述第2方向上产生驱动力；以及第3音圈马达和第4音圈马达，它们在所述第1方向上产生驱动力，这里，所述第1音圈马达和所述第2音圈马达通过各自在相同方向上产生驱动力而进行所述第2方向上的直线驱动，所述第3音圈马达和所述第4音圈马达通过在彼此相反的方向上产生驱动力而进行以所述第3方向为中心的旋转驱动。6.根据权利要求5所述的波长转换装置，其中，所述二维驱动部还包括保持所述一维驱动部的可动板，通过第1音圈马达、第2音圈马达、第3音圈马达以及第4音圈马达对所述可动板进行驱动。7.根据权利要求6所述的波长转换装置，其中，所述二维驱动部还包括滑动支承部件，该滑动支承部件将所述可动板支承为能够进行滑动。8.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，所述移动装置还包括：C.施力部件，其对所述二维驱动部施力。9.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，所述驱动部还包括与平面型音圈马达对应设置的至少1个霍尔传感器，根据从所述霍尔传感器输出的检测信号对所述二维驱动部...

【专利技术属性】
技术研发人员：渊向笃，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP