蒸镀掩模固定装置制造方法及图纸

在将多个掩模固定于框架的掩模固定装置中，削减装置的制造成本，并且，使多个掩模中的对准精度的偏差减少。蒸镀掩模固定装置将多个蒸镀掩模固定于框架，该框架设置有与多个蒸镀掩模分别对应的多个开口，该蒸镀掩模固定装置包括至少1个对准台，该至少1个对准台具有：载置部，其载置蒸镀掩模；和对准机构，其使蒸镀掩模沿着框架的与蒸镀掩模相对的面移动而进行对准，对准台向设置于所述框架的多个开口的位置依次移动，对准台在各开口的位置处对相对应的蒸镀掩模进行对准。

Steaming mask fixing device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模固定装置
本专利技术涉及蒸镀掩模固定装置。
技术介绍
在显示装置的制造工序中，采用了如下方法：使用蒸镀掩模(也简称为掩模(mask))在基板上对特定材料进行成膜。在使用了蒸镀掩模的成膜中，使用形成有规定图案的蒸镀掩模，在基板上将特定材料成膜为规定图案。例如，在有机EL显示装置的制造工序中，作为在基板上对红、绿、蓝的有机EL元件进行成膜的方法之一，使用掩模蒸镀法。有时将多个这样的蒸镀掩模固定于框架而用作1个掩模。在专利文献1中公开了如下内容：借助固定用掩模将两张金属掩模结合，使其作为1个金属掩模发挥功能。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-181208号公报
技术实现思路
为了将多个掩模固定于框架而设为1个掩模，需要以高精度对各掩模和框架进行对准并固定的掩模固定装置。在此，在掩模与框架之间的对准中，例如，能够使用以往的对准装置。对准装置具有载置对准对象的对准台，该对准台通过使对准对象沿着载置面移动来实现对准。在使用对准装置对多个掩模进行对准的情况下，想到准备与多个掩模分别相对应的多个对准台，但装置的制造成本增大。另外，在多个掩模中产生对准精度的偏差。本专利技术是鉴于上述问题而做成的，其目的在于，在将多个掩模固定于框架的掩模固定装置中，削减装置的制造成本，并且，使多个掩模中的对准精度的偏差减少。(1)为了解决上述问题，本专利技术的蒸镀掩模固定装置将多个蒸镀掩模固定于框架，该框架设置有与所述多个蒸镀掩模分别对应的多个开口，其中，该蒸镀掩模固定装置包括至少1个对准台，该至少1个对准台具有：载置部，其载置所述蒸镀掩模；和对准机构，其使所述蒸镀掩模沿着所述框架的与所述蒸镀掩模相对的面移动而进行对准，所述对准台向设置于所述框架的多个开口的位置依次移动，所述对准台在所述各开口的位置处对相对应的所述蒸镀掩模进行对准。(2)根据上述(1)所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，该蒸镀掩模固定装置还包括使所述对准台沿着所述相对的面移动的移动机构。(3)根据上述(1)或(2)所述的蒸镀掩模固定装置，其中，该蒸镀掩模固定装置还包括焊接单元，在对所述蒸镀掩模进行了对准之后，该焊接单元利用焊接将该掩模固定于所述框架。(4)根据上述(1)～(3)中任一项所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，所述多个蒸镀掩模的个数比所述对准台的个数多。(5)根据上述(1)～(4)中任一项所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，能够切换将为第1个数的多个第1蒸镀掩模固定于第1框架、以及将为比所述第1个数少的第2个数的多个第2蒸镀掩模固定于第2框架。(6)根据上述(5)所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，所述第2蒸镀掩模比所述第1蒸镀掩模大。(7)根据上述(6)所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，所述第2蒸镀掩模的与所述框架相对的面比所述对准台的与所述框架相对的面大。(8)根据上述(1)～(4)中任一项所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，能够切换将具有第1尺寸的多个第1蒸镀掩模固定于第1框架、以及将具有比所述第1尺寸大的第2尺寸的多个第2蒸镀掩模固定于第2框架。(9)根据上述(8)所述的蒸镀掩模固定装置，其中，也可以是，所述第2蒸镀掩模的与所述框架相对的面比所述对准台的与所述框架相对的面大。专利技术效果根据本专利技术，在将多个掩模固定于框架的掩模固定装置中，能够削减装置的制造成本，并且，使多个掩模中的对准精度的偏差减少。附图说明图1是表示本实施方式的掩模固定装置的整体结构的示意图。图2是表示本实施方式的掩模的一个例子的图。图3是表示本实施方式的框架的一个例子的图。图4是示意性地表示本实施方式的掩模固定装置的动作的图。图5是示意性地表示本实施方式的掩模固定装置的动作的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，为了使说明更明确，与实际的形态相比，以下说明中所参照的附图存在示意性地表示各部分的宽度、厚度、形状等的情况，始终是一个例子，并不用于限定本专利技术的解释。另外，在本说明书和各图中，对于与关于已有的图已在前说明的要素同样的要素，有时标注同一附图标记并适当省略详细的说明。图1是表示本实施方式的掩模固定装置1(也称为蒸镀掩模固定装置、蒸镀掩模粘合装置)的整体结构的示意图。图1是从侧面观察掩模固定装置1的图。掩模固定装置1是在进行了掩模20(也称为蒸镀掩模)与框架30之间的对准的基础上将掩模20固定于框架30的装置。掩模固定装置1包括框架保持部11、基准玻璃13、照相机14、对准台16、焊接单元18而构成。利用基准玻璃13、照相机14以及对准台16进行掩模20与框架30之间的对准，利用焊接单元18进行掩模20与框架30之间的固定。框架保持部11将框架30保持于基准玻璃13与对准台16之间。基准玻璃13固定于掩模固定装置1的上部，设置有成为掩模20与框架30之间的对位的基准的基准标志100。在掩模20设置有对准标志200(参照图2)。通过使对准标志200与基准标志100对位，进行掩模20与框架30之间的对准。照相机14设置于基准玻璃13的上方。照相机14构成为能够在X-Y方向上移动。照相机14通过从基准标志100的正上方对基准标志100和对准标志200进行拍摄，来测定基准标志100与对准标志200之间的相对的位置关系。在图1中，1个照相机14依次移动到基准标志100的正上方，对基准标志100和对准标志200进行拍摄。此外，并不限定于照相机14设置有1个的例子，照相机14也可以设置有多个。对准台16设置于掩模固定装置1的下部。对准台16具备：载置部161，其供掩模20载置；对准机构162，其使载置到载置部161的掩模20在沿着载置面的面内、或者与载置面平行的面内(在X-Y-θ方向上)移动而进行对准；以及移动机构163，其使对准台16自身在X-Y方向上移动。在此，载置面是例如掩模20的与框架30相对的面，换言之是掩模20的向框架30载置那一侧的面。载置面也可以是框架30的与掩模20相对的面。另外，此处的θ方向包括包含图1所示的X方向和Y方向的平面内(例如掩模20的载置面内)的旋转方向。而且，θ方向也可以包括与掩模20的载置面交叉的方向。载置部161既可以由多个升降销构成，也可以由1个载置台构成。对准机构162由例如致动器和驱动马达构成。移动机构163由例如驱动马达和滚珠丝杠构成。也可以是，移动机构163还具备线性标尺(线性编码器)。此外，移动机构163也可以与对准台16分体地构成。例如，也可以是，在由驱动马达和输送带构成的移动机构163之上设置有对准台16，通过输送带动作，对准台16移动。对准台16根据照相机14所测定的基准标志100与对准标志200之间的相对的位置关系，利用对准机构162使载置到载置部161的掩模20移动而进行对准。本实施方式的掩模固定装置1仅设置有1个对准台16，对准台16利用移动机构163移动而进行掩模20的对准。在进行了掩模20与框架30之间的对准之后，焊接单元18利用焊接将掩模20固定于框架30。图2是表示本实施方式的掩模20的一个例子的图。在掩模20形成有多个图案部210。另外，在掩模20设置有对准标志200。作为掩模20的材料，使用例如因瓦合金等金属。图案部210成为实际的产品，例如，相当于有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模固定装置，其将多个蒸镀掩模固定于框架，该框架设置有与所述多个蒸镀掩模分别对应的多个开口，该蒸镀掩模固定装置的特征在于，该蒸镀掩模固定装置包括至少1个对准台，该至少1个对准台具有：载置部，其载置所述蒸镀掩模；和对准机构，其使所述蒸镀掩模沿着所述框架的与所述蒸镀掩模相对的面移动而进行对准，所述对准台向设置于所述框架的多个开口的位置依次移动，所述对准台在各所述开口的位置处对相对应的所述蒸镀掩模进行对准。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.10 JP 2017-0228731.一种蒸镀掩模固定装置，其将多个蒸镀掩模固定于框架，该框架设置有与所述多个蒸镀掩模分别对应的多个开口，该蒸镀掩模固定装置的特征在于，该蒸镀掩模固定装置包括至少1个对准台，该至少1个对准台具有：载置部，其载置所述蒸镀掩模；和对准机构，其使所述蒸镀掩模沿着所述框架的与所述蒸镀掩模相对的面移动而进行对准，所述对准台向设置于所述框架的多个开口的位置依次移动，所述对准台在各所述开口的位置处对相对应的所述蒸镀掩模进行对准。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，该蒸镀掩模固定装置还包括使所述对准台沿着所述相对的面移动的移动机构。3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，该蒸镀掩模固定装置还包括焊接单元，在对所述蒸镀掩模进行了对准之后，该焊接单元利用焊接将所述蒸镀掩模固定于所述框架。4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，所述多个蒸镀掩模的个数比所述对准台的个数多。5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，能够切换将为第1个数的多个第1蒸镀掩模固定于第1框架、以及将为比所述第1个数少的第2个数的多个第2蒸镀掩模固定于第2框架。6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，所述第2蒸镀掩模比所述第1蒸镀掩模大。7.根据权利要求6所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，所述第2蒸镀掩模的与所述框架相对的面比所述对准台的与所述框架相对的面大。8.根据权利要求4所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，能够切换将具有第1尺寸的多个第1蒸镀掩模固定于第1框架、以及将具有比所述第1尺寸大的第2尺寸的多个第2蒸镀掩模固定于第2框架。9.根据权利要求8所述的蒸镀掩模固定装置，其特征在于，所述第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：成谷元嗣，武田笃，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：日本,JP