掩模组装体、掩模组装体的制造方法及显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了掩模组装体、掩模组装体的制造方法及显示装置的制造方法。本发明专利技术的掩模组装体包括：掩模框架；掩模板，以被拉伸的状态配置于上述掩模框架，形成有至少一个开口部以使蒸镀物质通过；阻隔部，以被拉伸的状态配置于上述掩模板与上述掩模框架之间，用于确定上述掩模板的蒸镀区域，上述阻隔部包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部，上述主体部的两端中的至少一端在与上述主体部的长度方向垂直的方向上的宽度与其他部分不同。

Manufacturing method of mask assembly, mask assembly and display device

【技术实现步骤摘要】
掩模组装体、掩模组装体的制造方法及显示装置的制造方法
本专利技术实施例涉及装置及方法，更详细地，涉及掩模组装体、掩模组装体的制造方法及显示装置的制造方法。
技术介绍
目前广泛使用着基于移动性的电子设备。作为移动电子设备，除移动电话等小型电子设备之外，最近广泛使用平板电脑。为了提供多种功能，上述移动电子设备包括用于向用户提供如图像或影像等视觉信息的显示装置。最近，随着用于驱动显示装置的其他部件的小型化，显示装置在电子设备中占据的比重有逐渐增加的趋势，还开发出了在平坦的状态下能够弯曲成规定角度的结构。
技术实现思路
通常，在制造显示装置时，需要将蒸镀物质准确地蒸镀到显示区域。在这种情况下，需要将为了制造显示装置而使用的掩模组装体制造成与设计值相同或最大限度地类似。本专利技术的实施例提供可精密地对蒸镀物质进行蒸镀的掩模组装体、掩模组装体的制造方法及显示装置的制造方法。本专利技术一实施例的掩模组装体包括：掩模框架；掩模板，以被拉伸的状态配置于上述掩模框架，形成有至少一个开口部以使蒸镀物质通过；阻隔部，以被拉伸的状态配置于上述掩模板与上述掩模框架之间，用于确定上述掩模板的蒸镀区域，上述阻隔部包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部，上述主体部的两端中的至少一端在与上述主体部的长度方向垂直的方向上的宽度与上述主体部的其他部分不同。在本实施例中，上述主体部的两端中的至少一端的宽度，随着从上述主体部的中央部分朝向上述主体部的两端中的至少一端侧可以逐渐减小。在本实施例中，上述阻隔部还可以包括配置于上述主体部的基准线。本专利技术另一实施例可包括：在掩模框架贴合阻隔部的步骤；在测定上述阻隔部是否发生变形之后，去除上述阻隔部的两端中的至少一端的一部分的步骤；在上述阻隔部上配置掩模板，并在上述阻隔部贴合上述掩模板的步骤。在本实施例中，上述阻隔部可包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部。在本实施例中，去除上述阻隔部的两端中的至少一端的一部分的步骤可以去除上述主体部的两端中的至少一端的一部分在本实施例中，一部分被去除的上述主体部的两端中的至少一端在与上述主体部的长度方向垂直的方向上的宽度可以与上述主体部的其他部分不同。在本实施例中，一部分被去除的上述主体部的两端中的至少一端的宽度，随着从上述主体部的中央部分朝向上述主体部的两端中的至少一端侧可以逐渐减小。在本实施例中，可根据上述阻隔部的基准线的位置变化来判断上述阻隔部是否发生了变形。在本实施例中，还可包括将上述阻隔部拉伸的步骤。在本实施例中，还可包括将上述掩模板拉伸的步骤。在本实施例中，还可包括：在母材标记上述阻隔部的步骤；以及切断所标记的上述阻隔部的步骤。在本实施例中，还可包括在上述阻隔部标记基准线的步骤。在本实施例中，还可包括将上述母材拉伸的步骤。在本实施例中，还可包括切断上述阻隔部及上述掩模板中的至少一部分的步骤。本专利技术另一实施例可包括：制造并准备掩模组装体的步骤；向腔室内部装入上述掩模组装体及显示基板，通过源部向上述显示基板供给蒸镀物质来使蒸镀物质被蒸镀在上述显示基板的步骤，制造并准备上述掩模组装体的步骤包括：在掩模框架贴合阻隔部的步骤；在测定上述阻隔部是否发生变形之后，去除上述阻隔部的两端中的至少一端的一部分的步骤；在上述阻隔部上配置掩模板，并在上述阻隔部贴合上述掩模板的步骤。在本实施例中，一部分被去除的上述阻隔部的两端中的至少一端的宽度，随着从上述阻隔部的中央部分朝向上述阻隔部的两端中的至少一端侧可以逐渐减小。在本实施例中，制造并准备上述掩模组装体的步骤还可包括将上述阻隔部及上述掩模板中的至少一个拉伸的步骤。在本实施例中，制造并准备上述掩模组装体的步骤还可以包括：在母材标记上述阻隔部的步骤；切断所标记的上述阻隔部的步骤。在本实施例中，制造并准备上述掩模组装体的步骤还可包括将上述母材拉伸的步骤。关于除上述之外的其他实施方式、特征、优点，可通过以下的附图、专利技术要求保护范围及专利技术的详细说明变得明确。这种一般且具体的实施方式可以用系统、方法、计算机程序或某种系统、方法及计算机程序的组合来实施。与本专利技术实施例相关的掩模组装体能够校正阻隔部的变形。与本专利技术实施例相关的掩模组装体的制造方法能够形成最大限度地接近设计值的蒸镀区域。与本专利技术的实施例相关的显示装置的制造方法能够制造出具有精密的发光区域的显示装置。附图说明图1为示出本专利技术一实施例的掩模组装体的立体图。图2为示出在图1所示的掩模板和阻隔部排列的蒸镀区域的平面图。图3为示出图1所示的掩模组装体的制造顺序的平面图。图4为示出图1所示的掩模组装体的制造顺序的立体图。图5为示出图1所示的掩模组装体的制造顺序的立体图。图6为示出图1所示的掩模组装体的制造顺序的立体图。图7为示出本专利技术另一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。图8为示出通过图7所示的显示装置的制造装置制造出的显示装置的平面图。图9为沿着图8的A-A线截取的剖视图。附图标记说明1：母材152：掩模板20：显示装置153：阻隔部100：显示装置的制造装置154：支撑框架110：腔室160：磁力部120：第一支撑部170：摄像部130：第二支撑部180：压力调节部140：源部181：连接配管150：掩模组装体182：泵151：掩模框架具体实施方式本专利技术可进行多种变换，可具有多种实施例，在图中例示特定实施例并在详细说明中进行详细说明。本专利技术的效果及特征、实现这些的方法将参照与附图一同详细后述的实施例变得明确。但是，本专利技术并不限于以下公开的实例，而是可体现为多种形态。以下，参照附图，详细说明本专利技术的实施例，当参照附图进行说明时，对相同或对应的结构要素赋予相同的附图标记，并省略对其的重复说明。在以下的实施例中，第一、第二等的术语并非为限定含义，而是用于区分一个结构要素与其他结构要素。在以下的实施例中，只要在上下文中并未明确表示，单数的表现可包括复数的表现。在以下的实施例中，包括或具有等的术语意味着在说明书中记载的特征或结构要素的存在，而并非意味着预先排除一个以上的其他特征或结构要素的附加可能性。在以下的实施例中，当膜、区域、结构要素等部分形成于其他部分上方时，不仅包括直接在其他部分上方的情况，而且还包括在中间隔着其他膜、区域、结构要素等的情况。图中，为了方便说明，结构要素的结构可以放大或缩小。例如，图中示出的各个结构要素的大小及厚度为了方便说明而随意示出，本专利技术并不限于此。在以下的实施例中，x轴、y轴及z轴并不限于正交坐标上的三个轴，可被解释成包括其的广泛含义。例如，x轴、y轴及z轴可以正交，也可以为不正交的不同方向。在某一实施例按照不同的方式实现的情况下，特定工序顺序可以按照与说明的顺序不同的顺序执行。例如，连续说明的两个工序实际上可以一同执行，也可以按与说明顺序相反的顺序执行。图1为示出本专利技术一实施例的掩模组装体的立体图。图2为示出在图1所示的掩模板和阻隔部排列的蒸镀区域的平面图。参照图1及图2，掩模组装体150可包括掩模框架151、掩模板152、阻隔部153及支撑框架154。掩模组装体150以在内部形成空间的方式使多个框架相互连接。作为一实施例，掩模组装体150可呈在中间形成一个开口部的框状。作为另一实施例，掩模组装体150可呈包括多个开口部的窗框似的格子状。以下，为了方便说明，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模组装体，其特征在于，包括：掩模框架；掩模板，以被拉伸的状态配置于上述掩模框架，形成有至少一个开口部以使蒸镀物质通过；以及阻隔部，以被拉伸的状态配置于上述掩模板与上述掩模框架之间，用于确定上述掩模板的蒸镀区域，上述阻隔部包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部，上述主体部的两端中的至少一端在与上述主体部的长度方向垂直的方向上的宽度与上述主体部的其他部分不同。

【技术特征摘要】
2018.03.08 KR 10-2018-00276961.一种掩模组装体，其特征在于，包括：掩模框架；掩模板，以被拉伸的状态配置于上述掩模框架，形成有至少一个开口部以使蒸镀物质通过；以及阻隔部，以被拉伸的状态配置于上述掩模板与上述掩模框架之间，用于确定上述掩模板的蒸镀区域，上述阻隔部包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部，上述主体部的两端中的至少一端在与上述主体部的长度方向垂直的方向上的宽度与上述主体部的其他部分不同。2.根据权利要求1所述的掩模组装体，其特征在于，上述主体部的两端中的至少一端的宽度，随着从上述主体部的中央部分朝向上述主体部的两端中的至少一端侧逐渐减小。3.根据权利要求1所述的掩模组装体，其特征在于，上述阻隔部还包括配置于上述主体部的基准线。4.一种掩模组装体的制造方法，其特征在于，包括：在掩模框架贴合阻隔部的步骤；在测定上述阻隔部是否发生变形之后，去除上述阻隔部的两端中的至少一端的一部分的步骤；以及在上述阻隔部上配置掩模板，并在上述阻隔部贴合上述掩模板的步骤，上述阻隔部包括：主体部、以及从上述主体部突出的突出部，去除上述阻隔部的两端中的至少一端的一部分的步骤去除上述主体部的两端中的至少一端的一部分。5.根据权利要求4所述的掩模组装...

【专利技术属性】
技术研发人员：安鼎铉，李京任，金珉奭，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR