废气焚烧用燃烧器制造技术

本发明专利技术涉及废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，包括：燃烧器主体(120)，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管(130)，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管(131)，追加供给第二氧化剂；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

Burner for waste gas incineration

【技术实现步骤摘要】
废气焚烧用燃烧器
本申请专利技术涉及焚烧废气的腔中使用的废气焚烧用燃烧器，具体地涉及为了减少氮氧化物的产生而改善燃料，配合改善的燃料，改善燃烧护内部燃烧结构的废气焚烧用燃烧器。
技术介绍
在半导体或显示器制造工序等中排放的废气，特别是SiH4,DCS,NH3,F2,NF3等的毒性、易爆性及腐蚀性强，不仅对人体有害，若不净化而直接排放到大气中，将引发严重的环境污染。对于如上所述的废气，在法律上规制有害成分的含量不超过许可浓度，需要经过无害化处理过程后排放到大气中。上述废气的无害化处理采用燃烧方式、湿化方式、吸附方式、冷却方式、触媒方式等多种气体洗涤装置。其中，燃烧方式一般为用加热器及点火方式的燃烧器器将废气进行无害化的处理方式。现有的燃烧用燃烧器采用如下方式：使用空气导入口，将反应用空气供给到最上流的燃烧区域之后混合燃料气体与空气,使用废气导入口向下流的燃烧区域供给废气。废气随着火焰的流动方向只集中供给至火焰带(Flamezone)中央而产生喷焰(Blowout)，具有降低火焰稳定性(Flamestability)的问题。由于燃料气体、空气及废气的混合不顺畅，燃料气体的自燃(Self-本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，其特征在于，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；以及一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

【技术特征摘要】
2019.05.16 KR 10-2019-00572661.一种废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，其特征在于，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；以及一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。2.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，包括火花塞，所述火花塞与所述燃烧器主体的侧面连通且配置于所述喷嘴机构的后端。3.如权利要求2所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述喷嘴机构包括：缓冲喷嘴机构，设置在所述燃料气体供给管的后端及所述氧化剂供给管的前端；及主喷嘴机构，设置于所述氧化剂供给管的后端及所述火花塞的前端。4.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴分别为在所述燃料气体通过的所述燃烧器主体内部配置的甜甜圈形态，在甜甜圈周边部设有多个贯通孔。5.如权利要求4所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴，从中心向放射方向以多个同心圆形态形成所述多个贯通孔，所述贯通孔的直径从中心越向放射方向外侧面越大。6.如权利要求5所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，以所述多个同心圆形态形成的贯通孔直径为在其紧邻外侧以同心圆形态形成的贯通孔直径的0.1至0.5倍。7.如权利要求4所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴的所述多个贯通孔中有至少一对以上的如下的贯通孔：相对于彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔中心之间的距离(S)，所述彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔直径(D)的比(S/D)为1至5。8.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，包括：第一紫外线传感器，形成于所述燃烧器主体的长度方向末端；第一紫外线传感器管道，用于所述第一紫外线传感器的检测，从所述燃烧器主体内...

【专利技术属性】
技术研发人员：林栽范，金在焕，韩在植，李尚埈，郑在允，
申请(专利权)人：全球标准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR