废气焚烧用燃烧器制造技术

本发明专利技术涉及废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，包括：燃烧器主体(120)，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管(130)，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管(131)，追加供给第二氧化剂；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

Burner for waste gas incineration

【技术实现步骤摘要】
废气焚烧用燃烧器
本申请专利技术涉及焚烧废气的腔中使用的废气焚烧用燃烧器，具体地涉及为了减少氮氧化物的产生而改善燃料，配合改善的燃料，改善燃烧护内部燃烧结构的废气焚烧用燃烧器。
技术介绍
在半导体或显示器制造工序等中排放的废气，特别是SiH4,DCS,NH3,F2,NF3等的毒性、易爆性及腐蚀性强，不仅对人体有害，若不净化而直接排放到大气中，将引发严重的环境污染。对于如上所述的废气，在法律上规制有害成分的含量不超过许可浓度，需要经过无害化处理过程后排放到大气中。上述废气的无害化处理采用燃烧方式、湿化方式、吸附方式、冷却方式、触媒方式等多种气体洗涤装置。其中，燃烧方式一般为用加热器及点火方式的燃烧器器将废气进行无害化的处理方式。现有的燃烧用燃烧器采用如下方式：使用空气导入口，将反应用空气供给到最上流的燃烧区域之后混合燃料气体与空气,使用废气导入口向下流的燃烧区域供给废气。废气随着火焰的流动方向只集中供给至火焰带(Flamezone)中央而产生喷焰(Blowout)，具有降低火焰稳定性(Flamestability)的问题。由于燃料气体、空气及废气的混合不顺畅，燃料气体的自燃(Self-ignition)、火焰传播(Flamepropagation)等导致燃烧特性下降，进而燃烧温度的上升困难，发生废气的不完全燃烧，从而存在处理效率下降的问题。在燃烧器周边为由诸如尼龙高分子物质包围的结构时，由于燃烧时产生1000℃以上的高温，具有所述高分子物质融化等严重的问题。为了解决火焰稳定性等问题，推荐使用纯氧，但是，最近却提出纯氧造成燃烧温度过高的问题。这是由于要减少氮氧化物的产生反而需要降低燃烧温度，所述氮氧化物是霾的前驱体。要降低燃烧温度，就需要变更燃料的种类或流体的供给量。可以最稳定地使用的方法是用压缩空气代替纯氧。使用压缩空气时可以降低燃烧温度，但是具有无法稳定地营造火焰的问题。从工程学观点，需要一种非常精密的焚烧用燃烧器，既克服废气的火焰消尽的严重的状况，又尽可能降低燃烧温度，但是目前为止未能提出有效的解决方案。专利文献1公开了一种工序废气燃烧用气体燃烧器，包括：燃烧器主体，具有截面积向燃烧室逐级扩张的多级燃烧区域；化油器，设置成可向所述燃烧区域中最上流的燃烧区域供给燃料气体和空气的混合气体；及点火机构，设置成可使供给到所述最上流的燃烧区域的所述混合气体点火；在所述最上流的燃烧区域连通了供给反应用空气的多个空气导入口，在与所述最上流的燃烧区域连续的下流的燃烧区域连通了供给废气的多个废气导入口。专利文献1的结构为空气和燃料气体的混合气体喷射到燃烧器主体的上流燃烧区域，喷射到上流燃烧区域的混合气体被火花塞的火花点火燃烧，在混合气体的流动弱的情况下，具有点火的火焰向燃烧器主体的方向逆流的问题。专利文献2公开了一种废气燃烧用燃烧器，包括：喷嘴部，具备流入毒性废气的至少一个废气流入部和与所述废气流入部连接的废气流出口，气体流入口及触媒流入口与所述废气流出口连接，以便从形成于一侧的所述气体流入口及所述触媒流入口接受废气燃烧用气体及触媒后与所述废气混合而生成混合气体；燃烧部，安装于所述喷嘴部以便与所述废气流出口相通，将从所述废气流出口流出的所述混合气体点火使其燃烧；及冷却清洗部，具备喷射冷媒的至少一个以上的喷嘴，以便对燃烧后从所述燃烧部流出的高温的燃烧气体进行冷却，去除含在所述燃烧气体中的水溶性气体，同时清洗在所述燃烧部生成的燃烧残渣。专利文献2的结构为火花塞设置于燃烧腔的一侧，燃烧用气体的流速弱的情况下，无法解决火焰向喷嘴部方向形成的问题。专利文献3公开了一种布朗气(browngas)燃烧器，包括：流入管，流入布朗气；壳体，在前端部形成有插入槽；气体流路，所述气体流路在所述壳体的中央沿着长度方向形成，且从所述流入管流入的布朗气通过该气体流入而经由前端侧的气体流出口流出；主体，所述主体包括在所述气体流路的外侧沿着长度方向形成的水冷式或空冷式的冷却流路；连接器，所述连接器连接所述流入管和主体且具有流入孔及排出孔，所述流入孔与所述冷却流路连接且流入用于冷却的水或空气，所述排出孔向外部排出冷却所使用的水或空气；及气体排出管，插入结合于所述插入槽且覆盖所述主体的前端部，具有直径小于所述气体流出口的内径且形成有排出布朗气的气体排出路；固定片，连接于所述气体排出管的后端部，并固定于所述插入槽的内周面，在内部孔插入连接所述气体流路的前端部；轮圈部，连接在所述气体排出管的前端部且向外侧放大形成；及用于防止逆火的盖子，包括火口的盖子，所述火口在所述轮圈的内部凹入形成，内壁面圆形凹陷形成。但是，专利文献3完全没有公开可以确认点火与否的传感器等的结构及位置。另一方面，所有专利文献均完全没有考虑在燃烧条件不稳定的状态下(用压缩空气代替纯氧等情况)，火焰也不消失而能够稳定运行的技术。因此，需要准备如下的将废气燃烧去除的燃烧器的技术解决方案：完全杜绝火焰逆流，改善起火检测性能，防止燃烧器的入口被废气堵住，在为了减少氮氧化物的产生而降低燃烧温度的状态下，火焰也不消失，可以稳定运行。在先技术文献专利文献专利文献0001：韩国公开专利公报第2004-0032262号专利文献0002：韩国注册专利公报第0666673号专利文献0003：韩国注册专利公报第1572225号
技术实现思路
所要解决的课题本专利技术是为了解决上述的问题而提出的，其目的在于，提供一种废气焚烧用燃烧器，在该废气焚烧用燃烧器中，变更对用于燃烧废气的燃料气体进行点火的火花塞的位置，在燃烧器主体的内部结构设置内径不同的2种以上的喷嘴，不仅可以防止燃料气体的火焰方向逆流，提高检测起火与否的性能，在为了减少氮氧化物的产生而降低燃烧温度的状态下，火焰也不消失，可以稳定地运行。课题解决方案为了实现上述目的，本专利技术的废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体120，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管130，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管131，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。另外，可以包括火花塞，所述火花塞与所述燃烧器主体的侧面连通且配置于所述喷嘴机构的后端。所述喷嘴机构包括：缓冲喷嘴机构，设置在所述燃料气体供给管的后端及所述氧化剂供给管的前端；及主喷嘴机构，设置于所述氧化剂供给管的后端及所述火花塞的前端。所述2种以上的喷嘴分别为在所述燃料气体通过的所述燃烧器主体内部配置的甜甜圈形态，在甜甜圈周边部设有多个贯通孔。所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴，从中心向放射方向以多个同心圆形态形成所述多个贯通孔，所述贯通孔的直径从中心越向放射方向外侧面越大。以所述多个同心圆形态形成的贯通孔直径为其外侧以同心圆形态形成的贯通孔直径的0.1至0.5倍。所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴的所述多个贯通孔中有至少一对以上的如下的贯通孔：相对于彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔中心之间的距离(S)，所述彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔直径(D)的比(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，其特征在于，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；以及一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

【技术特征摘要】
2019.05.16 KR 10-2019-00572661.一种废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，其特征在于，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；以及一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。2.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，包括火花塞，所述火花塞与所述燃烧器主体的侧面连通且配置于所述喷嘴机构的后端。3.如权利要求2所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述喷嘴机构包括：缓冲喷嘴机构，设置在所述燃料气体供给管的后端及所述氧化剂供给管的前端；及主喷嘴机构，设置于所述氧化剂供给管的后端及所述火花塞的前端。4.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴分别为在所述燃料气体通过的所述燃烧器主体内部配置的甜甜圈形态，在甜甜圈周边部设有多个贯通孔。5.如权利要求4所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴，从中心向放射方向以多个同心圆形态形成所述多个贯通孔，所述贯通孔的直径从中心越向放射方向外侧面越大。6.如权利要求5所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，以所述多个同心圆形态形成的贯通孔直径为在其紧邻外侧以同心圆形态形成的贯通孔直径的0.1至0.5倍。7.如权利要求4所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴的所述多个贯通孔中有至少一对以上的如下的贯通孔：相对于彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔中心之间的距离(S)，所述彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔直径(D)的比(S/D)为1至5。8.如权利要求1所述的废气焚烧用燃烧器，其特征在于，包括：第一紫外线传感器，形成于所述燃烧器主体的长度方向末端；第一紫外线传感器管道，用于所述第一紫外线传感器的检测，从所述燃烧器主体内...

【专利技术属性】
技术研发人员：林栽范，金在焕，韩在植，李尚埈，郑在允，
申请(专利权)人：全球标准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR