【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种真空设备之联轴节，适合在真空腔内移动样品使用。目前，在真空设备中，样品的移动大都采用磁力装置，利用封密的真空腔内与外部空间采有磁力传动，真空腔外因磁场方向的变化，相应利用磁感应原理，以达到真空腔内物品的移动，通常都是采用波纹管与真空系统的软联接，通过波纹管的移动来达到真空腔物品的移动，这种软联接的固定与调整通常以3个或4个螺杆来定位或调整，其不足之处是定位精度低，调整不便，往往给工作带来困难。为解决以上真空设备联接之不足，本技术的目的提供一种高精度活节，利用波纹管内使用双列向心球面球轴承，有效地达到了提高定心精度和调整方便的目的。本技术之结构设计是这样实现的该高精度活节上面两侧为法兰盘，与真空设备直接联接，在两法兰中间装有接管，接管的下方为内环支座，内环支座下面波纹管，其特点是在波纹管内装有双列向心球面球轴承，轴承与接管之间装有孔用挡圈，轴承与内环支座之间装有轴用挡圈(如附图说明图1所示)。本技术之优点结构简单，波纹管装有双列向心球面球轴承后，大大提高了定心精度，调整极为方便。本技术的结构由以下实施例及附图给出。附图1为高精度活节结构原理图。其结构由附图所示，1为内环支座，2为轴用挡圈，3为双列向心球面球轴承，4为接管，5、6为法兰盘，7为孔用挡圈，8为沉头螺钉，9为波纹管。联接是波纹管通过双列向心球面球轴承与接管联接，由于球面轴承特点，所以定心精度高，能方便的在±3°范围内摆动，本高精度活节在多对向靶磁控设备上以及在激光溅射制备系统中得到广泛的应用。权利要求1．一种高精度活节，其特征在于该高精度活节上面两侧为法兰盘(5)(6)，与真空...
【技术保护点】
一种高精度活节，其特征在于该高精度活节上面两侧为法兰盘（５）（６），与真空设备直接联接，在两法兰中间装有接管（４），接管（４）的下方为内环支座（１），内环支座（１）下面波纹管（９），其特点是在波纹管（９）内装有双列向心球面球轴承（３），轴承（３）与接管（４）之间装有孔用挡圈（７），轴承（３）与内环支座（１）之间装有轴用挡圈（２）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文符，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]
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