一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了生产装置解毒技术领域的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体，生产装置本体的左侧内腔设置有压力传感器，生产装置本体的左侧壁设置有解毒开关，生产装置本体与解毒装置之间设置有排泄管道，水箱的内腔设置有水泵；本实用新型专利技术通过在生产装置与解毒中间设置了连接管，在需要解毒的时候防止释放的蒸汽损失，可以边解毒边将泄出去的热气再回收到生产装置的内部，将解毒时释放蒸汽中的毒气回收利用，在生产装置与解毒中间还设置有排泄管道，在发生意外或者需要清理生产装置的时候及时将热气泄出，减少了安全损失，使用方便，便于大规模推广使用。

A Detoxification Device for Toxic Gas Emission in Semiconductor Production

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置
本技术公开了一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，具体为生产装置解毒

技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，半导体的分类，按照其制造技术可以分为：集成电路器件，分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类，一般来说这些还会被分成小类。此外还有以应用领域、设计方法等进行分类，虽然不常用，单还是按照IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其规模进行分类的方法。此外，还有按照其所处理的信号，可以分成模拟、数字、模拟数字混成及功能进行分类的方法。在商业应用上最具有影响力的一种。依然存在大量的不稳定性，通常为防止生产装置内气体压力过大产生爆炸，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体(1)，其特征在于：所述生产装置本体(1)的左侧内腔设置有压力传感器(14)，所述生产装置本体(1)的左侧壁设置有解毒开关(13)，所述生产装置本体(1)的底部设置有两组滚轮(12)，所述生产装置本体(1)的顶部通过连接管(2)与解毒装置(7)的顶部连接，所述生产装置本体(1)与解毒装置(7)之间设置有排泄管道(10)，所述排泄管道(10)的一端与生产装置本体(1)连接，且排泄管道(10)贯穿解毒装置(7)的内腔另一端与排气喷头(4)连接，所述解毒装置(7)的底部设置有水箱(9)，所述水箱(9)的内腔设置有水泵(8)，所述解毒装置...

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体(1)，其特征在于：所述生产装置本体(1)的左侧内腔设置有压力传感器(14)，所述生产装置本体(1)的左侧壁设置有解毒开关(13)，所述生产装置本体(1)的底部设置有两组滚轮(12)，所述生产装置本体(1)的顶部通过连接管(2)与解毒装置(7)的顶部连接，所述生产装置本体(1)与解毒装置(7)之间设置有排泄管道(10)，所述排泄管道(10)的一端与生产装置本体(1)连接，且排泄管道(10)贯穿解毒装置(7)的内腔另一端与排气喷头(4)连接，所述解毒装置(7)的底部设置有水箱(9)，所述水箱(9)的内腔设置有水泵(8)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军，俞利群，俞云琪，
申请(专利权)人：大连八方流体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21