扩散炉尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种扩散炉尾气处理装置，包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体冷却装置内通有冷却液，扩散炉尾气管输出管道设置于气体冷却装置上；所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器；所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次设置且一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器内腔相通；所述的一级过滤器和三级过滤器内部均内部填充玻璃珠；所述的二级过滤器内部填充水或尾气吸收液；所述三级过滤器连接尾气排放管。本实用新型专利技术设备结构简单，能有效避免尾气管堵塞、腐蚀；从而避免因偏磷酸等导致的尾气管断裂、接头黏连；降低了维护周期，提升了设备使用率。

Diffusion Furnace Tail Gas Processing Unit

【技术实现步骤摘要】
扩散炉尾气处理装置
本技术涉及太阳能电池
，尤其是一种扩散炉尾气处理装置。
技术介绍
晶硅太阳能电池具有良好的工艺稳定性以及成熟的工艺流程，已经大规模应用于能源行业，在晶硅太阳能电池制作过程中最核心的工艺是PN结制作，即扩散工艺，硅片在扩散炉管内通入POCL3、BCL3等气体，反应使相应的掺杂杂质沉积在硅片表面形成PN结，在反应过程中会产生一些副产物，需要从尾气管排出，进入废气塔处理。但是现有技术中尾气在排出时未能完全冷却且尾气排出装置对硼扩产生的氧化硼或者磷扩产生的偏磷酸等没有很好的去除，容易造成尾气管堵塞以及对整个尾气管，包括真空泵的腐蚀，甚至积液造成尾气管断裂和接头黏连，在硼扩散中表现的尤其明显，发生以上情况时需要将尾气管部分拆下清洗，严重影响设备的使用率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种扩散炉尾气处理装置，能够很好的去除炉管内反应产生的副产物，防止反应副产物堵塞尾气管以及对尾气管、真空泵的腐蚀，延长尾气管的维护周期，提高设备使用率。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉尾气处理装置，包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉尾气处理装置，其特征在于：包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体冷却装置内通有冷却液，扩散炉尾气管输出管道设置于气体冷却装置上；所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器；所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次设置且一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器内腔相通；所述的一级过滤器和三级过滤器内部均内部填充玻璃珠；所述的二级过滤器内部填充水或尾气吸收液；所述三级过滤器连接尾气排放管。

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉尾气处理装置，其特征在于：包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体冷却装置内通有冷却液，扩散炉尾气管输出管道设置于气体冷却装置上；所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器；所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次设置且一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器内腔相通；所述的一级过滤器和三级过滤器内部均内部填充玻璃珠；所述的二级过滤器内部填充水或尾气吸收液；所述三级过滤器连接尾气排放管。2.如权利要求1所述的扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘斌，黄辉巍，杨三川，
申请(专利权)人：江苏顺风新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32