一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构制造技术

技术编号:36342238 阅读:77 留言:0更新日期:2023-01-14 17:55
本实用新型专利技术公开了一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构,其技术方案要点是:包括石英炉管,所述石英炉管的内部设置有两个陶瓷杆支撑架,两个所述陶瓷杆支撑架位于同一水平面上;加固组件,所述加固组件设置在所述陶瓷杆支撑架的外圆壁面上,用于增加所述陶瓷杆支撑架的使用寿命,通过设置陶瓷杆支撑架制成为石墨舟使用,通过石英炉管为镀膜提供低压稳定的空间,通过不锈钢套环固定在石墨舟舟脚和陶瓷杆支撑架的连接部位,对陶瓷杆支撑架进行加固,石墨舟落舟将落在不锈钢套环上面,不锈钢套环和陶瓷杆支撑架上的接触面积相比石墨舟舟脚和陶瓷杆支撑架的接触面积大大增加,从而极大增加陶瓷杆支撑架的使用寿命。从而极大增加陶瓷杆支撑架的使用寿命。从而极大增加陶瓷杆支撑架的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构


[0001]本技术涉及石墨舟
,具体涉及一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构。

技术介绍

[0002]晶硅太阳能电池片制作工艺主要分为制绒、扩散、选择性发射极、刻蚀、氧化铝、正背膜钝化、丝网印刷、抗光衰、测试等步骤,正背膜钝化工艺主要目的是在太阳能电池的表面制备一层氮化硅/氮氧化硅薄膜,由于电池平原料硅片切割会使表面出现悬挂键,表面悬挂键反映在能带空间中就是在带隙中形成一定数量的陷阱能级,这些陷阱能级呈一定的分布,不同深度的陷阱能级所能引起的载流子复合的概率不同,这些表面能级还会带有正电或者负电,因此对于运动到表面的非平衡电子或者空穴有吸引和排斥作用,对于表面而言,钝化的目的就是尽量减少这些表面缺陷所能引起的非平衡载流子(通常是少数载流子)的复合。
[0003]正膜钝化层主要具有表面钝化和减反射的作用、背面镀膜主要具有钝化作用,目前业界主流采用的方法是等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术,其中以管式直接法最为普遍,如图管式低频直接法PECVD设备内部构造图,采用电阻式加热将腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构,其特征在于,包括:石英炉管(1),所述石英炉管(1)的内部设置有两个陶瓷杆支撑架(3),两个所述陶瓷杆支撑架(3)位于同一水平面上;加固组件,所述加固组件设置在所述陶瓷杆支撑架(3)的外圆壁面上,用于增加所述陶瓷杆支撑架(3)的使用寿命。2.根据权利要求1所述的一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构,其特征在于,所述加固组件包括:若干个不锈钢套环(4),若干个所述不锈钢套环(4)分别活动套设在两个所述陶瓷杆支撑架(3)外圆壁面上,所述不锈钢套环(4)与所述陶瓷杆支撑架(3)的连接处固定套设有不锈钢卡扣(2)。3.根据权利要求1所述的一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构,其特征在于,所述石英炉管(...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘超黄辉巍陈正飞陆宁王军昭
申请(专利权)人:江苏顺风新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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