【技术实现步骤摘要】
转印装置及其制造方法
本公开涉及柔性电子
,尤其涉及一种转印装置及其制造方法。
技术介绍
随着柔性电子技术的迅速发展,涌现出诸多类型的柔性电子器件,如柔性传感器、柔性显示屏、人造电子皮肤和多样的可穿戴电子产品等。其中,用于健康监测和医疗的可穿戴电子设备已经具备了万亿级市场。可穿戴电子设备能够贴合人体皮肤的柔软曲面的生物特征,对人体生理信号进行更为精准和连续的监测。作为柔性电子
中广泛使用的转印印刷技术,它可以将功能性部件与柔性衬底集成在一起,形成柔性电子器件。所谓转印印刷,就是一种将微纳材料集成为空间有序的二维或三维功能模块的一种技术,其可以应用于一些异质不均匀的高性能集成功能性系统的制备,如柔性光/电子器件、三维或曲面光/电子器件、生物相容性的探测与测量设备。这种技术能够行之有效地将不同种类、独立制备的离散元件进行大规模集成,进而形成空间有序的功能系统。相关技术中,使用转印印章实现转印,利用印章与待转印部件之间、待转印部件与受主基底之间的界面粘附力实现待转印部件的转印,界面粘附力的大小难以调节、转印成本高、精度低的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本公开提 ...
【技术保护点】
1.一种转印装置,其特征在于,所述装置包括:电介质层、多个转印吸附部件、绝缘填充层和可拉伸层,每个转印吸附部件包括正极电极引线、负极电极引线、正极电极和负极电极,所述正极电极引线与所述正极电极连接,所述负极电极引线与所述负极电极连接,所述正极电极和所述负极电极设置于所述绝缘填充层中、且所述正极电极和所述负极电极之间被所述绝缘填充层中绝缘填充物分隔;所述可拉伸层位于所述绝缘填充层上方,所述正极电极引线和所述负极电极引线位于所述绝缘填充层和所述可拉伸层中、并延伸出所述可拉伸层;所述电介质层位于所述绝缘填充层的下方,覆盖所述绝缘填充层,用于与承载有至少一个待转印部件的施主基底接触 ...
【技术特征摘要】
1.一种转印装置,其特征在于,所述装置包括:电介质层、多个转印吸附部件、绝缘填充层和可拉伸层,每个转印吸附部件包括正极电极引线、负极电极引线、正极电极和负极电极,所述正极电极引线与所述正极电极连接,所述负极电极引线与所述负极电极连接,所述正极电极和所述负极电极设置于所述绝缘填充层中、且所述正极电极和所述负极电极之间被所述绝缘填充层中绝缘填充物分隔;所述可拉伸层位于所述绝缘填充层上方,所述正极电极引线和所述负极电极引线位于所述绝缘填充层和所述可拉伸层中、并延伸出所述可拉伸层;所述电介质层位于所述绝缘填充层的下方,覆盖所述绝缘填充层,用于与承载有至少一个待转印部件的施主基底接触,每个待转印部件所在位置与所述转印吸附部件中的一个或多个相对应;所述多个转印吸附部件中的一个或多个通电后,通电后的转印吸附部件产生静电吸附力,并利用所述静电吸附力与位置相对应的待转印部件吸附在一起,以便于控制所述装置将被吸附的待转印部件从所述施主基底上脱离。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述正极电极和所述负极电极具备预设的电极图案,所述正极电极和所述负极电极构成静电吸附吸盘,在通电时产生静电吸附力,其中,所述电极图案的形状包括环形、螺旋形、蛇形中的任一种。3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述正极电极引线与所述正极电极为一体结构,所述负极电极引线与所述负极电极为一体结构。4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述正极电极引线与所述正极电极之间通过导电银胶连接在一起,所述负极电极引线与所述负极电极之间通过导电银胶连接在一起。5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:转印控制模块,与每个转印吸附部件的正极电极引线、负极电极引线连接,用于根据转印信息向所述多个转印吸附部件中至少一个供电,其中,所述转印信息用于指示所述多个转印吸附部件的通电或断电需求。6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,转印控制模块,还用于在确定被吸附的待转印部件已准确放置于受主基底的目标转印位置时,停止对需要转印至所述受主基底的被吸附的待转印部件所对应的转印吸附部件进行供电,以便于将被吸附的待转印部件由于对应的转印...
【专利技术属性】
技术研发人员:张一慧,庞文博,程旭,张帆,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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