【技术实现步骤摘要】
一种新型辅助阳极的水冷却系统
本技术属于表面处理
，较为具体的，涉及到一种新型辅助阳极。
技术介绍
在真空腔室内对工件进行真空镀膜之前，需要去除工件表面的杂气、水气及氧化的杂质等，该过程称之为刻蚀。真空镀膜设备中辅助阳极在腔体底部，灯丝在腔体顶部，在做氩气刻蚀的时候灯丝发出无数的电子，电子是带负电的，辅助阳极带正电。在辅助阳极和灯丝之间充入氩气，通电后形成一个回路，这样氩气正离子会对工件的表面进行撞击，去除工件表面的杂质。辅助阳极的材料为金属铜，为了避免在氩气刻蚀的过程中辅助阳极的温度过高引起金属铜材质的辅助阳极变形，影像刻蚀效果，需要才用到冷却系统，具体的如图1所示，目前的辅助阳极的水冷却系统包括梯形阳极板1、水管3、进水管21和出水管22，其中梯形阳极板的底面焊接水管3，在水管3的一端焊接进水管21，在水管3的另外一端焊接出水管22，采用这种水冷却系统有以下缺陷：第一，因为水管3只有一小圈焊接在梯形阳极板的底部，所以其实该水冷却系统对整个梯形阳极板的冷却效果并不是特别好；第二，进水管21、出水管22与水管3之间的连接是采用焊接工艺完成的，水管3与梯形阳极...
【技术保护点】
1.一种新型辅助阳极的水冷却系统，其特征在于：其包括：椭圆形铜块(5)，椭圆形铜块(5)内部有容置腔室(4)，椭圆形铜块(5)的下表面上设有两个通孔，可以连接到容置腔室(4)，且其中一个通孔与进水管(21)连接，另外一个通孔与出水管(22)连接，且椭圆形铜块(5)与进水管(21)和出水管(22)通过整体压铸的工艺制备而成。
【技术特征摘要】
1.一种新型辅助阳极的水冷却系统，其特征在于：其包括：椭圆形铜块(5)，椭圆形铜块(5)内部有容置腔室(4)，椭圆形铜块(5)的下表面上设有两个通孔，可以连接到容置腔室(4)，且其中一个通孔与进水管(21)连接，另外一个通孔与出水管(22)连接，且椭圆形铜块(5)与进水管(21)和出水管(22)通过整体压铸的工艺制备而成...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓永琪，吴伟亮，梁海洋，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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