【技术实现步骤摘要】
一种光波导回路上的二维聚焦转向镜
本专利技术涉及一种光波导，具体为一种光波导回路上的二维聚焦转向镜。
技术介绍
在光波导中，传输在光波导中的光经常需要转向到波导表面来提取光信号，从光波导离开的光通常会被诸如光电探测器、光纤或其他结构接收。目前采用的方法是应用转向镜结构。转向镜结构为一种集成光学的镜结构，可将水平方向波导输出的光反射到垂直方向。光从垂直方向输出后，通常由光电探测器或光纤捕获接收。该转向镜通过众所周知的方法——灰度光刻和刻蚀将结构刻蚀在光波导上。灰度刻蚀表面通常为线性斜坡平面，如图1和图2所示。一旦光信号离开光波导，光斑将会随着离开光波导的距离分散扩大。同时传播的光随着出光口距离的增加光斑尺寸也会不断的增加。而光电探测器和光纤的孔径是有限的，如果光斑在光电探测器和光纤接收前尺寸过大，信号能量将会大量的损失。因此光电探测器、光纤等接收结构，必须放在足够接近光波导表面的位置来接收全部的光信号，从而引起插入损耗。更糟的是，扩散的光场会呈现一个弯曲的相位波前，这样不利于被其他导波器件接收，例如单模光纤。为了减缓衍射分散的光信号，如图3所示，通常可将透镜放在光波...
【技术保护点】
1.一种光波导回路上的二维聚焦转向镜，所述光波导包括芯层(6)及位于芯层外围的包层(5)；其特征在于：包括刻蚀在光波导上的第一凹槽(1)；定义：第一凹槽中光信号首先经过的面为第一聚焦面(4)，与第一聚焦面相对的面为第二聚焦面(2)；所述第一聚焦面(4)对光波导内传输的光信号进行初次聚焦；所述第二聚焦面(2)形成转向镜，反射第一聚焦面的出射光信号至光信号接收器件，并对经过第一聚焦面聚焦的光信号进行再次聚焦；初次聚焦与再次聚焦对光信号进行二维聚焦转向。
【技术特征摘要】
1.一种光波导回路上的二维聚焦转向镜，所述光波导包括芯层(6)及位于芯层外围的包层(5)；其特征在于：包括刻蚀在光波导上的第一凹槽(1)；定义：第一凹槽中光信号首先经过的面为第一聚焦面(4)，与第一聚焦面相对的面为第二聚焦面(2)；所述第一聚焦面(4)对光波导内传输的光信号进行初次聚焦；所述第二聚焦面(2)形成转向镜，反射第一聚焦面的出射光信号至光信号接收器件，并对经过第一聚焦面聚焦的光信号进行再次聚焦；初次聚焦与再次聚焦对光信号进行二维聚焦转向。2.根据权利要求1所述的光波导回路上的二维聚焦转向镜，其特征在于：定义光信号在光波导内的传输方向为x方向；波导顶部所在平面为水平面即xz平面；所述第一聚焦面(4)沿x方向对光波导内传输的光信号进行初次聚焦；所述第二聚焦面(2)沿y方向对经过第一聚焦面聚焦的光信号进行再次聚焦。3.根据权利要求1所述的光波导回路上的二维聚焦转向镜，其特征在于：所述第一聚焦面(4)的中心轴与光波导不同轴，使得初次聚焦后，从第一聚焦面的出射光束传播方向与x方向之间有夹角，且出射光垂直入射至第二聚焦面；或所述第一聚焦面(4)的中心轴与光波导同轴，所述第二聚焦面绕y轴旋转一定角度，使得从第一聚焦面的出射光束以非垂直方式入射至第二聚焦面，再次聚焦后，从第二聚焦面的出射光束传播方向与y方向之间有夹角；或所述第一聚焦面(4)的中心轴与光波导不同轴，使得初次聚焦后，从第一聚焦面的出射光束传播方向与x方向之间有夹角，且第二聚焦面绕y轴旋转一定角度，使得从第一聚焦面的出射光束以非垂直方式入射至第二聚焦面，再次聚焦后，从第二聚焦面的出射光束传播方向与y方向之间有夹角。4.根据权利要求2或3所述的光波导回路上的二维聚焦转向镜，其特征在于：所述第一凹槽(1)的开口端贯穿光波导顶部，第一凹槽(1)的底部位于芯层下部；所述第一聚焦面为弧面，第二聚焦面为抛物面。5.根据权利要求4所述的光波导回路上的二维...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜炳政，布兰特·埃弗雷特·李特尔，
申请(专利权)人：宁波东立创芯光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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