一种温度控制系统及镀膜设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种温度控制系统及镀膜设备，所述温度控制系统包括温度控制腔室、加热装置、温度控制装置及匀热件；所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间；所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内还设置有可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述腔室和所述加热装置之间；所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。本实用新型专利技术提供的温度控制系统及镀膜设备解决了加热镀膜基板过程中出现的加热不均匀的问题，能够实现均匀的加热效果。

A Temperature Control System and Coating Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种温度控制系统及镀膜设备
本技术实施例涉及镀膜设备制造领域，尤其涉及一种温度控制系统及镀膜设备。
技术介绍
在镀膜设备中，例如铜铟镓硒CIGS真空共蒸发设备中，通常需要设置加热装置。CIGS真空共蒸发设备是一种真空镀膜设备，也是制作CIGS薄膜太阳能电池的关键设备。目前，CIGS薄膜太阳能电池是较为主流的太阳能电池，CIGS薄膜太阳能电池由铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池，是组成电池板的关键技术。CIGS真空共蒸发设备由多个真空腔室组成，一般为进片室、加热室、工艺室、冷却室和出片室等，其中在加热室和工艺室中均需要实现对基板的均匀加热。现有技术中通常会在腔室的中心设置加热装置，因为基板的尺寸较大，在加热过程中会出现加热不均匀的问题，容易导致基板产生裂痕。
技术实现思路
本技术实施例提供一种温度控制系统及镀膜设备，以解决加热镀膜基板过程中出现加热不均匀的问题。第一方面，本技术实施例提供一种温度控制系统，包括温度控制腔室、加热装置、温度控制装置及匀热件；所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间；所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内还设置有可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述加热装置下方；所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。可选的，所述匀热件为碳纤维板。可选的，所述温度控制装置包括：可编程逻辑控制器PLC；可控硅，所述可控硅与所述PLC和所述加热装置电连接。可选的，所述温度控制装置包括测温装置，所述测温装置包括：第一测温单元，所述第一测温单元用于测量所述镀膜基板的温度；第四测温单元，所述第四测温单元与所述PLC电连接，所述第四测温单元用于测量所述加热装置的温度以使所述PLC根据所述加热装置的温度控制所述加热装置的加热功率。第二方面，本技术实施例提供一种镀膜设备，包括本技术实施例所述的温度控制系统。可选的，所述镀膜设备为铜铟镓硒CIGS真空共蒸发设备。本技术实施例提供的温度控制系统，包括温度控制腔室、加热装置、温度控制装置及匀热件；所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间；所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内还设置有可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述加热装置下方；所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。本技术实施例解决了加热镀膜基板过程中出现加热不均匀的问题，能够实现均匀的加热效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的温度控制腔室的结构示意图；图2是本技术实施例提供的温度控制装置的结构示意图；图3是本技术实施例提供的加热装置的结构示意图；图4是本技术实施例提供的温度控制方法的流程示意图；其中图中：1-加热装置；2-第二加热组；3-第一加热组；4-第二加热件；5-第一加热件；6-温度控制腔室；7-镀膜基板；8-匀热件；9-第一测温单元；10-温度控制装置；11-PLC；12-第一可控硅；13-第二可控硅，14-第二测温单元；15-第三测温单元；16-断路器；17-熔断器；18-供电系统。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参照图1及图2所示，本技术实施例提供一种温度控制系统，包括温度控制腔室6、加热装置1、温度控制装置10及匀热件8；温度控制装置10与加热装置1电连接，温度控制装置10用于控制加热装置1的加热功率使加热装置1的温度位于第一预设温度区间；温度控制腔室6为镀膜设备的腔室，所述腔室内还设置有可移动的镀膜基板7，加热装置1设置于腔室6的上部，镀膜基板7设置于加热装置1下方；匀热件8设置于镀膜基板7与加热装置1之间。其中，参照图3所示，加热装置1可以包括：第一加热组3，所述第一加热组3包括N个第一加热件5，且所述N个第一加热件5沿所述第一加热件5轴向相垂直的方向并排设置；第二加热组2，第二加热组2包括M对第二加热件4，M对第二加热件4分别对称设置于第一加热组3的沿第一加热件5轴向方向的两端，且每对第二加热件4串联；其中，N为大于1的整数，M为整数。其中，第一加热件5可以是螺旋状的电阻丝，也可以是圆柱体结构的加热件，本技术实施例对此不进行限定。第二加热件4可以是螺旋状的电阻丝，也可以是圆柱体结构的加热件，本技术实施例对此不进行限定。通过第一加热组3和第二加热组2构成加热装置1，可以将加热区分为中心加热区和边缘加热区，第一加热组3对中心加热区进行加热，第二加热组2对边缘加热区进行加热，分别进行加热控制，能够进一步实现均匀的加热效果。优选的，N与M的值相等。优选的，N的值为13，M的值为13。可选的，第一加热件5的轴向方向与第二加热件4的轴向方向垂直。其中，中心加热区的第一加热件5沿所述第一加热件5轴向相垂直的方向并排设置，边缘加热区的第二加热件4的轴向垂直于第一加热件5的轴向布置，由于热量扩散是以加热件轴线方向成圆柱体扩散的，因此将两组加热件垂直布置，可以使得加热更为彻底充分，热扩散面积更为均匀，能够实现更为均匀的加热效果。可选的，在M大于1的情况下，M对第二加热件4沿第二加热件4的轴向方向依次并排设置。通过设置M对第二加热件4沿第二加热件4的轴向方向依次并排设置，使得第二加热件4围绕第一加热件5布置，能够同时实现中心加热区和边缘加热区的均匀加热。可选的，第一加热组3在第一方向上的总长度与第二加热组2在第一方向上的总长度相等，其中，第一方向为第二加热组2的轴向方向。通过设置第一加热组3和第二加热组2在第一方向上的总长度相等，使得整个加热区域都布置有加热件，能够实现更为均匀的加热效果。其中，腔室6可以为长方形的腔室，腔室6的长度可以与第一加热组3在第一方向上的总长度相同，腔室6的宽度可以与第一加热件5轴向方向的长度和一对第二加热件4在第一加热件5轴向方向的长度的总和相等。通过在温度控制腔室6内设置具备有均匀加热效果的加热装置1，能够进一步实现对腔室6的均匀加热。其中，镀膜基板7可以沿第一加热件5轴向垂直的方向上可移动，镀膜基板7可以通过齿轮等传送装置沿第一加热件5轴向垂直的方向上进行移动。镀膜基板7可以为玻璃基板。加热装置1设置于腔室6的上部，具体的，所述腔室6可以设置有上盖，所述上盖位于腔体6的上方，用于密封所述腔室6，加热装置1可以设置于所述上盖的下方，所述镀膜基板7设置于加热装置1下方，具体的，镀膜基板7设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度控制系统，其特征在于，包括温度控制腔室、加热装置、温度控制装置及匀热件；所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间；所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内设置有可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述加热装置下方；所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。

【技术特征摘要】
1.一种温度控制系统，其特征在于，包括温度控制腔室、加热装置、温度控制装置及匀热件；所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间；所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内设置有可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述加热装置下方；所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。2.如权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述匀热件为碳纤维板。3.如权利要求2所述的温度控制系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：马静霞，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11