【技术实现步骤摘要】
一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备
本专利技术涉及芯片拾取设备领域，特别涉及一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备。
技术介绍
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小，为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片，此时,粘接在背面的保持带虽然被切入若干,但没有被切断,成为保持各半导体芯片的状态，接着,被切断的各半导体芯片通过芯片分拣机从保持带拾取,拾取过程中，芯片首先从晶圆上顶起，随后通过吸嘴吸附芯片表面，实现剥离并转移。现有技术的芯片拾取设备在使用的过程中，由于芯片拾取设备的功能单一，只能拾取大小相对应的芯片，造成了现有芯片拾取设备使用的局限性，不仅如此，在芯片生产的过程中，如果芯片上吸附有灰尘，将会对芯片的性能造成影响。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备，包括吸管和真空泵，所述吸管的一端与真空泵连接，还包括吸附机构和除尘机构，所述...
【技术保护点】
1.一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备，包括吸管(3)和真空泵(4)，所述吸管(3)的一端与真空泵(4)连接，其特征在于，还包括吸附机构和除尘机构，所述吸附机构设置在吸管(3)上，所述除尘机构设置在吸管(3)的内部；所述吸附机构包括升降套管(6)、气缸(2)、驱动组件、移动杆(7)、两个滑块(9)、至少两个吸嘴(12)和至少两个支撑组件，所述升降套管(6)与吸管(3)同轴设置，所述升降套管(6)套设在吸管(3)上，所述升降套管(6)与吸管(3)滑动连接，所述气缸(2)的轴线与吸管(3)的轴线平行，所述气缸(2)的缸体与吸管(3)的靠近真空泵(4)的一端固定连接，所述气...
【技术特征摘要】
1.一种具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备，包括吸管(3)和真空泵(4)，所述吸管(3)的一端与真空泵(4)连接，其特征在于，还包括吸附机构和除尘机构，所述吸附机构设置在吸管(3)上，所述除尘机构设置在吸管(3)的内部；所述吸附机构包括升降套管(6)、气缸(2)、驱动组件、移动杆(7)、两个滑块(9)、至少两个吸嘴(12)和至少两个支撑组件，所述升降套管(6)与吸管(3)同轴设置，所述升降套管(6)套设在吸管(3)上，所述升降套管(6)与吸管(3)滑动连接，所述气缸(2)的轴线与吸管(3)的轴线平行，所述气缸(2)的缸体与吸管(3)的靠近真空泵(4)的一端固定连接，所述气缸(2)的气杆的顶端与升降套管(6)固定连接，所述移动杆(7)与吸管(3)的轴线垂直，所述移动杆(7)设置在升降套管(6)的一侧，所述移动杆(7)上设有滑槽(8)，两个滑块(9)分别设置在升降套管(6)的靠近移动杆(7)的一侧的两端，两个滑块(9)所在的直线与移动杆(7)平行，所述滑块(9)与滑槽(8)匹配，所述滑块(9)设置在滑槽(8)的内部，所述滑块(9)与滑槽(8)滑动连接，所述驱动组件设置在升降套管(6)的靠近移动杆(7)的一侧，所述驱动组件与移动杆(7)连接，各吸嘴(12)排列设置在移动杆(7)的远离真空泵(4)的一侧，所述吸嘴(12)的数量与支撑组件的数量相等，所述吸嘴(12)与支撑组件一一对应，所述吸嘴(12)通过支撑组件与移动杆(7)连接，所述吸嘴(12)的靠近吸管(3)的一端设有与吸管(3)匹配的柱形凹口，所述吸嘴(12)的内部设有吸气孔，所述吸气孔与吸嘴(12)同轴设置；所述除尘机构包括支撑环(19)、滤网(20)、两个连接组件和至少两个顶杆(21)，所述支撑环(19)与吸管(3)同轴设置，所述支撑环(19)设置在吸管(3)的远离真空泵(4)的一端的内部，所述滤网(20)与吸管(3)的轴线垂直，所述滤网(20)设置在支撑环(19)的远离真空泵(4)的一侧，所述滤网(20)通过各连接组件与支撑环(19)连接，所述顶杆(21)与吸管(3)的轴线平行，所述顶杆(21)设置在吸嘴(12)的柱形凹口的底部的内壁上。2.如权利要求1所述的具有吸嘴更换功能的除尘型芯片拾取设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机(5)、齿轮(13)和齿条(1)，所述齿条(1)设置在移动杆(7)的靠近真空泵(4)的一侧，所述齿条(1)与移动杆(7)平行，所述电机(5)与升降套管(6)固定连接，所述电机(5)与齿轮(...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐宽宽，
申请(专利权)人：广州市加简派电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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