一种碳酰氟气体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳酰氟气体处理装置，清洗罐的左端下部设置有碳酰氟进气口，清洗罐在碳酰氟进气口附近设置有液位观察窗；清洗罐的右端下部设置有二氧化碳排气口，二氧化碳排气口与膜分离装置连接；清洗罐的顶部设置有进水管，清洗罐的底部中心设置有排液口，排液口与废液收集罐连接；清洗罐的内部上方从上到下共设置三层喷淋环，第一层喷淋环顶板接管与进水管连接，第一层喷淋环与第二层喷淋环之间、第二层喷淋环与第三层喷淋环之间均通过金属软管连接；任意一层喷淋环的内圈均设置有数根等距且平行布置的喷淋管，喷淋管的底部均设置有数个等距布置的喷淋头。本实用新型专利技术对氢氟酸废液自动排放、收集，通过分离膜技术对二氧化碳进行再利用。

A Carbonyl Fluoride Gas Processing Unit

【技术实现步骤摘要】
一种碳酰氟气体处理装置
本技术属于半导体加工
，涉及一种清洗半导体的碳酰氟气体，特别涉及一种碳酰氟气体处理装置。
技术介绍
半导体清洗工艺主要是去除硅片上的粒子和金属污染、有机物，在刻蚀、布线工序中的抗蚀剂去胶、去除化合物，以及CMP(化学机械抛光)后的清洗。半导体IC制程主要以离子注入、扩散、外延生长及光刻四项基础工艺为基础逐渐发展起来。由于集成电路内各元件及连线相当微细，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除了要排除外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行清洗工作。随着半导体技术的发展，硅表面污染物控制愈加严格，含氟清洗剂在半导体和电子工业清洗尤其是干法清洗中表现出了非常好的性能。含氟清洗剂沸点较低，常温下以气相存在，因此非常容易进行干法气相清洗。在全球电子气体市场上，氟系列占30％左右。碳酰氟又称碳基氟，氟光气，常温下是一种有刺激性的、非易燃的无色有毒气体。作为新一代工业半导体设备的清洗和刻蚀材料，碳酰氟具有极低的全球变暖潜能值(GWP≈1)，极低的破坏臭氧层潜能值(ODP＝0)，极低的大气寿命(＜1a)，是一种环境友好型电子气体。碳酰氟在工艺性能、环保性能、尾气处理及碳排放费用方面比三氟化氮均有一定优势。如何开发一种碳酰氟气体处理装置，如何对废气和废液进行收集再利用，成为急需解决的问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种碳酰氟气体处理装置，用于解决现有技术中存在的碳酰氟气体处理时偏于直接处理，对于废气和废液没有进行收集再利用的问题。为实现上述目的，本技术提供一种碳酰氟气体处理装置，包括清洗罐，清洗罐的圆弧顶通过法兰与罐体连接，其特征在于：所述的清洗罐的左端下部设置有碳酰氟进气口，清洗罐在碳酰氟进气口附近设置有液位观察窗；清洗罐的右端下部设置有二氧化碳排气口，二氧化碳排气口与膜分离装置连接；清洗罐的顶部设置有进水管，清洗罐的底部中心设置有排液口，排液口与废液收集罐连接；清洗罐的内部上方从上到下共设置三层喷淋环，清洗罐的内壁上设置有沉台，第一层喷淋环位于沉台顶部，第一层喷淋环顶板接管与进水管连接，第一层喷淋环与第二层喷淋环之间通过金属软管A连接，第二层喷淋环与第三层喷淋环之间通过金属软管B连接，任意一层喷淋环的内圈均设置有数根等距且平行布置的喷淋管，任意一根喷淋管的底部均设置有数个等距布置的接头，每个接头上均设置有喷淋头；第一层喷淋环的喷淋管为喷淋管A，第二层喷淋环的喷淋管为喷淋管B，第三层喷淋环的喷淋管为喷淋管C，其中喷淋管A与喷淋管B成直角布置；第一层喷淋环的顶部中心设置有固定座，固定座由底部圆板和顶部的四通接头组成，其中圆板通过四个均布的连接板与第一层喷淋环的内圈连接；四通接头的四个管出口均依次通过双头螺杆、顶压板与清洗罐的内壁接触，通过双头螺杆的旋转带动顶压板向第一层喷淋环的外圈移动。于本技术的一实施例中，所述的排液口排出氢氟酸废液，氢氟酸废液液面接近碳酰氟进气口时进行排液。于本技术的一实施例中，所述的喷淋管C与喷淋管A的夹角等于喷淋管C与喷淋管B的夹角。于本技术的一实施例中，所述的清洗罐内壁上设置有上下限液位开关，上下限液位开关通过与排液口的电磁开关阀电连接，实现了电磁开关阀的自动启闭。如上所述，本技术的一种碳酰氟气体处理装置，结构简单，能对碳酰氟气体进行多层次的喷淋冲洗，通过碳酰氟与水的充分接触，转化为二氧化碳和氢氟酸废液，通过对氢氟酸废液自动排放、收集，能对氢氟酸废液进行再利用；通过分离膜技术，将二氧化碳和混合气体中的其他组分透过膜材料的速度不同而实现二氧化碳与其它组分的分离，能对二氧化碳进行再利用；推广应用具有良好的经济效益和社会效益。附图说明图1为本技术的内部结构示意图。图2为本技术的三层喷淋环结构示意图。图中：1.清洗罐；2.喷淋环；3.固定座；4.双头螺杆；5.顶压板；201.喷淋管A；202.喷淋管B；203.喷淋管C。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1所示，本技术提供一种碳酰氟气体处理装置，包括清洗罐1，清洗罐1的圆弧顶通过法兰与罐体连接，其特征在于：所述的清洗罐1的左端下部设置有碳酰氟进气口，清洗罐1在碳酰氟进气口附近设置有液位观察窗；清洗罐1的右端下部设置有二氧化碳排气口，二氧化碳排气口与膜分离装置连接；清洗罐1的顶部设置有进水管，清洗罐1的底部中心设置有排液口，排液口与废液收集罐连接；二氧化碳排气口的水平面位置高度高于碳酰氟进气口的水平面位置高度；如图2所示，清洗罐1的内部上方从上到下共设置三层喷淋环2，清洗罐1的内壁上设置有沉台，第一层喷淋环位于沉台顶部，第一层喷淋环顶板接管与进水管连接，第一层喷淋环与第二层喷淋环之间通过金属软管A连接，第二层喷淋环与第三层喷淋环之间通过金属软管B连接，任意一层喷淋环2的内圈均设置有数根等距且平行布置的喷淋管，任意一根喷淋管的底部均设置有数个等距布置的接头，每个接头上均设置有喷淋头；第一层喷淋环的喷淋管为喷淋管A201，第二层喷淋环的喷淋管为喷淋管B202，第三层喷淋环的喷淋管为喷淋管C203，其中喷淋管A201与喷淋管B202成直角布置；第一层喷淋环的顶部中心设置有固定座3，固定座3由底部圆板和顶部的四通接头组成，其中圆板通过四个均布的连接板与第一层喷淋环的内圈连接；四通接头的四个管出口均依次通过双头螺杆4、顶压板5与清洗罐1的内壁接触，通过双头螺杆4的旋转带动顶压板5向第一层喷淋环的外圈移动；所述的排液口排出氢氟酸废液，氢氟酸废液液面接近碳酰氟进气口时进行排液；所述的喷淋管C203与喷淋管A201的夹角等于喷淋管C203与喷淋管B202的夹角；所述的清洗罐1内壁上设置有上下限液位开关，上下限液位开关通过与排液口的电磁开关阀电连接，实现了电磁开关阀的自动启闭。具体实施时，喷淋环2、喷淋管、接头、固定座3、双头螺杆4、顶压板5均采用不锈钢材质；双头螺杆4旋转带动顶压板5向第一层喷淋环的外圈移动后，顶压板5的底面位于沉台上，顶压板5的外圆弧面与清洗罐1的内壁压紧。综上所述，本技术提供一种碳酰氟气体处理装置，结构简单，能对碳酰氟气体进行多层次的喷淋冲洗，通过碳酰氟与水的充分接触，转化为二氧化碳和氢氟酸废液，通过对氢氟酸废液自动排放、收集，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳酰氟气体处理装置，包括清洗罐(1)，清洗罐(1)的圆弧顶通过法兰与罐体连接，其特征在于：所述的清洗罐(1)的左端下部设置有碳酰氟进气口，清洗罐(1)在碳酰氟进气口附近设置有液位观察窗；清洗罐(1)的右端下部设置有二氧化碳排气口，二氧化碳排气口与膜分离装置连接；清洗罐(1)的顶部设置有进水管，清洗罐(1)的底部中心设置有排液口，排液口与废液收集罐连接；清洗罐(1)的内部上方从上到下共设置三层喷淋环(2)，清洗罐(1)的内壁上设置有沉台，第一层喷淋环位于沉台顶部，第一层喷淋环顶板接管与进水管连接，第一层喷淋环与第二层喷淋环之间通过金属软管A连接，第二层喷淋环与第三层喷淋环之间通过金属软管B连接，任意一层喷淋环(2)的内圈均设置有数根等距且平行布置的喷淋管，任意一根喷淋管的底部均设置有数个等距布置的接头，每个接头上均设置有喷淋头；第一层喷淋环的喷淋管为喷淋管A(201)，第二层喷淋环的喷淋管为喷淋管B(202)，第三层喷淋环的喷淋管为喷淋管C(203)，其中喷淋管A(201)与喷淋管B(202)成直角布置；第一层喷淋环的顶部中心设置有固定座(3)，固定座(3)由底部圆板和顶部的四通接头组成，其中圆板通过四个均布的连接板与第一层喷淋环的内圈连接；四通接头的四个管出口均依次通过双头螺杆(4)、顶压板(5)与清洗罐(1)的内壁接触，通过双头螺杆(4)的旋转带动顶压板(5)向第一层喷淋环的外圈移动。...

【技术特征摘要】
1.一种碳酰氟气体处理装置，包括清洗罐(1)，清洗罐(1)的圆弧顶通过法兰与罐体连接，其特征在于：所述的清洗罐(1)的左端下部设置有碳酰氟进气口，清洗罐(1)在碳酰氟进气口附近设置有液位观察窗；清洗罐(1)的右端下部设置有二氧化碳排气口，二氧化碳排气口与膜分离装置连接；清洗罐(1)的顶部设置有进水管，清洗罐(1)的底部中心设置有排液口，排液口与废液收集罐连接；清洗罐(1)的内部上方从上到下共设置三层喷淋环(2)，清洗罐(1)的内壁上设置有沉台，第一层喷淋环位于沉台顶部，第一层喷淋环顶板接管与进水管连接，第一层喷淋环与第二层喷淋环之间通过金属软管A连接，第二层喷淋环与第三层喷淋环之间通过金属软管B连接，任意一层喷淋环(2)的内圈均设置有数根等距且平行布置的喷淋管，任意一根喷淋管的底部均设置有数个等距布置的接头，每个接头上均设置有喷淋头；第一层喷淋环的喷淋管为喷淋管A(201)，第二层喷淋环的喷淋管为喷淋管B(202)，第三层喷淋环的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐雄，
申请(专利权)人：上海更日敦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31