【技术实现步骤摘要】
离子检测器
本专利技术涉及具有电子倍增机构的多模式的离子检测器。
技术介绍
一直以来在ICP质量分析(ICP-MS：InductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry)等
利用了离子检测器。特别是，在应用于微量离子的检测的离子检测器中，为了将作为带电粒子的离子的检测量作为电信号进行检测而包括电子倍增机构，该电子倍增机构响应离子入射而产生二次电子，通过将产生的二次电子级联倍增到能够检测的电平，生成与离子量相应的电信号。其中，在ICP-MS装置中，为了能够在离子检测中实现超过9位数的广动态量程，设置有用于从级联倍增二次电子的电子倍增机构的任意的部位取出二次电子的多个输出端口(多模式输出)。作为这种多模式的离子检测器，例如，在专利文献1中公开了一种双模式的离子检测器，其中，电子倍增机构由20级以上的倍增极(dynode)构成，在该电子倍增机构的不同的位置设置有2个输出端口。专利文献1中公开的双模式的离子检测器的2个输出端口中的、在电子倍增率低的阶段取出电信号的输出端口被称为模拟端口(以下记作“模拟模式输出端子”，将来自该输出端子的信号...
【技术保护点】
1.一种离子检测器，其特征在于，具备：离子入射部；转换倍增极，其配置在经由所述离子入射部取入的离子要到达的位置，响应所述离子的入射而释放二次电子；倍增极单元，其由沿规定的电子倍增方向配置的多级的倍增极构成，用于将从所述转换倍增极释放的二次电子级联倍增；第1电子检测部，其配置在从所述倍增极单元中所含的最后级倍增极释放的二次电子要到达的位置，包括具有电子倍增功能的半导体检测器；第2电子检测部，其包括用于捕获到达构成所述倍增极单元的倍增极中的所述最后级倍增极以外的任意中间倍增极的二次电子的一部分的电极；和栅极部，其作为栅极电极至少包括所述最后级倍增极，通过调节所述栅极电极的设定电...
【技术特征摘要】
2018.02.22 JP 2018-0297571.一种离子检测器，其特征在于，具备：离子入射部；转换倍增极，其配置在经由所述离子入射部取入的离子要到达的位置，响应所述离子的入射而释放二次电子；倍增极单元，其由沿规定的电子倍增方向配置的多级的倍增极构成，用于将从所述转换倍增极释放的二次电子级联倍增；第1电子检测部，其配置在从所述倍增极单元中所含的最后级倍增极释放的二次电子要到达的位置，包括具有电子倍增功能的半导体检测器；第2电子检测部，其包括用于捕获到达构成所述倍增极单元的倍增极中的所述最后级倍增极以外的任意中间倍增极的二次电子的一部分的电极；和栅极部，其作为栅极电极至少包括所述最后级倍增极，通过调节所述栅极电极的设定电位来控制从所述中间倍增极向所述半导体检测器去的二次电子的通过和切断的切换。2.如权利要求1所述的离子检测器，其特征在于：所述第2电子...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林浩之，远藤刚志，守屋裕树，望月俊成，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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