一种硅片不良品升降剔除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片不良品升降剔除装置，包括硅片收集盒、皮带输送组件以及剔除气缸；所述剔除气缸的驱动轴通过连接板固定在皮带输送组件底部，通过剔除气缸驱动皮带输送组件上下移动；所述硅片收集盒位于皮带输送组件出料口的一侧，当皮带输送组件上升时，皮带输送组件出料口与硅片收集盒的进料口相连通，从而将皮带输送组件上的硅片输送到硅片收集盒内。

A lifting and eliminating device for defective silicon wafers

【技术实现步骤摘要】
一种硅片不良品升降剔除装置
本技术涉及硅片输送设备，特别是一种硅片不良品升降剔除装置。
技术介绍
现有刻蚀、制绒下料工艺中，在生产中机器检测到不良品硅片时会自动报警，等待人工取出不良品。人工取片及等待时间容易造成硅片堆积增加了作业人员的工作强度，降低了生产效率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种能够自动剔除硅片不良品的装置，替代人工剔除，减少皮带与硅片的接触面积，降低剔除不良硅片破碎的风险从而提高生产效率。为了解决上述技术问题，本技术公开了一种硅片不良品升降剔除装置，包括硅片收集盒、皮带输送组件以及剔除气缸；所述剔除气缸的驱动轴通过连接板固定在皮带输送组件底部，通过剔除气缸驱动皮带输送组件上下移动；所述硅片收集盒位于皮带输送组件出料口的一侧，当皮带输送组件上升时，皮带输送组件出料口与硅片收集盒的进料口相连通，从而将皮带输送组件上的硅片输送到硅片收集盒内。其中，所述皮带输送组件包括固定底板、驱动电机、驱动轮、运输架、从动轴、驱动皮带、同步皮带和滚动轮；所述皮带输送组件通过底部的固定底板与剔除气缸驱动轴顶部的连接板固定；所述驱动电机安装在固定底板上，驱动电机的驱动轴端部设有驱动轮；所述运输架安装在固定底板上，从动轴穿过运输架且两端设有同步带轮，从动轴靠近驱动轮的外端部还设有从动轮，从动轮与驱动轮通过驱动皮带连接；运输架的两侧边上分别设有一组滚动轮，每组滚动轮通过同步皮带分别与从动轴一端的同步带轮连接。进一步地，每组滚动轮包含若干位于运输架顶部的输送轮，相邻两个输送轮之间设有一个导向轮，所述导向轮的高度小于两侧输送轮的高度，使得硅片在运输过程中，尽量减少皮带与硅片接触面。进一步地，所述运输架的两侧边之间通过支撑柱进行连接加固。优选地，所述驱动电机通过电机架安装在固定底板上。优选地，所述硅片收集盒底部通过调节座可活动的安装在立柱上，便于调节硅片收集盒的进料口与皮带输送组件出料口进行对接。优选地，所述剔除气缸通过气缸安装板固定在气缸支撑座上。有益效果：本技术通过剔除气缸驱动皮带输送组件进行上下移动，将不合格的硅片通过皮带运输自动存放于硅片收集盒内，并减少皮带与硅片的接触面积，降低剔除不良硅片破碎的风险；该装置解决人工剔除硅片的问题，在不影响效率的前提下减少了设备报警，同时减轻了作业人员的劳动强度；该剔除装置结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，在实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，机动率在100％，可以在制绒、刻蚀上下料机等设备上使用。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术做更进一步的具体说明，本技术的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。图1是该升降剔除装置的立体结构示意图；图2是该升降剔除装置的主视图；图3是该升降剔除装置的俯视图；图4是该升降剔除装置的侧视图。具体实施方式根据下述实施例，可以更好地理解本专利技术。说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1至4所示，该升降剔除装置包括硅片收集盒1、皮带输送组件2以及剔除气缸3。硅片收集盒1底部通过调节座11可活动的安装在立柱12，可以调节硅片收集盒的进料口方向。皮带输送组件2包括固定底板21、驱动电机22、驱动轮23、运输架24、从动轴25、驱动皮带26、同步皮带27和滚动轮28；所述皮带输送组件2通过底部的固定底板21与剔除气缸3驱动轴顶部的连接板4固定；所述驱动电机22通过电机架221安装在固定底板21上，驱动电机22的驱动轴端部设有驱动轮23；所述运输架24安装在固定底板21上，从动轴25穿过运输架24且两端设有同步带轮251，从动轴25靠近驱动轮23的外端部还设有从动轮252，从动轮252与驱动轮23通过驱动皮带26连接；运输架24的两侧边上分别设有一组滚动轮28，每组滚动轮28通过同步皮带27分别与从动轴25一端的同步带轮251连接；运输架24的两侧边之间通过支撑柱241进行连接加固。每组滚动轮28包含若干位于运输架24顶部的输送轮281，相邻两个输送轮281之间设有一个导向轮282，所述导向轮282的高度小于两侧输送轮281的高度，从而使得硅片在输送过程中与运输皮带进行点接触，尽量减少皮带与硅片接触面。剔除气缸3通过气缸安装板31固定在气缸支撑座32上。该升降剔除装置工作过程如下：硅片5到达皮带输送组件2上方时，剔除气缸3驱动轴带动皮带输送组件2升起，驱动电机22开始动作，驱动轮23旋转，带动驱动皮带26，使得从动轴25旋转，同步带轮251旋转带动同步皮带27，使得滚动轮28旋转，从而将皮带输送组件2上的不良品硅片剔除到硅片收集盒1中，剔除气缸3驱动轴缩回，完成全部剔除动作。本技术提供了一种硅片不良品升降剔除装置的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片不良品升降剔除装置，其特征在于，包括硅片收集盒(1)、皮带输送组件(2)以及剔除气缸(3)；所述剔除气缸(3)的驱动轴通过连接板(4)固定在皮带输送组件(2)底部，通过剔除气缸(3)驱动皮带输送组件(2)上下移动；所述硅片收集盒(1)位于皮带输送组件(2)出料口的一侧，当皮带输送组件(2)上升时，皮带输送组件(2)出料口与硅片收集盒(1)的进料口相连通，从而将皮带输送组件(2) 上的硅片(5)输送到硅片收集盒(1)内。

【技术特征摘要】
1.一种硅片不良品升降剔除装置，其特征在于，包括硅片收集盒(1)、皮带输送组件(2)以及剔除气缸(3)；所述剔除气缸(3)的驱动轴通过连接板(4)固定在皮带输送组件(2)底部，通过剔除气缸(3)驱动皮带输送组件(2)上下移动；所述硅片收集盒(1)位于皮带输送组件(2)出料口的一侧，当皮带输送组件(2)上升时，皮带输送组件(2)出料口与硅片收集盒(1)的进料口相连通，从而将皮带输送组件(2)上的硅片(5)输送到硅片收集盒(1)内。2.根据权利要求1所述的硅片不良品升降剔除装置，其特征在于，所述皮带输送组件(2)包括固定底板(21)、驱动电机(22)、驱动轮(23)、运输架(24)、从动轴(25)、驱动皮带(26)、同步皮带(27)和滚动轮(28)；所述皮带输送组件(2)通过底部的固定底板(21)与剔除气缸(3)驱动轴顶部的连接板(4)固定；所述驱动电机(22)安装在固定底板(21)上，驱动电机(22)的驱动轴端部设有驱动轮(23)；所述运输架(24)安装在固定底板(21)上，从动轴(25)穿过运输架(24)且两端设有同步带轮(251)，从动轴(25)靠近驱动轮(23)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张弛，王志刚，王四海，
申请(专利权)人：南京卓胜自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32