【技术实现步骤摘要】
一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置及方法
本专利技术属于光学精密测量领域,尤其涉及一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形及方法。
技术介绍
球棒是由低温度膨胀系数的杆件及两个高精度球体组成的一维标准器,其提供的标准距离为两球之间的球心距,球棒具有结构简单、便携、校准精度高等优点。在国际上,球棒及球棒变形类标准器广泛应用于关节臂式坐标测量机、激光跟踪仪、激光扫描仪以及照相式空间测量仪器等精密仪器的校准,是校准关节臂式坐标测量机长度测量示值误差的最佳一维标准器。当前球棒的杆件结构一般选用低膨胀系数的殷钢、碳纤维等材料以减小材料热变形,但除此之外,大部分研究未将球棒本身的热变形纳入研究内容,未考虑标准器热变形对测量及标定的影响。光谱分辨干涉是在使用白光测量绝对路径中第一次提出色散干涉法的概念,可以通过搭建干涉系统记录两相干光的干涉,分析其干涉的光谱从而得到参考镜与测量物之间的距离差,最终得出待测物的绝对距离。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决这一问题,利用光学频域干涉测量球棒在不同温度下的热变形量,提供一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形的方法,通过搭建光学干涉 ...
【技术保护点】
1.一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置,包括待测标准球棒(6)、恒温加热系统、多目标干涉装置(5)和光谱仪(2),所述待测标准球棒(6)两端各设置有一标准球(10)分别作为多目标干涉装置(5)的测量对象,其特征在于,所述恒温加热系统设置特定的温度,通过温度传感器反馈控制恒定温度;所述多目标干涉装置(5)固定安装在粗波分复用器(4)通道出口,利用粗波分复用器(4)将光源分割为测量通道的数量,并且每个通道的输出具有其自己的滤波光谱;所述光谱仪(2)作为信号接收器件,飞秒激光光源(1)经过光环形器(3)到达粗波分复用器(4),分割光路分别进行测量,干涉返回的光在粗波分复用器 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置,包括待测标准球棒(6)、恒温加热系统、多目标干涉装置(5)和光谱仪(2),所述待测标准球棒(6)两端各设置有一标准球(10)分别作为多目标干涉装置(5)的测量对象,其特征在于,所述恒温加热系统设置特定的温度,通过温度传感器反馈控制恒定温度;所述多目标干涉装置(5)固定安装在粗波分复用器(4)通道出口,利用粗波分复用器(4)将光源分割为测量通道的数量,并且每个通道的输出具有其自己的滤波光谱;所述光谱仪(2)作为信号接收器件,飞秒激光光源(1)经过光环形器(3)到达粗波分复用器(4),分割光路分别进行测量,干涉返回的光在粗波分复用器(4)复合再经光环形器(3)到达光谱仪(2)接收,在光谱仪中得到不同波段信号在频域的干涉强度。2.根据权利要求1所述基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置,其特征在于:所述多目标干涉装置(5)将光源分为两个测量通道,每个测量通道末搭建干涉系统,分别测量分布于待测标准球棒两端的标准球(10)。3.根据权利要求1所述基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一)构建干涉系统,以球棒标准件两端的标准球(10)之间的距离确定待测标准球棒(6)长度,干涉系统中固定待测标准球棒(6),在待测标准球棒(6)两端各搭建干涉系统;步骤二)安装加热装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:于连栋,程杰,赵会宁,夏豪杰,李维诗,
申请(专利权)人:佛山市天目工业测量科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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