一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，包括：(1)按重量份数，将0.1～2份碱金属氟化物或碱土金属氟化物、3.5～5.5份金属氟化物和0.05～0.5份碱金属氟氢化物加入超纯水中，经搅拌、干燥后，得到含氟复盐颗粒成型体；(2)将含氟复盐颗粒成型体在500～900℃烧结10～120min，得到烧结后的含氟复盐颗粒成型体；(3)将烧结后的含氟复盐颗粒成型体经球磨得到吸附剂产品。本发明专利技术具有工艺简单，成本低，绿色环保，产品性能好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法
本专利技术涉及分离气体中水分子的吸附剂，特别涉及一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法。
技术介绍
工业上生产氟化氢(HF)是通过加热萤石(氟化钙)和硫酸反应得到，主要杂质(包括水)通常是通过分级蒸馏而去除的，所得氟化氢的纯度可达99.8％以上，然而，这样制备的氟化氢气体中水分仍有5-1000ppm，无法应用于半导体制造干法刻蚀工艺中。在氟化氢的电子工业应用中，氟化氢中水分的存在对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着巨大的影响。因此，必须对氟化氢中水分进行进一步的去除，才能应用于电子工业中。对于氟化氢气体中水分的进一步去除，现有的方法主要有氟气接触反应后蒸馏除水法、活性炭吸附法、碳分子筛吸附法、碳酰氟反应除水法、负载氟化镁的活性炭吸附法等。如中国专利公开号CN101346303A公开了一种通过水与碳酰氟的化学反应，来达到除去水分的目的。不足之处是该工艺在降低水分的同时引入了CO2和其它杂质。美国专利US5597545公开了一种通过碳分子筛吸附氟化氢中水分的方法，该方法包括：(1)将流体与碳分子筛接触，使得活性炭分子筛吸附水和HF；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)按重量份数，将0.1～2份碱金属氟化物或碱土金属氟化物、3.5～5.5份金属氟化物和0.05～0.5份碱金属氟氢化物加入超纯水中，经搅拌、干燥后，得到含氟复盐颗粒成型体；(2)将步骤(1)得到的含氟复盐颗粒成型体烧结，得到烧结后的含氟复盐颗粒成型体；(3)将步骤(2)得到的烧结后的含氟复盐颗粒成型体经球磨得到吸附剂产品。

【技术特征摘要】
2018.11.27 CN 20181142469501.一种去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)按重量份数，将0.1～2份碱金属氟化物或碱土金属氟化物、3.5～5.5份金属氟化物和0.05～0.5份碱金属氟氢化物加入超纯水中，经搅拌、干燥后，得到含氟复盐颗粒成型体；(2)将步骤(1)得到的含氟复盐颗粒成型体烧结，得到烧结后的含氟复盐颗粒成型体；(3)将步骤(2)得到的烧结后的含氟复盐颗粒成型体经球磨得到吸附剂产品。2.根据权利要求1所述的去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述的碱金属氟化物为氟化钾或氟化钠。3.根据权利要求1所述的去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述的碱土金属氟化物为氟化钙或氟化锶。4.根据权利要求1所述的去除氟化氢气体中水分子的吸附剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述的金属氟化物为氟化钛、氟化铁、氟化锆、氟化铝中的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，叶向荣，王海，贺辉龙，赵晓亚，程文海，
申请(专利权)人：浙江凯圣氟化学有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33